| ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究 |
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| 引用本文： | 郝鹏,张树玉,黎建明,杨海,苏小平,余怀之,刘伟,贺琪.ZnS上金刚石膜的过渡层设计和附着力研究[J].红外与激光工程,2008,37(2):347-351. |
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| 作者姓名： | 郝鹏 张树玉 黎建明 杨海 苏小平 余怀之 刘伟 贺琪 |
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| 作者单位： | 1. 北京有色金属研究总院,北京,100088
2. 北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083 |
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| 摘 要： | CVD ZnS 是中长波前视红外窗口和整流罩的合适材料，文中从折射率、热应力、透射波段和附着力等方面考虑，由实验设计出HfO2/ 非晶膜双层结构作为ZnS与金刚石保护膜间的过渡层，采用射频反应磁控溅射技术在ZnS表面制备过渡膜层，并采用划痕法研究了薄膜的显微结构对其与衬底间附着力的影响。结果表明，金刚石能够在HfO2/ 非晶膜过渡层上形核、生长，得到优质的保护膜，同时过渡层也缓解了金刚石膜与ZnS衬底间由于热膨胀系数的较大差异而引起的膜层脱落问题，单面沉积过渡层的ZnS在2～12 μm范围具有增透膜的作用。与AlN/非晶膜组成的过渡层相比，HfO2/非晶膜组成的过渡层具有更小的残余应力。在典型实验条件下，该过渡层与ZnS衬底附着性良好，研究发现薄膜的显微结构对附着力的大小有重要影响，形成细小致密的柱状纤维结构，有利于提高附着力。
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| 关 键 词： | 过渡层 ZnS 金刚石膜 附着力 |
| 文章编号： | 1007-2276(2008)02-0347-05 |
| 收稿时间： | 2007/6/5 |
| 修稿时间： | 2007年6月5日 |
Interlays design and its adhesion between ZnS and diamond protective coating |
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| HAO Peng,ZHANG Shu-yu,LI Jian-ming,YANG Hai,SU Xiao-ping,YU Huai-zhi,LIU Wei,HE Qi.Interlays design and its adhesion between ZnS and diamond protective coating[J].Infrared and Laser Engineering,2008,37(2):347-351. |
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| Authors: | HAO Peng ZHANG Shu-yu LI Jian-ming YANG Hai SU Xiao-ping YU Huai-zhi LIU Wei HE Qi |
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| Affiliation: | 1.General Research Institute for Nonferrous Metals, Beijing 100088,China;
2.School of Material Science and Engineering,University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083,China |
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| Abstract: | 作者简介：张树玉(1975-),男,山东德州人,高级工程师,博士,主要从事红外光学薄膜的研究.Email:shuyuzh@263.net |
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| Keywords: | Interlayers ZnS Diamond coating Adhesion |
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