| 杂质微粒对薄膜的损伤效应 |
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| 引用本文： | 周成虎, 张秋慧, 黄明明, 黄全振. 杂质微粒对薄膜的损伤效应[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(7): 721004-0721004(6). DOI: 10.3788/IRLA201645.0721004 |
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| 作者姓名： | 周成虎 张秋慧 黄明明 黄全振 |
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| 作者单位： | 1.河南工程学院 电气信息工程学院,河南 郑州 451191;2.四川大学 电子信息学院,四川 成都 610065 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（61403123）;郑州市科技局民生科技进步工程（131PZDGC136） |
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| 摘 要： | 激光对光学薄膜的损伤仍然是限制高能激光系统的主要挑战。对杂质诱导薄膜损伤的激励进行了研究：首先对损伤形貌进行了观测,在此基础上对杂质对薄膜的作用效应进行了分析。研究结果表明：杂质粒子对薄膜产生的各种效应,主要分为热力学效应、散射引起干涉效应和激光等离子体破坏效应,这三种效应的共同作用效果决定了损伤的特点。这些作用效应与粒子的半径密切相关：当粒子较小时,激光的沉积量较少,引起邻近材料的温升较低,扩散范围较小,主要是熔化破坏;当粒子较大时,激光沉积量较多,会引起邻近光学材料的汽化和电离,形成激光等离子体而造成大的烧蚀坑。
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| 关 键 词： | 光学薄膜 杂质粒子 热力学效应 激光等离子体 |
| 收稿时间： | 2015-11-07 |
| 修稿时间： | 2015-12-08 |
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