大质量数四极质谱计技术研究 |
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引用本文: | 陈联, 冯天佑, 王海斌, 等. 大质量数四极质谱计技术研究[J]. 真空与低温, 2022, 28(4): 484-489. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2022.04.015 |
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作者姓名: | 陈联 冯天佑 王海斌 王星辉 邱云涛 郭文 赵澜 成永军 |
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作者单位: | 1. 兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室, 兰州 730000 |
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基金项目: | 中央引导地方科技发展资金项目(YDZX20216200003442) |
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摘 要: | 大质量数四极质谱计主要用于密闭有人环境中微量有毒、有害气体的检测。基于质量数范围1~1 024 amu、绝对分辨本领1 amu的需求,进行了大质量数四极质谱计关键参数设计分析,完成了总体方案设计和测试分析。测试结果表明,该四极质谱计的质量数范围覆盖1~1 024 amu的设计参数,最佳分辨本领可以达到1 amu以下。
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关 键 词: | 四极质谱计 质谱分析技术 微量气体检测 |
收稿时间: | 2022-04-13 |
修稿时间: | 2022-04-13 |
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