| 飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究 |
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| 引用本文： | 王英,李玉华,王新林,廖常锐,陆培祥.飞秒激光加工不锈钢微型悬臂梁的工艺研究[J].激光技术,2010,34(3):347-350. |
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| 作者姓名： | 王英 李玉华 王新林 廖常锐 陆培祥 |
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| 作者单位： | 1.华中科技大学 光电子科学与工程学院 武汉光电国家实验室 武汉 430074; |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划（973计划）资助课题(2006CB806006)。 |
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| 摘 要： | 为了研究飞秒激光对不锈钢材料的加工工艺,采用基于飞秒激光材料烧蚀的微细加工方法,深入研究了飞秒激光高效高质量微细加工不锈钢材料的工艺条件与参量优化,并应用于微型不锈钢悬臂梁的制作。分析了激光能量密度、激光扫描速度、重复扫描次数对加工形貌和蚀除速率的影响,制作出了高质量的微米量级的不锈钢微型悬臂梁。结果表明,飞秒激光微细加工是一种极具前途与极具柔性的微机电系统器件加工手段。
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| 关 键 词： | 激光技术 飞秒激光 微加工 微型悬臂梁 参量优化 |
| 收稿时间： | 2009-05-12 |
| 修稿时间： | 2009-10-09 |
Study on Parametric Optimizations of Femtosecond Micromachining Micro-cantilever |
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| WANG Ying,LI Yu-hua,WANG Xin-lin,LIAO Chang-rui,LU Pei-xiang.Study on Parametric Optimizations of Femtosecond Micromachining Micro-cantilever[J].Laser Technology,2010,34(3):347-350. |
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| Authors: | WANG Ying LI Yu-hua WANG Xin-lin LIAO Chang-rui LU Pei-xiang |
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| Abstract: | Based on the advantages of femtosecond laser microfabrication, technical condition and parametric optimization of femtosecond laser micromachining stainless steel microcantilever are investigated. The effect of laser fluence, scanning speed and scan times on morphology of ablated area and ablation rate is analyzed. Microcantilever with good quality is fabricated using the optimal parameters. The Research shows that femtosecond laser micromachining is a promising and flexible way in micromachining of micro electromechanical system (MEMS) devices. |
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| Keywords: | Femtosecond laser Micromachining Microcantilever Parametric optimization |
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