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| 抗反射亚波长光栅的特性研究 | |
| 作者姓名： | 王植恒 傅克祥 文军 王磊 袁景和 |
| 作者单位： | 四川大学物理系,成都,610064;四川大学物理系,成都,610064;四川大学物理系,成都,610064;四川大学物理系,成都,610064;四川大学物理系,成都,610064 |
| 基金项目： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室资助,中国工程物理研究院第二研究所资助 |
| 摘 要： | 利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数对反射率的影响,特别是基底厚度对反射率的影响,这些为设计和制作具有优良的抗反射性能的二元光学元件提供了设计依据. |
| 关 键 词： | 亚波长光栅 矢量衍射 抗反射 |
| 收稿时间： | 1997-10-24 |
| 修稿时间： | 1998-01-20 |
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