| 碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究 |
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| 引用本文： | 张虎忠, 成永军, 王永军, 等. 碳纳米管阴极电离真空计研制及其性能研究[J]. 真空与低温, 2017, 23(4): 212-216. DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2017.04.005 |
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| 作者姓名： | 张虎忠 成永军 王永军 孙健 习振华 李得天 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金（No.61601211、No.61671266、61471184） |
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| 摘 要： | 碳纳米管阴极电离真空计在超高/极高真空测量中具有广阔应用前景,基于碳纳米管阴极研制了测量范围10-9~10-4 Pa的电离真空计,真空规管包括了碳纳米管阴极、门极、阳极、反射极和收集极,电路控制系统由高压电源、微弱离子流测量和控制电路组成。实验研究结果表明,不锈钢衬底上直接生长制备的碳纳米管阴极性能良好,开启场强和阈值场强分别为1.9 V/µm和3.9 V/µm,当阳极电流为42 µA时,碳纳米管阴极电离真空计本底干扰可降低到1.81×10-9 Pa。
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| 关 键 词： | 真空测量 电离真空计 碳纳米管阴极 场发射 |
| 收稿时间： | 2017-06-03 |
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