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| 氮化硅膜层对侧视角白画面色偏的影响及发红改善 | |
| 作者姓名： | 叶成枝 操彬彬 吕艳明 马力 安晖 彭俊林 冯耀耀 杨增乾 栗芳芳 陆相晚 李恒滨 |
| 作者单位： | 合肥鑫晟光电科技有限公司,安徽,合肥,230001 |
| 摘 要： | 研究了TFT基板中氮化硅膜层对TFT-LCD终端产品侧视角白画面色偏的影响,填补了TFT膜层与TFT-LCD侧视角白画面色偏的研究欠缺,为类似的光学色度不良改善提供了有益的参考。通过大量的实验测试和仿真模拟,探索了氧化硅膜层厚度对侧视角白画面色偏的影响规律。结果表明,氮化硅膜层是一个影响色偏量和色偏方向的关键因素,其中栅极绝缘层（GI）和第一钝化绝缘层（PVX1）对色偏的影响较大,而第二钝化绝缘层（PVX2）对色偏的影响较小,氮化硅厚度与白画面侧视角色偏程度呈非线性相关。以某款HADS产品为例,其中氮化硅膜层包括栅极绝缘层（320nm）、第一钝化绝缘层（100nm）和第二钝化绝缘层（200nm）。基于单因子实验结果和模拟结果,综合考虑电学特性和产能影响,采用PVX1140nm作为改善条件,对侧视角白画面发红改善有效,即宏观观察无发红现象且实测数据都满足产品规格。 |
| 关 键 词： | 薄膜晶体管液晶显示器 氮化硅膜层 光学色度 侧视角色偏 全白画面 |
| 收稿时间： | 2021-11-11 |
| 修稿时间： | 2022-02-17 |
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