| 高纯度石英玻璃40～110 GHz频段电参数的表征（英文） |
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| 引用本文： | 朱香宝,孙旭,岳海昆,钱凌轩,倪磊.高纯度石英玻璃40～110 GHz频段电参数的表征（英文）[J].红外与毫米波学报,2023,42(4):490-496. |
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| 作者姓名： | 朱香宝 孙旭 岳海昆 钱凌轩 倪磊 |
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| 作者单位： | 电子科技大学,电子科技大学,中国工程物理研究院 微系统与太赫兹研究中心,电子科技大学,西南科技大学 制造过程测试技术教育部重点实验室 |
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| 摘 要： | 基于127μm的高纯度石英（99.999 7%）基底设计了共面波导（CPW）、微带环形谐振器（MRR）结构，通过测试得到在40～110 GHz的频率范围内，CPW线的平均插入损耗在0.096～0.176 dB/mm之间。此外，采用MRR方法提取了石英的相对介电常数和损耗角正切值，该石英基底在V波段和W波段的相对介电常数分别介于3.7～3.85和3.85～4之间，损耗角正切值在V波段约为0.004，在W波段介于0.004～0.006之间。通过与其他基底性能对比表明，该高纯度石英具有良好稳定的电性能，其在设计高性能无源和封装结构方面具有一定的潜力。
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| 关 键 词： | 石英玻璃 共面波导 微带环形谐振器 V波段 W波段 |
| 收稿时间： | 2022/9/28 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2023/6/5 0:00:00 |
Characterization of electrical parameters of high-purity quartz glass in the 40-110 GHz frequency band |
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| ZHU Xiang-Bao,SUN Xu,YUE Hai-Kun,QIAN Ling-Xuan and NI Lei.Characterization of electrical parameters of high-purity quartz glass in the 40-110 GHz frequency band[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2023,42(4):490-496. |
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| Authors: | ZHU Xiang-Bao SUN Xu YUE Hai-Kun QIAN Ling-Xuan and NI Lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | quartz glass coplanar waveguide microstrip ring resonator V-band W-band |
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