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| 基于Petri网的组合设备建模与调度综述 | |
| 引用本文： | 袁凤连,黄波,王际鹏,潘春荣.基于Petri网的组合设备建模与调度综述[J].自动化学报,2023(5):929-948. |
| 作者姓名： | 袁凤连 黄波 王际鹏 潘春荣 |
| 作者单位： | 1. 南京理工大学计算机科学与工程学院;2. 湖北工业大学机械工程学院;3. 江西理工大学机电工程学院 |
| 摘 要： | 组合设备是半导体晶圆制造的核心装备,其调度与控制优化是半导体制造领域极具挑战性的课题. Petri网因其强大的建模能力和简约的图形化表达优势,被广泛地应用于组合设备的建模与调度.对基于Petri网的组合设备建模与调度方法进行综述,归纳总结了组合设备的结构类型、晶圆流模式、调度策略及Petri网建模方法,并系统阐述组合设备的7类典型调度问题,包括驻留时间约束、作业时间波动、晶圆重入加工、多品种晶圆加工、加工模块(Process module, PM)故障、PM清洗和组合设备群.最后,讨论了当前组合设备调度存在的挑战及后续可能的研究方向. |
| 关 键 词： | 晶圆制造 Petri网 组合设备 建模 调度 |
