| IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究 |
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| 引用本文： | 刘安平,刘济春.IPC-208B型原子力显微镜大范围扫描三维驱动系统研究[J].中国机械工程,2010,21(16):1936-1940. |
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| 作者姓名： | 刘安平 刘济春 |
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| 作者单位： | 1.重庆大学,重庆,400030
2.中国空气动力研究与发展中心超高速研究所,绵阳,622663 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费资助(CDJRC10100003)
Fundamental Research Funds for the Central Universities( No. CDJRC10100003 ) |
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| 摘 要： |
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Study on a Large-scale Scanning Three-dimensional Lens Structure of IPC-208B AFM |
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| LIU An-Beng,LIU Ji-Chun.Study on a Large-scale Scanning Three-dimensional Lens Structure of IPC-208B AFM[J].China Mechanical Engineering,2010,21(16):1936-1940. |
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| Authors: | LIU An-Beng LIU Ji-Chun |
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| Affiliation: | 1.Chongqing University, Chongqing, 400030
2.HAS, China Aerodynamics Research & Development Center, Mianyang,Sichuan, 622663
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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