圆光栅检测仪的研制

介绍了一种高精度、精密、自动化、动态测量的光栅检测仪,测量光栅盘的扩展不确定度为０．０８”。该仪器采用了高回转精度的空气静压轴承及多头均化技术,减小了参考盘刻划误差的影响,同时,采用了计算机系统控制测量过程,进行数据处理,实现了自动化测量,检测结果和误差曲线由打印机打印输出。     

衍射法X射线激光分束光栅平行度测量系统(英文)

介绍了软X射线光栅分束镜Mach-Zehnder干涉等离子体诊断系统调整用双频光栅线条平行度的衍射法测量系统.该系统主要由激光器,准直镜,待测光栅,精密转台(含角度测量仪),直线工作台,光栅调节架和探测器组成.分析了系统中各种误差对测量精度的影响其中包括距离测量误差、波长误差、光栅准直误差即光栅刻线与入射光和反射光组成的平面不垂直、光栅转动过程的误差、光栅表面面型误差、探测器误差,经计算得到系统的绝对误差为minute.计算表明,该系统的测量精度满足软X射线Mach-Zehnder干涉系统对双频调整光栅的性能要求.     

远红外光光栅光谱仪测量误差分析

采用平面闪耀光栅作为光谱元件的远红外光谱测量原理,分析了四种主要的重复性误差:光栅常数制造误差、零点标定误差、转角测量误差、入射光束与衍射光束的夹角测量误差。 并分别以112.5mm、40.05mm、25mm和12mm的四种闪耀波长为例,计算出了它们的误差传递系数曲线,根据误差传递系数对光谱仪进行误差分配,分析和计算表明:当光栅转角测量精度为1,光栅常数误差为0.5mm时,光谱仪可以满足l/100的波长测量误差要求和l/200的波长重复性测量误差要求。     

大口径非球面Ronchi光栅测量方法

在对非球面加工过程中常用检测方法的优缺点进行比较的基础上,介绍了Ronchi光栅法的系统组成、工作原理和数据处理方法,并进行了光栅频率和灵敏度分析.通过对Ronchi光栅的频率、灵敏度的分析比较,发现可以通过改变其频率来实现大口径非球面不同加工阶段2～200 μm范围内的误差检测.该方法制作简单,使用方便.它的深入研究,将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测手段.     

直流电路系统测试圆光栅的分析与应用

分析了采用直流电路系统测试圆光栅直径误差 Φi(或刻线误差 θi)时所产生的差异等问题 ,讲述了能较真实准确地得出圆光栅 Φi(或 θi)这一单项误差指标的测试与数据处理方法。此方法已在实验与实际检测结果中得到了充分验证     

高精度凹轮轴测量中数据处理算法的研究

本文详细叙述了高精度凸轮轴测量系统中的数据处理算法。文中介绍了利用曲线对称量小的误差法寻找键槽中心位置，用凸轮理论曲线计算最小误差搜寻桃尖体面顶点范围和根据凸轮的公差带函数ε（ｉ）和最小桃尖顶点角度误差寻找最佳凸轮顶点位置，最终获得最佳角度值和误差曲线。本算法适于测量各种类型的对称、非对称凸轮，平面推杆和球面推杆凸轮，例如，汽车、汽车、摩托车等凸轮，并且能实现高精度的测量。     

亚微米数显光栅测长仪及其示值误差的测定

本文对亚微米数显光栅测长仪作了简介,论述了误差的组成,讨论了示值误差的两种评定方法,并简述了示值误差的检测。     

亚微米数显光栅测长仪及其示值误差的测定

本文对亚微米数显光栅测长仪作了简介，论述了误差的组成，讨论了示值误差的两种评定方法，并简述了示值误差的检测。     

异或门鉴霜在计量光栅检测中的应用

本比较了异或门鉴相与双稳定鉴相的差异，指出采用异或门鉴相原理在检测计量光栅刻划误差中的优势，介绍了在实际工作中得到验证的情况。     

不依赖于长度基准的光栅细分精度的评定方法

分析了光栅细分精度与利萨如图形的关系，给出了通过利萨如图形评定光栅细分精度的方法。该方法将对测量条件要求极高的细分误差评定工作转化为普通的电压测量和计算，使光栅细分精度的评定不再依赖于高精度的长度基准。该方法适用于各种误差模型的光栅信号，也适用于其它任何以相位差为９０度的两种信号进行细分计量仪器。     

立体印刷用柱镜光栅线数检测方法研究

目的研究一种快速准确检测立体印刷用柱镜光栅线数的方法。方法柱镜光栅固定在测试平台上,测头基座沿水平方向移动,同时保证测头上的触头在垂直方向始终保持与光栅表面接触;然后由计算机实时采集测头水平方向和垂直方向的位移,把数据保存到数据库,并在计算机屏幕上显示柱镜光栅表面曲线;最后把测头水平方向和垂直方向的位移数据代入数据处理算法,计算出被测光栅线数。结果以100线的柱镜光栅作为被测光栅进行测试,测试结果与传统方法检测的线数非常接近,并且能在60 s内完成测试。结论该方法避免了传统人工观测带来的误差,并把测试时间由300 s降至60 s,具有高效率、高稳定性和高可靠性的优点。     

从实物量具为标准器转化到用光栅传感器为标准器的探讨

本文介绍用光栅传感器替代量块作为主要标准器检测扭簧比较仪和机械式比较仪,试验结果表明,光栅传感器测量精度高、试验稳定性好、速度快、减少了人为误差,能满足测量仪器检测的要求.     

高精度凸轮轴测量中数据处理算法的研究

本文详细叙述了高精度凸轮轴测量系统中的数据处理算法。文中介绍了利用曲线对称最小误差法寻找键槽中心位置、用凸轮理论曲线计算最小误差搜寻桃尖顶点范围和根据凸轮的公差带函数ε（ｉ）和最小桃尖顶点角度误差寻找最佳凸轮顶点位置，最终获得最佳角度值和误差曲线。本算法适于测量各种类型的对称、非对称凸轮，平面推杆和球面推杆凸轮，例如，汽车、轿车、摩托车等凸轮，并且能实现高精度的测量     

空间凸轮廓面检测的接触点回归法与误差评定的数学解析

提出一种适合任何空间凸轮廓面检测的接触点回归法,将测量点坐标转化为实际加工时的接触点数据,实现了对空间凸轮实际加工廓面的数据采集。建立了数据处理的数学模型和误差计算方法,为空间凸轮廓面检测与误差计算提供了新方法。以圆柱凸轮为例,利用三坐标测量机,实现了廓面数据检测和误差评定。     

NOx分析仪转化效率的统计计算方法

为了解决氮氧化物(NOx)分析仪转化炉转化效率的检测问题,对现有氮氧化物转化效率的计算模型进行了定量分析,结合计量工作中误差的含义,定义了氮氧化物分析仪检测过程中二氧化氮转化误差和一氧化氮检测误差两个概念;介绍了氮氧化物分析仪的非分光红外法检测原理和转化效率检测的必要性,采用臭氧发生器对氮氧化物分析仪进行转化效率检测,提出了基于二氧化氮转化误差和一氧化氮检测误差的转化效率二阶次计算模型,利用逐步回归原理确定模型中的自变量并进行参数估计。研究结果表明,相比于氮氧化物分析仪内嵌的计算模型和一阶次计算模型,本文提出的二阶次计算模型拟合方程的多重可决系数靠近1的程度平均提升了96.8%和51.5%,残差平方和平均降低了85.1%和31.7%,为提升氮氧化物分析仪的检测准确性提供技术支撑。     

GKJ-1.8m激光自动线位移刻检系统检测长光栅传感器误差分析及评定

对"ＧＫＪ－１．８ｍ激光自动线位移刻检系统"进行了较系统的误差分析,用仪器的系统误差和随机误差合成的方法,评定本仪器测试长光栅传感器光栅位置误差的不确定度．     

一种非线性误差修正方法

对于采用光栅做位移传感器的长度测量仪器,为提高仪器测量准确度,多采用误差修正的方法,来减小仪器示值误差。本文介绍了一种非线性误差修正方法,该方法在国外有的仪器上已被采用,作者也做过试验,验证了方法的可行性。     

不同分辨率下增量式光栅编码器测量误差研究

为了研究增量式光栅编码器在不同分辨率下的测量误差,构建了一套基于旋转角加速度测量的编码器误差检测系统。首先介绍了永磁式角加速度传感器的工作原理,以及增量式光栅编码器的角加速度测量原理;然后采用角加速度传感器和增量式光栅编码器,对同一正弦振动源实际轴上的旋转角加速度进行检测,根据实验结果剖析了光栅编码器在不同分辨率下的误差产生原因;最后讨论了在进行角参数测量时,选择增量式光栅编码器分辨率的参考依据。     

光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。     

十字光栅多普勒效应二维测量系统的研究

提出一种利用十字光栅衍射的多普勒效应进行二维位移测量的新方法。给出了以二维全息光栅为多普勒频移发生器、以矩形槽相位光栅为混频器的光路结构和测量原理。理论计算和实验表明,此系统具有良好的信号质量和较高的测量精确度,奇用于生产环境中的两坐标精密检测。