团粒束沉积：团粒束源的最佳化

为蒸汽－惰性气体混合物的超声喷嘴膨胀产生的团粒束正用于金属或难熔化合物的薄膜形成。针对扩大沉积面积和降低氩载气的有效抽速，将团粒束源进行了优化。用银作为我们的源的代表性材料时，在喷嘴下游０．７８ｍ处测出的团粒束直径为９４ｍｍ，对应的束张角为６．８°或０．０１１ｓｒ，沉积率达到１４ｎｍ／ｓ，喷嘴放电室的有效抽速在２５．５Ｐａ，时可能降低到０．１ｍ＾３／ｓ。用于薄膜形成的团粒束含有出自喷嘴全部银通量的     

工业用的气体团粒离子束设备

已研制了工业用的３０ｋｅＶ和２００ｋｅＶ气体团粒离子束设备。有一个无冷却喷管的气体团粒源用于这两个设备上。用Ｅ×Ｂ过滤器和低引南电压的色差透镜质量过滤器充分地抑制了单体离子。这些设备适用于金属，绝缘体和半导体的低损伤表面处理，而对半导体无重金属污染。