气体工业名词术语

高纯气体（ＨｉｇｈＰｕｒｉｔｙＧａｓｅｓ）通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮、氢、氩、氦而言，通常指纯度等于或高于９９．９９９％的为高纯气体；而对于氧气，纯度为９９．９９％即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为９９．９９％的即可认为是高纯气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气、保护气和配制混合气的底气。医用气体（ＭｅｄｉｃａｌＧａｓｅｓ）用于医学诊断和生命救助的气体称医用气体。医用气体包括２０余类，其中主…     

特种气体市场及应用

由于气体产品种类很多,其分类和定义被厂家规定得五花八门,很不一致。因此,要确切地对所有气体产品作一分类和定义颇为困难。只能根据一般情况对气体的概况加以比较切合实际的分类。气体产品大至可以分为两大类别,即一般工业气体和特种气体。一般工业气体是指经过空气分离设备制造的普通级的氧气和氮气、经过焦炉气分离或电解等方法制造出来的普通纯度的其它种类气体。工业气体一般要求生产量大,但对气体的纯度要求不高。特种气体则是用途有别于一般气体的气体。它在纯度、品种、性能等方面都是严格按照一定规格进行生产和使用的。特种…     

氢气纯度奥氏气体分析仪的校准与不确定度评定

氢气纯度奥氏气体分析仪是一种监测生产氢气纯度的仪器,目前国家还没有检定规程或校准规范用于该类分析仪的检定或校准。因此解决氢气纯度奥氏气体分析仪的校准已成当务之急。文章给出了一种使用有证标准气体对奥氏气体分析仪进行校准的方法,并给出了测量不确定度的评定方法。     

高纯气体的贮存与输送

一、前言高纯气体已成为电子工业不可缺少的化工原料之一。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度要求不同,但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的,总是使半导体产品质量劣化,成品率下降。高纯氢、氮、氧、氩及其它许多气体可用于半导体外延、光刻、清洗、蒸发及高温氧化生长等工艺中。表1列出了日本半导体工业用气体的纯度。     

国外气体公司消息三则

2008年3月13日，在北京第六届中国国际科学仪器及实验室设备展览会上。美国空气制品公司发布了Experis特种气体系列产品和BIP气体净化技术，该产品和技术可满足用户对测试结果精确性的要求。据介绍，Experis系列为最高纯度的气体产品，包括氦气、氩气、氮气和最精确的校准混合气体。该公司还提供高质量的气体控制设备，包括钢瓶校准分析仪、集合真空管、净化系统、压力计以及设备设计等。应用BIP技术可在高压下净化气体，得到杂质含量很低的气体，并能确保气体纯度的一致性。     

在线式超高纯气体纯化器

在线式超高纯气体纯化器木村正城为研制兆位、千兆位级装置，近几年来，广泛进行了气体纯度和高集成度装置的性能研究。与此同时，还积极地进行了超高纯气供给技术的开发。其结果。确定了前所未有的超高纯气（气体中含有杂质浓度为１０－’、１０－‘’级）供给技术。超高...     

更正

美国Airco现在备有最新的《气体和气体加工装置目录》，共200页。彩色《目录》中列有生产厂家供应的纯气、混合气、电子气和设备与仪器。气体产品是按纯度或使用排列的。许多气体供给各实验室用于校准，另一部分供给生产或加工。     

高纯、洁净气体管道的施工技术要求

高纯、洁净气体输配管道的正确施工方法，对于确保输送气体的纯度和洁净度是至关重要的。作者针对目前施工中一些常见的问题，提出本技术要求，供参考。     

电子气在使用过程中对保持纯度的要求

电子工业需要的关键材料之一是各种纯度极高的特种气体，称之为电子气。电子气的纯度要比其它部门用气的纯度高得多。     

制备环境清洁度对纳米粒子结晶形态的影响及其控制原理

本文研究了气体蒸发法制备纳米粒子过程中，制备环境清洁度对金属纳米粒子结晶形态的影响，重点分析了真空度、气体纯度及系统漏放气率三者对纳米粒子制备环境清洁度的影响及其相互关系．结论认为，只有控制这三个因素在一定范围内相互匹配，才能以最少的投入创造一可靠的清洁制备环境，生产出具有明显结晶形态而又具有清洁面的各种纳米材料．文章给出了真空度、气体纯度及漏放气率三者相互匹配的二个判据。     

气体工业名词术语

特种气体　（Ｓｐｅｃｉａｌｔｙｇａｓｅｓ）系指那些在特定领域中应用的，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。电子气体　（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｇａｓｅｓ）　半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气、高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延、掺杂和…     

有机标准气体的研制

有机标准气体在石油化工、环境保护、科学研究及计量标准传递等方面有着广泛的用途．我们根据需要研制了五类十一种有机标准气体．研究中，我们采用国际上公认的标准方法─—重量法配制，用气相色谱法对原料气进行了纯度分析；并对配制的有机标准气体进行了性能研究。其定值不确定度优于１．５％。     

超高压氮气氩气供气系统设计

设计一套超高压的氮气和氩气供气系统。其目的是提供超过lOOMpa超高压的氮气和氩气气源，并满足常规的高压气源需求，同时提供了功能先进的气体纯度在线检测，超高压力的在线检测和计算机控制功能，并有单独的模块单元，可以对氮气和氩气进行适合比例的混合。     

循环热载体无烟燃烧技术的试验研究

提出了一个基于熔融盐循环热载体的无烟燃烧技术，即把一个燃烧过程分为氧化剂生成和燃料燃烧两个步骤进行，燃烧过程能使助燃空气中的N2和燃烧产生的CO2在一套反应装置中进行分离，得到较高纯度的N2和CO2，N2可回收利用，CO2则可捕集起来安全封存。整个燃烧过程避免了向大气排放有害气体；以CuO为催化剂，对CH4在Li2CO3-K2CO3-Na2SO4熔盐体系中的熔融燃烧过程进行的试验研究结果表明，CH4能在该熔融盐体系中能完成无烟燃烧过程并放出热，失去晶格氧的CuO能与空气反应重新恢复其晶格氧，气相色谱分析结果显示，理想的反应条件下, 得到的N2的纯度为99.3%以上，CO2的纯度为95.1%以上。     

高精度气体水雾含量测量方法的研究

研究了一种快速高精度测量气体中水雾含量的方法.当含有水雾的气体通过装有玻璃纤维的采样管时,多种过滤机制使水雾沉降到玻璃纤维表面,通过称量玻璃纤维滤筒的重量差,可计算出气体的水雾含量.分析结果表明:当玻璃纤维直径为5 μm时,其过滤层对水雾的收集效率大于99%;采用高纯度的玻璃纤维,可以减小其在烘箱中的失重.当玻璃纤维纯度为99.5%时,经7 h加热后,失重小于0.1 mg;玻璃纤维床层阻力和收集效率随液滴平均粒径增大而增加,对于平均粒径为1 μm 的水雾粒子,其收集效率大于99.5%.玻璃纤维过滤法比吸附法和光学法测量精度高,重复性和稳定性好,且测量结果不受环境和气体温度的影响.     

高纯等离子体工艺气体中痕量杂质的影响及特性

如何不详细地了解气源杂质的分布曲线，而只是简单地规定所有气体纯度等级，就不能充分确保优质气体均一地输送到工艺过程中。例兴了等离子体刻蚀工艺。     

气体中微量水份的测定一露点法和氧化铝电容法

在半导体材料及电子器件生产中，要用到诸如氢、氮、氧、氩和氦等高纯气体，气体纯度严重影响产品质量。如氢，氮等气体及其流经的系统中的水份和氧，对硅及Ⅲ一V族化合物是极其有害的杂质。在硅外延工艺中，氢中水份达100vpm时，硅外延层会变成多晶结构。在MOS大规模集成电路的硅栅多晶薄膜工艺中，若稀释气体中含有微量水份，使多晶硅薄膜中夹有“氧化硅集团”，从而在刻蚀多晶硅薄膜时，造成多晶硅脱落，致使电学性能变坏。由上可知，对高纯气体及其流经系统中的微量氧和水份必须进行监测和控制。     

气体屏蔽过滤器

气体屏蔽过滤器杉浦博文１半导体制造业用气的过滤器近年来，在半导体行业的高纯气供给系统中，气体过滤器是除粒子、水份及有机物必不可少的装置。但由于安装了气体过滤器，其滤芯自身磨粒清落引起粒子增加、过滤器材质脱气、或腐蚀性气体对过滤器材质的腐蚀、压差等会产...     

高纯气体输送装置的洁净

随着电子工业的发展和大规模集成电路的研制与生产，高纯气体已成为电子工业不可缺少的材料。虽然各半导体生产工艺对所用气体的纯度和洁净度要求不同，但同一种杂质给半导体生产带来的危害是一样的，总是使半导体产品质量劣化，成品率下降。例如，高纯氮、氢和氩气中有氧和水份时，会使半导体产品表面生成氧化膜；有碳化物时，会使半导体产品发生漏电；若有金属微粒子时，会使半导体产品出现漏电、耐压不良、晶格缺陷和断线等现象；如有其它尘埃粒子，同样会使半导体产品出现晶格缺陷和断线现象。     

高纯液氧、液氮的研制及其供应

电子工业的迅速发展是现代科学的重要标志，大规模集成电路的生产技术更体现一个国家工业发展的水平。高纯氧、氮、氢、氩等气体，是半导体电子器件、集成电路生产工艺中必不可少的原料。这些气体纯度的高低，是直接影响电子器件质量和成品率的重要因素之一。世界工业发达国家的半导体集成电路生产工艺，不仅普遍应用高纯气体，而且有90％以上是采用高纯度液态气体直接汽化的输送气体。