如何选择和使用涡轮分子泵

本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。     

溅散离子泵的研制

引言 粒子加速器、空间技术、电子工业等广阔的科技生产领域对无油超高真空的要求,推动了无油真空系统的研制和发展,它的使用已日趋普遍。作为无油真空系统的主泵溅射离子泵受到了更多的注意。我们在六七年试制40e/S普通二极泵的基础上,一年来又设计和投产了10e/S、25e/S、50e/S、100e/S、200e/S、等五种离子泵。我们就泵的结构、磁场强度、工作电压对性能的影响进行了实验,并着重制作了多种泵芯,对如何提高离子泵抽除惰性气体的性能作了一些探讨。 本文简要介绍离子泵的结构设计,性能测试,较详细地介绍了提高离子泵抽除惰性气体性能等工…     

油雾润滑系统在200万吨/年加氢精制装置的应用

详细介绍油雾润滑系统的基本配置、工作原理和启停的操作步骤,针对油雾润滑在使用过程中出现的问题,提出改进意见;事实证明油雾润滑系统在200万吨/年加氢精制装置机泵群的应用非常成功、效果显著。     

油扩散泵返油率的控制分析

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。     

镀膜设备真空系统主泵的配置

真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.     

玻璃扩散泵的新发展(四)

本文介绍一种新型的玻璃汞扩散泵的结构和特性。新汞泵的极限真空用Redhead磁 控规(DE1-3)测得 1×10-13乇, 二只汞泵的抽速分别是120升/秒和 240升/秒,最大 前级耐压为1乇。 一、概述 玻璃汞扩散泵由于具有工作液的热稳定性好,汞蒸汽容易被液氮冷俄捕集的优点,因而能获得比玻璃油扩散泵更高的真空度,适用于建立简单的极高真空玻璃系统。玻璃汞扩散泵还用于麦克劳校准系统,气体分析系统和充汞离子管的排气等方面。但是,由于汞蒸汽有毒和使用时需要液氮冷讲,因而在使用上受到限制,很大程度上已被油扩散泵代替。但在上述特殊要求的真空系统…     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

油蒸汽流泵技术的新进展

着重介绍了油蒸汽流泵技术在抽汽理论研究和结构设计方面改进的一些新进展。使油蒸汽流泵的理论设计由半经验公式向理论公式靠近, 提高了泵设计的可靠性; 为泵的性能稳定提供了保证。     

无油排气质谱

一、无油排气系统 从1974年开始,在北京仪器厂的协助下我们组装了一台无油真空系统专用于大功率发射管的排气,(1)该系统以两级吸附泵或带分子筛吸附阱的机械泵为前级,以冷钛泵为主泵、钛升华泵为辅泵。这样的组成方案目前在电真空器件的研制单位、包括使用无油真空技术制作发射管的厂家中是广泛应用的。这类排气台提供无油清洁真空的效果如何?在应用中应注意一些什么问题?这便是本实验所要探讨的。 目前我们使用的无油排气台如图1所示; 它与当初报导的系统(1)相比,几年来作过如下几点改进: l、用活性氧化铝挡油饼(配合机械泵)代替了分子筛挡…     

无油真空系统的探讨

在具有腐蚀和清洁的环境下，广泛使用油旋转泵存在某些缺点。在腐蚀环境中的各 种应用，腐蚀性蒸汽或磨损粒子会污染泵的润滑剂，缩短了泵的使用寿命，而在清洁环 境中的应用，润滑剂又反过来污染真空工艺过程。为了克服这些问题，开发了无油真空 系统。 本文对爪型泵同罗茨泵和叶片泵进行比较，表明爪型泵是无油系统的理想抽气设备。     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成.     

原子能院自由电子激光器真空系统

介绍中国原子能科学研究院自由电子激光器的真空系统。激光器由Ｌ波段行波电子直线加速器、束流输运系统和包含１．５ｍ援摆器的光学谐振腔组成,１０台钛油射离子泵分布在各段以获得并保持超高真空。     

快速的简易的实验用极高真空系统

本文介绍一种实验室用的、抽气时间短、简易的极高真空系统。它由一台特殊设计的玻璃冷冻钛升华泵与超高真空玻璃油扩散泵串联所组成,可在10小时内从低真空抽到10~(-13)托(使用新型的轴向式抑制规测)。文章介绍了该系统的结构特点,并分析了影响该系统极限真空的因素。     

油扩散泵两种抽速测量方法的比较

本文提出了介绍油扩散泵两种抽速测量方法的比较研究。所使用的方法是试验罩法和带有辅助抽气系统的流导管法。这个辅助抽气系统是在流量低于 １０－５Ｎｍｓ－１（～０．１μｌｓ－１）时的很低压力下使用。人们发现为了得到在重叠压力范围用两种方法测量油扩散泵抽速比较结果，当规管距泵口法兰是Ｄ／２时，即得到泵本征抽速的试验罩法的同样位置，流导管法中的流导管应安排在距泵口１．２Ｄ的高度。     

玻璃扩散泵的新发展(Ⅲ)

本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩散泵的设计和特性,泵的极限真空是1x10～-15乇,抽速分别是550升/秒, 850升/秒。 一、概述 油扩散泵增加抽速,除在结构上改进外,最有效的途径是扩大泵径。扩大泵径目的是为了使各级喷咀得到大的过流面积和大的进气口径,大幅度地增加油扩散泵的抽速。影响油扩散泵高真空抽速的主要部分是顶喷咀的过流面积,对顶喷咀来说,为了有利于气体分子的扩散,要求工作的蒸汽流是高速…     

CD-J50型超高真空阀门

前言 随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪音的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收到了初步的效果。在制造钛泵抽气系统的过程中,由十一车间,技术科、八车间等单位三结合设计,制造了CD──J50型超高真空阀门(见图 1)。用作为联结主泵,被抽容器和子抽系统的控制阀。 一、 CD──J50超…     

新型K-800A高真空油扩散泵的研制

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。     

φ500制冷机低温泵及其性能测试

介绍了φ500制冷机低温泵的系统组成及其结构设计的特点。着重叙述了泵的性能测试方法,并通过实验测试了其主要性能指标。泵的工作压力范围为10~(-1)～10~(-7)Pa,对各种气体均有较大的抽速,并具有操作使用方便、性能稳定可靠、系统清洁无油等优点。     

电动潜油往复抽油泵专利技术发展

随着油田的不断开发,特殊油井越来越多,常规有杆泵举升方式用于特殊油井,系统效率低,能耗高,寿命短,杆管偏磨严重,检泵率高。电动潜油往复抽油泵作为无杆泵的一种,在低产液井上应用优势明显,具有泵效高、能耗低、调参范围宽、检泵周期长和维护管理方便等优点。该文主要从专利的角度来看电动潜油往复抽油泵的技术发展。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。