电子束曝光系统中的校正技术

电子束曝光系统中采用了多项校正技术，才得以使之渐致完善，成为微细加工领域中一种非常重要的工艺设备。本文根要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。     

可变矩形电子束曝光系统中的变形控制偏转放大器

在可变矩形电子束曝光系统中,通过变形控制偏转放大器,使数字控制系统实现了对电子束斑的形状、尺寸的模拟控制并引入各种校正量。本文概括地叙述了它的控制功能,系统对它的要求以及相应的电气性能。介绍了中科院电工所研制的这种放大器的电路组成和达到其性能指标的测试方法。     

国外微型扫描电子束曝光技术进展

本文综述近几年来国外纳米电子束曝光系统的进展，特别是阵列光柱曝光系统。     

扫描电子束曝光设备的发展

本文综述近年来,随着超大规模集成电路器件和毫微米器件的迅速发展,国外在高斯圆形和可变成形电子束曝光设备的突出进展。     

电子束曝光系统鞍形线圈的偏转象差与绕线分布

本文对扫描电子束曝光系统(SEBLS)透镜后偏转鞍形线圈的三级偏转像差对电子光柱系统的重要参数:偏转器与透镜之间的距离Z_o,工作距离Z_s以及对偏转器几何形状参数L/R的关系进行了较系统的分析;对绕线分布的影响(包括绕线中心位置、绕线宽度及绕线对称性对象差的影响)的计算结果指出:当鞍形磁偏转器(Saddle-type)以π/6为中心两侧对称布线时,因绕线分布所产生的偏转像差影响在微米、亚微米曝光系统中可以忽略。根据上述原理,我们研制成功一??种高精度WEDM偏转器,它有效的介决了CAD优化设计实际绕线工艺之间的一致性问题,这一偏转器的性能及其优越性,已在我们的微米圆束机中得到证实。     

Ee—BES—40A电子束曝光机的无油超高真空系统的故障诊断技术

本Ｅｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法，其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术－－“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空，同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。     

梯形曝光过程的控制

可变矩形电子束曝光机的基本曝光图形是矩形。梯形曝光是通过把梯形分解成为一串单元矩形的序列,依次曝光,拼接而成。本文先简要叙述矩形曝光的控制,然后着重介绍梯形控制器的工作原理以及梯形的曝光过程。     

基于虚拟仪器的生理信号检测与处理系统

利用虚拟仪器技术构建一台实验动物生理信号检测与处理系统.该系统设有八个通道,可分别对实验动物的体温、呼吸、血压、心电等生理信号进行检测和处理.利用LabWindows/CVI软件结合PCI-9112数据采集卡对动物的生理信号进行实时、高速的采集,同时借助计算机的强大功能对采集到的数据进行显示、处理、存储和回放.实验证明系统运行稳定,检测精度高,有一定的实用价值.     

电子束焊接在汽车齿轮加工中的应用

本文分析了电子束焊接在我国汽车齿轮行业的应用现状及目前的技术、设备和工艺水平;概略性地展望了“八五”期间齿轮行业对电子束焊接设备的需求情形;对电子束焊接在齿轮加工中的工艺位置及有关规范,作了一般性地讨论;对应用于汽车齿轮行业的电子束焊和激光焊,从性能、价格等诸方面进行了分析比较,提供了选择电子束焊还是选择激光焊的参考性意见。     

电子束焊接技术的特点与应用

本文简介电子束焊接技术的特点、装置的类型与生产应用概况。     

DY－5型亚微米电子束曝光机偏转系统

本文将重点介绍ＤＹ－５型电子束曝光机的偏转系统的构成、特点及结果。     

电子束焊接技术在航天领域中应用

本文简略介绍了人类空间技术发展概况，着重分析了航天领域使用电子束焊接技术的特点，简述应用概况以及空间使用电子束焊接机的特殊技术要求。     

光学薄膜制备用的多离子束电子束系统

本文介绍一种新型的光学薄膜制备用多离子束电子束系统。     

电子束焊接获得深焊效应的机理和方法

电子束焊接具有极好的深焊特性早已为焊接工程人员所共知，因而在工业部门获得了广泛的应用。     

电子束焊机技术的新进展

本文简述国外电子束焊接技术近年来的一些重要进展。     

EBW－4G系列齿轮电子束焊机的技术发展

由中科电气电子束部研制的ＥＢＷ－４Ｇ系列电子束焊机是适应大批量连续生产要求的齿轮专用电子束焊机。自１９８６年问世以来，已在十多个单位得到应用，获得了良好的经济效益和社会效益。本文对ＥＢＷ－４Ｇ系列焊机的技术发展作一简单介绍。     

电子注分析系统

本文简要地说明了电子注分析系统在超高频真空器件设计、研究中的作用及其重要性,并且着重介绍了该系统的构成及其技术、指标等。