气敏元件性能检测装置的研究

为了促进气敏元件的研究与开发，本文介绍了一种气敏元件性能检测装置。该装置克服了以往气敏元件测试系统的结构复杂，操作繁琐等诸多不足，具有简单易行，功能齐备等优点，适用于气敏元件的参数测试及可靠性试验过程中的监测。     

提高半导体气敏元件检测能力的有效途径

半导体气敏元件发展的重点集中在如何提高其选择性，灵敏度和热稳定性等。通过控制元件的工作温度，采用添加技术，超微细化技术以及表面修饰技术等可有效地提高气敏元件的灵敏度和选择性。恒流加热法的使用是提高气敏元件热稳定性的主要手段。许多新材料，新原理的应用都可进一步提高气敏元件的检测能力。     

气敏元件多功能测试系统

介绍了气敏元件多功能测试系统的工作原理及功能，并对其在气敏元件生产及研究的应用进行了介绍．     

基于USB的气敏元件测试系统的设计

本文介绍了一种基于USB的气敏元件测试系统,给出了系统的硬件设计,阐述了用VC6.0实现数据采集和处理的软件设计.此系统可同时对多路气敏元件进行测试,并可对气敏元件的测试数据实时显示,具有绘制特性参数曲线、数据统计和分档等功能,实现了对气敏元件性能参数的高效测试.     

环境因素对α-Fe_2O_3气敏元件性能的影响

通过对α－Fe2O3汽敏元件进行低温、高温、稳态湿热和振动等可靠性环境试验，探索了各种环境因素对其性能的影响．根据试验数据，采用FTA方法对元件进行了失效分析，找出了影响α－Fe2O3气敏元件性能的主要因素，从而为提高气敏元件可靠性提供了理论和技术保证．     

α-Fe_2O_3气敏元件可靠性工艺设计

利用可靠性设计技术，对α－Ｆｅ２Ｏ３气敏元件进行可靠性工艺设计。通过失效源的确立与分析，提高元件的成品率，实现气敏元件可靠性的增长。     

低功耗C_2H_5OH气敏元件

采用超细SnO2粉体，按照MQ—J1工艺制成低功耗C2H5OH气敏元件。该气敏元件将工作温度降低一半以上，而且选择性好，同时简化了常规C2H5OH气敏元件的生产工艺，是一种具有开发前途的气敏元件。     

气敏元件的制作方法

就气敏元件来说，目前已有接触燃烧式气敏元件和半导体式气敏元件。     

MOCVD法制备薄膜型Fe2O3气敏元件

本文采用ＭＯＣＶＤ技术制备了薄膜型Ｆｅ２Ｏ３气敏元件。测定了元件的物理性能和气敏特性。该气敏元件对乙醇、丙酮和液化石油气有较高的灵敏度，响应时间快，对甲烷、管道煤气、硫化氢等气体不敏感，具有一定的选择性。还考查了元件的稳定性。     

半导体薄膜型NO_x气敏元件及应用装置

本文讨论了半导体薄膜型气敏元件的导电机理,介绍了为探测NOx(NO_2、NO)有害气体而研制的SnO_2薄膜型气敏元件的结构、气敏特性及应用气敏元件制成的报警、测量两用仪的原理和结构。     

磁控溅射纳米SnO_2薄膜的气敏特性

采用磁控溅射制备SnO2薄膜气敏元件,测试了气敏元件的性能,研究了SnO2薄膜气敏元件薄膜厚度、元件加热功率和环境温度和湿度对元件的影响,气敏元件具有很好的灵敏度和选择性特性,对其敏感机理进行了探讨。     

表面处理对气敏元件特性的影响

利用表面修饰技术，通过不同气氛、溶液处理气敏元件表面，提高了元件的灵敏度，改善了选择特性．     

WO3纳米材料的NO2气敏特性

通过固相掺杂法制得一系列不同掺杂量的WO3纳米粉体，利用X射线衍射仪，透射电镜等测试手段分析了材料的微观结构，测试了元件的气敏,分现，适量掺杂SiO2有利于提高WO3纳米材料对NO2气体的灵敏度，其中掺杂量为3％（质量分数）的烧结型气敏元件在120℃下对NO2有较高的灵敏度的选择性，是一种工作温度较低气敏性能很好的NO2气敏元件。     

稀土掺杂薄膜型气敏元件

介绍稀土掺杂薄膜型气敏元件的制作工艺和敏感性能，测试结果表明，掺Ｅｕ２Ｏ３的元件对丙酮敏感性高，而掺Ｎｄ２Ｏ３的元件对乙炔气敏感性高，文中对这类元件的气敏机理作了简单的讨论。     

NO2高选择性气敏元件及其表面修饰

本文报导了用WO_3气敏材料制作高灵敏度、高选择性N0_2气敏元件的研究结果,并利用修饰技术在元件特性的改善和提高方面做了初步实验,对元件敏感机理也做了初步探讨.结果表明,元件对N0_2具有高灵敏、高选择特性,元件阻值合适且响应恢复快,并有良好的抗湿度特性,通过对元件气氛处理、掺杂等表面修饰技术可明显提高元件的气敏特性.     

金属氧化物气敏元件稳定性的研究进展

金属氧化物气敏元件性能的不稳定制约了元件的实用化进程,气敏元件稳定性的研究成为气体传感器技术中的一项重要内容。概述了金属氧化物气敏元件稳定性的研究进展,介绍了敏感材料、敏感材料的制备工艺、载体材料、加热/测量电极等因素对稳定性的影响。分析了各种影响因素的作用机理,并对其研究前景进行了展望。     

环境温度对SnO2元件气敏特性的影响

研究了环境温度变化对各种ＳｎＯ２元件气敏特性产生的影响，突出地表现为随着环境温度的降低，气敏元件在空气中的阻值Ｒ０明显增大。用有机硅化物处理元件的表面可减小元件Ｒ０的这种漂移。     

γ—Fe_2O_3陶瓷气体敏感元件

利用半导体r赤铁矿(即γ—Fe_2o_3陶瓷)研制出一种对易燃气体敏感元件,这种气敏元件是利用γ—Fe_2o_3半导体陶瓷具有显著的对气体敏感的现象制成的。从加速试验可以估算气敏元件的寿命,解释敏感性和老化机理。这种气敏元件适于作液化石油气的检测器和气体安全系统,它的优点是灵敏度高,稳定性好。文中还将阐述气敏元件的敏感特性,工作机构和可靠性。     

SnO2超微粒薄膜气敏元件的研制与测试

用射频磁控反应溅射法在Si基片上沉积SnO_2超微粒薄膜,溅射过程中适量掺Pd,用IC技术制成气敏元件.实验结果表明:该元件在90℃左右时对氢气有极高的灵敏度,是一种薄膜化、集成化、高选择性的气敏元件.本文介绍薄膜制备、微观结构分析、元件设计及气敏特性测试.     

硅胶基催化涂层对Ag-SnO_2气敏性能的影响

采用不同的硅胶基催化涂层对广谱敏感型Ag-SnO2气敏元件进行了表面修饰,改善了Ag-SnO2气敏元件的气体灵敏度和气体选择性,提高了Ag-SnO2气敏元件对H2的选择性