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《现代测量与实验室管理》2021,(3)
高纯氯化氢用途广泛,不仅是集成电路生产中硅片刻蚀、钝化、外延、气相抛光、吸杂和洁净处理等工艺的重要材料,也可用于金属冶炼,光导通讯和科学研究等领域。近年来,随着集成电路产业的飞速发展,对高纯氯化氢的需求量大增的同时,对于产品纯度的要求也是越来越高。本文主要从氯化氢的理化性质、用途及主要的制备方法入手,对目前几种常用的氯化氢的制备工艺技术及研究进展进行总结,以期对我国高纯氯化氢的制备和技术提升提供参考。 相似文献
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一引言高纯氯化氢是电子工业中制造大规模集成电路所需的重要材料之一。我国电子工业所用高纯氯化氢过去大多是从美、日等国进口。由于进货不及时,且价格昂贵,国内只好采用硫酸洗涤除氯化氢中的水,或用盐酸脱析制得纯氯化氢气体,这就使水份等杂质含量高,严重影响了电子元件的质量。1983年,我所接受了研制高纯氯化氢的任务。经过3年努力,已于1986年制得合格产品,即 相似文献
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氯化氢气中痕量水的测定,对半导体材料制造厂来说一直是相当重要的。对氯化氢中水的检测采用过许多不同的方法,包括卡尔·费休滴定法、红外光谱技术和使用干燥剂的重量测定法等。尽管它们在1000ppm(V/V)以上的高湿含量范围取得了不同程度的成功,但对测量水含量在1~1000Ppm范围的氯化氢时,这些方法就显得繁琐和不可靠。我们已找到一种测定氯化氨中水含量的方法,它类似于惰性气的露点测定。本法迅速,且易重复。氯化氢中ppm浓度的水含量,对应其冷凝温度的标定曲线,是低湿度ppm级含水的氮标准气与干氯化氢气由动态混合而建立起来的。此外,用干的氮气稀释干的氯化氢时,要鉴测 相似文献
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丁毓文 《工程设计与应用研究》1997,(2):27-31
氯化氢气体危害人体的健康、危及动植物生长,也损害各种器材、器具,是一种有毒有害的气体。本文首先阐述了它的性质、危害和产生它的污染源,第二介绍了国内外治理含氯化氢的污染的实用技术和应用实例。由于氯化氢又是有用的工业资源,文中重点介绍了氯化氢废气的综合利用技术,并将德、美、法、日等国开发的,已经工业化生产的以含HCl废气生产氯气、以副产稀盐酸用于工业生产和含HCl废气的直接利用的方法为借鉴,供国人参考 相似文献
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由于在半导体材料生产中所使用的氯化氢要求纯度高,这就决定了对其中的杂质(特别是含氧物,如O2、CO、CO2等)含量作直接高灵敏的控制和检测的必要性。 相似文献
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《化工新型材料》2015,(4)
设计合成了种双核酸性离子液体[MIM]2C4[HSO4]2、[BPy]2C4[HSO4]2、[MIM]2C4[PTSA]2和[BPy]2C4[PTSA]2,将其用于催化麻疯树果油和甲醇的酯交换反应,比较了不同离子液体间的酯交换催化性能,离子液体[MIM]2C4[HSO4]2的催化性能最好。在离子液体[MIM]2C4[HSO4]2作为酯交换反应的催化剂时,考察了反应温度、醇油摩尔比、离子液体用量和反应时间对酯交换反应的影响。结果表明:在反应温度为130℃,醇油摩尔比为12,离子液体用量为4%,反应时间为5h时,生物柴油收率可达94.8%。离子液体[MIM]2C4[HSO4]2具有较好的循环使用能力,循环使用6次后,生物柴油收率没有明显降低。 相似文献
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离子色谱法测定空气中的氮氧化物和氯化氢含量 总被引:1,自引:0,他引:1
阐述了离子色谱法测定空气和废气中氮氧化物、氯化氢的含量的方法与步骤。测定结果显示,氮氧化物和氯化氢的检测限分别为0.08mg/L、0.02mg/L,该方法的回收率分别为96.5%~102.1%,98.5%~103.7%,线性范围分别为0.00-l00mg/L,0.00-100mg/L,是一种简单、快速、可靠测定空气和废气中氮氧化物、氯化氢含量的好方法。 相似文献
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20 0 110 0 1 采用过滤和 /或吸附方法纯化低温液体的流程美国专利 № 5 913893 (英 )2 0 0 110 0 2 空气纯化流程美国专利 № 5 9144 5 5 (英 )2 0 0 110 0 3 手握式低温外科探头装置美国专利 № 5 916 2 12 (英 )2 0 0 110 0 4 从高压储槽将液态二氧化碳输送至低压可移动储槽中去的系统和方法美国专利 № 5 916 2 46 (英 )2 0 0 110 0 5 分离和回收全氟化合物的流程和系统美国专利 № 5 85 80 6 5 (英 )2 0 0 110 0 6 从气体混合物中分离和回收碳氟化合物和氯化氢的流程美国专利 № 5 85 80 6 6 (英 )2 0 0 110 0… 相似文献
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实验室氯化氢气体制备工艺探讨 总被引:2,自引:0,他引:2
讨论了实验室中氯化氢气体的制备工艺。给出了每种工艺的原理、装置和实例,通过对比它们的优缺点,得出了合理有效的制备工艺:浓盐酸滴入浓硫酸的方法。此外探讨了使用氯化氢钢瓶供气的方法。 相似文献
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多晶硅生产中副产物SiCl4的综合利用 总被引:3,自引:2,他引:1
在氯化氢(HCl)合成制备三氯氢硅(SiHCl3)过程中,除主要产品SiHCl3外,还有大约15%左右的四氧化硅(SiCl4)副产品,另外还有二氯氢硅(SiH2Cl2)等。在SiHCl3氢还原中,还伴随有SiHCl3的热分解而生成的SiCl4、SiH2Cl2和HCl等, 相似文献
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为解决离子液体在基础油中溶解性差、不宜用作润滑添加剂的问题,通过分子设计制备了极性较小的十六烷基三辛基季膦磷酸二异辛酯盐和十六烷基三辛基季胺多库酯钠盐2种油溶性离子液体,其在碳氢润滑油聚ɑ烯烃(PAO10)中均具有较好的溶解性。采用铜片腐蚀试验考察了2种离子液体的腐蚀性;通过Optimol SRV-IV往复振动摩擦磨损试验机测试了2种离子液体作为PAO10基础油添加剂的摩擦学性能,通过多功能X射线光电子能谱仪(XPS)和原位接触电阻(ECR)表征推导了离子液体添加剂在PAO基础油中的润滑机理。结果表明:2种离子液体作为PAO10的添加剂无腐蚀,完全符合对润滑添加剂的要求。2种离子液体添加剂比空白基础油和传统工业添加剂ZDDP均具有更好的减摩抗磨性能。2种离子液体添加剂会在摩擦副表面形成有效的吸附膜和发生复杂的摩擦化学反应,因而使离子液体具有优异的减摩抗磨性能。 相似文献