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ICP-OES法测定硅锰、锰铁合金中磷含量 总被引:1,自引:0,他引:1
应用ICP—OES法测定硅锰、锰铁合金中磷的含量,对试样前处理及分析方法的各种参数进行了优化,包括溶样酸的选择,分析谱线的选择,试样基体、分析酸度和干扰元素对测定结果的影响。通过各种分析参数的优化选择实现了硅锰、锰铁中磷的测定,取得了满意的效果。线性相关系数:P=0.9998,检测限为:0.030%。该分析方法准确快速,试剂用量少,线性范围宽,适用于硅锰、锰铁合金中质量分数为0.03~0.50%的磷测定。 相似文献
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ICP深硅刻蚀工艺研究 总被引:2,自引:0,他引:2
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是微机电系统器件加工中的关键技术之一.利用英国STS公司STS Multiplex刻蚀机,研究了ICP刻蚀中极板功率、腔室压力、刻蚀/钝化周期、气体流量等工艺参数对刻蚀形貌的影响,分析了刻蚀速率和侧壁垂直度的影响原因,给出了深硅刻蚀、侧壁光滑陡直刻蚀和高深宽比刻蚀等不同形貌刻蚀的优化工艺参数. 相似文献
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本文阐述了一种采用盐酸脱水重量法测定硅基负极中硅含量的方法。以碳酸钠-硼砂作为溶剂,于铂金坩埚内熔融分解样品,采用盐酸冒烟使硅酸脱水凝聚,以硝酸-氢氟酸加热处理灼烧后的沉淀,使硅以四氟化硅的形式挥发,根据前后质量差求得硅的含量,滤液中的硅采用ICP-OES测定,两者之和即为试料中的硅含量。通过实验考查了熔融温度、硅酸脱水温度及时间、氢氟酸用量、干扰元素的排除方法及ICP-OES测定条件等因素。结果表明,该方法有较好的准确度及精密度,加标回收率良好,适用于硅基负极中硅含量的测定。 相似文献
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面积归一化法分析混合气体中各组分含量 总被引:2,自引:0,他引:2
色谱分析中常用的定量方法有很多,标准曲线法、内标法及峰面积归一法等。峰面积归一化法是比较常用的一种定量分析方法。本文中所介绍的实验就采用了面积归一法来进行混合气体中各组分含量的定量分析。 相似文献
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ICP—AES法测定镀铬液中总铬,硫酸,铁,铜的含量 总被引:3,自引:1,他引:2
用电感耦合等离子体原子发射光谱分析法(ICP-AES)测定了镀铬液中的总铬,硫酸及主要杂质元素铁和铜,方法简便,快速,准确,精密,适用于镀铬液的检测。 相似文献
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含硅汽油的使用会对机动车的性能产生很大的影响和危害,快速、准确地测定汽油中的硅含量,对汽油的生产和质量控制具有重要的意义。本文结合国内外文献和专利报道,介绍了汽油中硅含量的常用测定方法,分析了各方法的优缺点及影响因素,探讨了存在的问题,对进一步了解油品中硅含量测定方法具有一定的参考意义。 相似文献
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介绍了在环氧树脂中引入含硅组分来提高其耐热性和韧性、引入含磷组分改性环氧树脂提高其阻燃性方面的研究进展。 相似文献
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ICP-AES法测定工业废水中铬镍锌铜镉含量 总被引:1,自引:0,他引:1
研究了采用ICP-AES田法测定工业废水中Cr、Ni、Zn、Cu和Cd含量的试验方法。该法用于国家标准水样和工业废水样品分析,获得满意的结果,并产生了经济和社会效益。 相似文献
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利用自感应耦合等离子(ICP)蚀刻机进行硅深层反应离子刻蚀,得到了几微米宽的狭槽,其轮廓通常为正锥形,即蚀刻槽的宽度随着蚀刻深度的增大而减小.然而,对一个宽槽来说,由于等离子区内边界层的变形,其蚀刻宽度会随着蚀刻深度的增加而增加.在许多应用中,硅蚀刻轮廓侧面的垂直状况是一个关键性问题.叙述了分离式垂直镜的加工过程;研究了影响蚀刻轮廓的各种重要参数.经过引入多步制法与优化激励源、基底偏压源及加工压力,减小了等离子区边界层内的变形,改善了轮廓的蚀刻状况.得到的结果为:120μm高垂直微镜垂直度为89.7°,200μm高垂直微镜垂直度为89.3°. 相似文献
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氟磷铁防腐涂料是一种用于保护钢铁表面的新型防腐涂料,它不仅对介质有隔离屏蔽作用,还能使钢铁表面磷化致钝、残锈软化。之所以如此,是因为它含有一种由Na_3FeF_6、FePO_4、FeOF、Fe_2P_2O_7、NaH_2PO_4和Na_4P_2O_3等组成的无机氟磷铁颜料,当涂料接触金属表面时,颜料中的活性组份使钢铁基体上的水份进行水解,生成具有缓蚀作用的络合物。涂料的基本性能: 涂料样品由临海市某化工厂提供涂料的成膜物基料采用PVC树脂。涂料物理机械性能实测见下表: 相似文献
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对中硅铝铜球铁氧化行为进行了试验研究,该球铁氧化皮中含有Al2O3,Al2O3膜在不同温度下对氧离子和碳离子在氧化皮中的扩散阻碍作用不同,使得该球铁在不同的温度下氧化动力学和氧化皮表面具有不同的特征。 相似文献