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微电子机械系统(MEMS)及其在军事领域的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。 相似文献
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硅MEMS器件加工技术及展望 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了几种典型的硅基MEMS加工技术以及应用,并简单展望了MEMS加工技术发展趋势。硅基MEMS加工技术主要包括体硅MEMS加工技术和表面MEMS加工技术。体硅MEMS加工技术的主要特点是对硅衬底材料的深刻蚀,可得到较大纵向尺寸可动微结构,体硅工艺包括湿法SOG(玻璃上硅)工艺、干法SOG工艺、正面体硅工艺、SOI(绝缘体上硅)工艺。表面MEMS加工技术主要通过在硅片上生长氧化硅、氮化硅、多晶硅等多层薄膜来完成MEMS器件的制作,利用表面工艺得到的可动微结构的纵向尺寸较小,但与IC工艺的兼容性更好,易与电路实现单片集成。阐述了这些MEMS加工技术的工艺原理、优缺点、加工精度、应用等。提出了MEMS加工技术的发展趋势,包括MEMS器件圆片级封装(WLP)技术、MEMS工艺标准化、MEMS与CMOS单片平面集成、MEMS器件与其他芯片的3D封装集成技术等。 相似文献
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MEMS惯性技术是近年来战术级惯性导航的研究热点,也是惯性导航技术未来的主要发展方向之一。本文介绍了MEMS惯性传感器的发展概况,结合Draper实验室的MEMS惯性系统项目计划介绍了MEMS惯性系统的发展,分别介绍了MEMS惯性测量单元和MEMS组合导航技术的最新进展,并展望了MEMS惯性系统的发展趋势。高性能MEMS陀螺、芯片级MEMS-IMU和MEMS组合导航系统是MEMS惯性技术未来的发展趋势。 相似文献
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针对新型光电火控系统的应用和发展,结合光电探测技术在火控系统中的具体应用,对配备了光电传感器(激光测距、电视跟踪、红外跟踪)的新型光电火控系统的特点进行了分析。并以洛克希德.马丁公司为美国海军陆战队的AH-1Z"眼镜蛇"直升机研制的光电火控目标瞄准系统(TSS)为例,对目前世界上先进的多传感器火控系统的主要性能参数和功能特性进行了分析,并初步探讨了新型光电火控系统的发展趋势,即光电火控系统正朝着各光电系统光轴合一、功能多样化、多目标跟踪的方向发展。新型光电火控系统将进一步提高目标识别、定位距离和装备平台的存活能力。 相似文献
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MEMS开关技术的研究与进展 总被引:1,自引:1,他引:0
开关是信号变为现实.在MEMS技术的基础上,分析了MEMS开关技术及其在电路系统中的应用,并着重阐述了射频MEMS的结构及其相关技术特点. 相似文献
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为了能够对煤矿井下火灾进行及时又准确的判断,并且保证井下煤矿开采的安全性,需要在开采过程中对井下的火灾状况进行实时的监控,针对传统的煤矿火灾系统的缺陷问题,本文提出了一种以无线传感器网络为基础的优化延时煤矿火灾监测与预警控制系统,本系统能够实现在早期发现火灾并且自动控制水管进行灭火,最重要的是可以实时的监控温度以及准确的判断出火势的蔓延方向,保证了煤矿工人的安全以及减小经济的损失。仿真证明,此方法实现了跳数的最优选择,使延时与跳数间成的线性关系较好,从而提高系统的稳定性,使煤矿的火灾发生率得到控制。 相似文献
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介绍了多传感器信息融合消防报警系统,包括火灾探测和消防管理两部分。根据“一点发现,多点求证”的原则,利用多传感器的不同性质,进行多级别、多方面处理,得到更可靠、更准确的结论。并结合消防管理规则,构建了具有自动化指挥的消防报警系统。 相似文献
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将多媒体计算机技术应用于火灾自动报警控制系统中,可更好地达到早期预报火灾的目的。文章详细介绍了最近研制成功的多媒体火灾自动报警控制系统的配置及工作原理,包括多媒体计算机及共外接口电路,8回路火灾自动报警控制器,2回路消防联动器以及相应的软件设计。 相似文献
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武装直升机火控系统发展研究 总被引:3,自引:3,他引:0
对武装直升机火控系统进行了描述,研究了其基本组成和功能,在分析国外情况的基础上,提出了我国新一代直升机火控系统新技术发展方向,最后对我国武装直升机火控系统的发展提出了建议。 相似文献