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质量流量计流量误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
质量流量计(MFC)广泛用于微电子工艺气体的流量控制。硅片制造工艺水平通常取决于对工艺过程中气体流量的精确控制。目前在线使用的质量流量计对工艺过程有较大影响包括质量流量计的设计 缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对工艺过程有较大影响。包括流量计的设计缺陷和外围条件的影响。现代工艺水平对质量流量计提出了更高要求,根据质量流量计的设计机理和外围条件,分析了MFC对相关气体工艺的影响,质量流量计带来的问 相似文献
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气体流量计量是科学计量的一个重要组成部分,目前采用的气体流量标准装置对于小流量气体计量准确度低,并且校准费用大,实现高精度的气体流量计检定及校准较为困难。本课题利用液体置换法设计了检测高精度气体流量的标准方法,同时该标准装置的研究可以使不同型式的气体流量标准之间的量值比对途径多样化。通过检定结果分析可得出下列结论:该方法可以使装置的扩展不确定度为0.09%,校准精度达到0.2级,达到课题设计的要求。该气体流量标准装置具有操作方便、稳定性高、重复性好等优点,特别是在高准确度小流量气体测量方面具有极大优势。 相似文献
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扼要介绍了蒸汽流量测量的作用及现状,分析了蒸汽流量计在制造、安装、使用三个环节中的测量误差,着重分析讨论了对测量误差有较大影响的一些因素,提出了改进蒸汽流量测量的一些措施。一般情况下,蒸汽流量计的实际使用压力及温度对测量误差有很大影响。 相似文献
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电磁流量计是化工生产中测量导电液体流量的首选工具。本文对电磁流量计在安装调试时应注意的问题进行探讨,并介绍了电磁流量计在化工实际应用中遇到的故障及处理方法。 相似文献
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超声多普勒流量模拟器研究 总被引:1,自引:0,他引:1
相对传统的流量计,超声多普勒流量计测量适合于多种工况条件和液体类型的流量测量,在工业流量测量中具有广泛的应用前景。为了适应多普勒流量计性能测试和评估的需要,加快流量计的研制进程,本文通过对油田应用环境的分析,提出了基于DDS(直接数字式频率合成)技术的多普勒流量模拟器的设计。完成了硬件、固件程序及计算机软件的开发。应用... 相似文献
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通过介绍电磁流量计,以及它的特点和工作原理,提出该流量计在测量煤浆流量会产生一定的误差。我们在此电磁流量计测量时会产生误差的原因进行了主要分析,加强技术改进,促使电磁流量计运用到更多的领域和行业中去。 相似文献
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基于MSP430F149的电磁流量计设计 总被引:1,自引:1,他引:0
电磁流量计是基于法拉第电磁感应定律的速度式电磁流量计。本文对国内外电磁流量计发展现状和趋势进行了简单介绍。在阐述电磁流量计测量原理的基础上,设计了一种基于MSP430F149单片机的LDB型电磁流量计,电路以MSP430F149单片机为核心,从而简化了外围硬件电路的设计,实现了液体流量的测量和累积。文中给出了设计的总体框图,部分硬件电路和控制软件流程图。本文设计的LDB型电磁流量计已经投入生产,经实际应用表明,该设计具有高精度,低功耗和可靠性强等特点,基本满足设计要求。 相似文献
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设计了基于热力学吸热定律的温差式流量传感器.通过标定试验确定流量与温差的关系后,现场只需测量加热装置前后的温度,即可由单片机MSP430F2132计算得到流量.利用无线模块,实现数据的短距离无线传输.在保证测量精度的同时,降低了流量传感器的成本. 相似文献
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电磁流量计作为流量测量仪表,其自身具有许多的优点,而且在冶金和石化等领域应用十分广泛,在流量计量中发挥着非常重要的作用.电磁流量计在测量过程中,由于设备选型、安全及使用等方面原因都会对其测量结果带来较大的影响,不仅会导致测量误差的产生,而且也会影响示值的稳定性.因此需要通过对电磙流量计的原理、特点等进行了解,从而有效地减少电磁流量计测量误差的产生,确保计量准确性得以提高.文中从电磁流量计的基本原则入手,并进一步对电磁流量计测量误差原因及对策进行了具体的阐述. 相似文献