超高真空下熔断丝垫圈的密封性能

叙述了超高真空下熔断丝密封垫圈高、低温(高温区为310℃,低温区为-196℃)密封性能的研究方法.采用带电子倍增器的四极质谱计对密封系统进行了残余气体分析和微小漏孔检测.用以检验密封效果及其可靠性.通过多次实验研究,证明熔断丝密封垫圈不仅能经受300℃高温下的连续烘烤.而且能承受液氮温度下(-196℃)的“冷冲击”,垫圈密封性能良好,系统真空度达到2.7×10~(-8)帕。最后对这种密封垫圈温度变化过程中的密封机制作了理论分析,并给出了简要而实用的结论.     

一台清洁超高真空设备通过鉴定

航空航天部511所,根据卫星用继电器超高真空冷焊试验的要求,于1989年9月建成一台新型清洁超高真空设备。该设备采用制冷机低温泵和溅射离子泵组合抽气。直径300mm的系统在烘烤温度不超过85℃,烘烤时间不超过24h,不另外使用液氮的情况下,停止烘烤后抽     

第十六讲真空系统的操作与维护

(上接2009年第3期88页) 4 扩散泵抽气系统 4.1 扩散泵抽气系统组成 一台经典的低返油率小型扩散泵高真空抽气系统的示意图.抽气系统主要由扩散泵、冷阱、闸板阀和机械泵等的结合组成.     

亚暴环境材料试验设备真空系统的研制

为研究磁层亚暴环境中空间材料的表面电位、表面电导、体电导、光电子发射、二次发射，以及充放电特性而研制了此真空系统．设备主泵为抽速１２００ 升／秒的涡轮分子泵，其前级为液氮阱－罗茨泵－直联式机械泵组成的前级机组。由大气抽到１．３帕需１５分钟，涡轮分子泵启动后， ４０分钟可抽到 ６．５×１０－４帕。 本文由四部分组成。第一部分论述了磁层亚暴环境设备对真空度的要求，以及国外同类型的各种模拟设备；第二部分给出了设备结构．真空室直径为０．５米，长约０．８米，开有太阳模拟、电子、紫外、离子等入口。筒体用６毫米厚不锈钢卷制而成。活动接口米用金属密封。真空室中样品台可工作在－１００℃～十１００℃范圈内，低温使用冷氮气，高温采用空气加热器。样品台要求有往复直线运动，为保障高低温下均具有气密性，采用了套管结构。前级阱用液氮冷却，液氮胆直径１２０毫米，高２３０毫米，用２毫米厚不锈钢板制造，每小时耗液氮不足２升，第三部分示出了系统运转特性曲线，以及机械泵加冷阱粗抽系统的抽气特性和谱图；最后分析了设备的结构特点。     

烘烤超高真空系统中法兰的保险丝密封

金丝垫圈的放气率低,可重复使用,又耐高温烘烤,密封可靠,但用黄金太昂贵,这就限制了它的广泛应用。用保险丝作垫圈,则价廉易作,延展性良好,使用方便。若能经受200℃以上的长时间烘烤而不漏气,则用它作为超高真空系统中的密封垫圈就有其广泛使用的意义了。为此,我们在不锈钢真空系统中,用保险丝(98％铅,2％锡)作法兰密封垫圈,进行超高真空获得的实验。在200～240℃下烘烤8小时,在充分冷却之后,系统极限压强达到了3.6×10~(-10)托。一、密封机制金属垫圈密封属于非限制压缩密封。当金属垫圈在两法兰之间被压缩时,法兰与垫圈的接触界面处可能会形成微小的、不规则的孔道而构成漏隙。这些漏隙的形状由表面接触时的     

有油排气系统的改进

以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上排气封离时极限真空都限制在１０－７～１０－６乇，且存在油蒸汽对被抽器件的污染，使许多要求耐高压、高放射率和长寿命的器件的性能不能稳定和提高。 本文试验了由钛升华阱──冷阱──普通扩散泵──活性氧化铝吸附阱－机械泵组成的真空系统的抽气性能。结果表明系统极限真空度用液氮冷却在五～八小时内达到 （５～８） × １０－１０乇，自然冷却达到（３～４） × １０－９乇。并用该试验系统试排了数只 ＴＭ－８５电子管，在基本上不改变原排气工艺规范和不延长排气时间的条件下封离时真空度为 （１～２） × １０－８乇比原系统提高了二个数量级，参数全部合格，试验结果说明，系统的操作步骤对极限真空有很大影响，如在管内采用锆铝吸气剂并适当改变排气工艺规范以适应系统的超高真空性能可能获得更高的极限真空度。     

一台大型、清洁的超高真空空间环模试验设备

本文简要介绍一台七十米长的清洁超高真空空间环模试验设备的设计。设备的检测腔φ1.2米×L5.6米,光路管道φ0.4米×L64米。采用现代的组合抽气手段获得清洁真空。其中:主泵为溅射离子泵,冷阱式升华钛泵作为辅助泵,预抽系统采用机械泵+吸附阱+涡轮分子泵机组。整台设备不烘烤。获得极限真空度P=3.6×10~(-8)托,工作真空度,P=4.3×10~(-7)托,残气中碳氢化合物含量占万分之几,设备振动,(包括地基振动)<1微米。     

用涡轮分子泵系统获得超高真空

用装有阶梯式(conflat)密封法兰的涡轮分子泵,设计了一个超高真空系统。这个系统,经200℃、20小时烘烤后,极限真空度是1.4×10-9乇。紧接着烘烤操作之后,若使钛升华泵工作,则系统的压强可降到4.5 ×10-10乇。同时也进行了系统内的剩余气体分析。本文还讨论了获得更低压强的方法。 一、前言 涡轮分子泵最近多用于等离子核聚变试验装置的抽气系统。涡轮分子泵的特征是可以直接与油旋转泵配合,从大气开始对系统进行动态抽气,很容易获得10-8乇左右的真空。此外还有不需过于考虑防止油蒸气从反压侧向高真空侧逆流的优点。但是为要获得洁净真空,就…     

超高真空下剩余气体分析的实验

本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的机械泵预抽,通过有机溶剂的清洗和氮气辉光放电以及中温烘烤等处理获得超高真空。对系统的各压强下的气体成分以及B-A规的影响作了分析。根据实验结果,讨论了剩余气体成分对获得超高真空等影响。     

10~(-13)托的液氦低温冷凝泵

本文介绍了超高真空校准装置用的液氦低温冷凝泵的性能。 该泵的特点是泵体的双层外壁用液氮冷却作为液氮屏蔽,而未采用泵内的液氮屏蔽挡板。极限真空度高,抽速大,满足了校准装置的要求。 液氮低温冷凝泵在4.2K时测得极限真空为1.2 ×10～-12托,抽速为6500升/秒(对干燥氮气)。减压降温接近2K时,极限真空为 10～-13托,对氢气抽速为11000升/秒。 一、引言 低温冷凝泵是利用致冷剂将固体表面冷到极低温度,使气体碰在冷凝表面上被凝结,从而产生抽气作用的。这种抽气过程基本上是一种物理吸附过程。它的抽速仅与低温表面或低温板的面积、几何形…     

手动增压式液氮泵

介绍了获国家实用新型专利的手动增压式液氮泵。该泵用于与符合ＧＢ５４５８的液氮生物容器配套，向其它杜瓦、冷阱等输送液氮。评述了各种液氮传输方法，给出了新泵的原理、结构、使用方法。试验结果：平均流量达到４．１６Ｌ／ｍｉｎ，扬程大于２ｍ，传输效率９５％，质量１．６ｋｇ。使用结果证明新泵具有结构简单、质量轻、连接密封可靠、操作方便、省力、流量大、连续工作性能稳定、传输效率高等优点，是一种较为理想的液氮传输设备。     

真空技术及应用系列讲座 第九讲:真空系统组成元件

2.3　冷凝捕集器 (上接 2 0 0 0年第 2期第 5 2页 )2 .3.1概述冷凝捕集器又称冷阱 ,是利用低温冷壁来捕集可凝性蒸气的一种低温冷凝捕集器。冷阱被广泛应用于高真空和超高真空系统中 ,安装在主泵入口和真空室之间的管路上。冷阱不仅能有效地捕集来自蒸气流泵的返流蒸气和部分裂解物 ,而且还可抽除来自真空室内的可凝性蒸气。冷阱的效果除了取决于其结构之处 ,还取决于所使用的冷壁温度 ,低温冷壁的温度愈低效果愈好。使用冷阱应遵守一定规则 :在加入冷剂前 ,应将容器抽空到足够低的压强 ,使可凝性气体被大量排除后再加入冷剂 ;在使用过程中 …     

热真空低温环境实验台研制

为满足低温实验的环境要求,建设了液氮温度级别(80 K)的热真空冷阱低温环境实验台,可进行低温实验中压力与压差、温度与温差、流量与热负荷的测量.该实验台采用附加液氮冷阱的真空多层绝热结构,冷阱温度最低可达80 K,无负载时冷箱真空度可达0.000 03 Pa;在采用外循环工质时,测试压力范围为0-1 MPa、压差范围为...     

φ160冷阱的设计和计算

介绍了冷阱的结构及其设计计算，此冷阱是串联子低温再生及检漏真空系统的φ160管道上，分析了该冷阱的启动压强和液氮消耗量，得到了最佳的启动压强。     

用带冷阱的油封机械泵启动溅射离子泵

溅射离子泵房动时,需要预真空,其值因泵而异。对于准无油溅射离子泵系统及有液氮来源的部门来说,使用油封机械泵加液氮冷阱来启动溅射离子泵是比较理想的。这种方法不仅可以使返油率降低99％.而且运转方便.使用过程中没有粉尘,不需要前处理工序。     

论不锈钢容器中烘烤对出气率与抽速关系的影响

为了研究真空系统中烘烤时对出气率与抽速关系的影响，在室温条件下未经烘烤和在室温条件下经过温度为１００℃和２５０℃烘烤的情况下，对出气率与抽速的关系进行了测量。测量所得出气率ｑ（Ｔｏｒｒ，ｌ／ｓ，ｃｍ＾２）遵循指数规律：ｑ＝（Ｃｓ／Ａ）＾ｍ，其中，ｃ和ｍ（０〈ｍ〈１）为常数：Ｓ／Ａ为抽气参数，其定义为抽速Ｓ（ｌ／ｓ）与真空容器表面积Ａ（ｃｍ＾２）之比，Ｓ／Ａ的变化范围从２．４６×１０＾－５到１．２６     

我国一台大型空间环模设备获得超高真空

我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9)     

冷阱温度对蒸煮肉制品真空冷却效果的影响

真空冷却技术具有降温速度快、运行能耗低等优点,在食品冷链中得到了应用并迅速发展。本文以蒸煮肉制品为研究对象,开展蒸煮肉制品真空冷却效果实验,分析不同冷阱温度对冷却速率、质量变化和真空室内压力对冷却效果的影响。结果表明:不同的冷阱温度对蒸煮肉制品冷却速率、冷却前后的质量变化,以及对冷却过程中真空室内的压力产生不同的影响。另外,并非冷阱温度越低冷却效果越好,实验对比了冷阱温度为-15℃、-25℃和-35℃下的真空冷却过程,冷阱温度的最佳值为-25℃,冷却时间最少为320s。     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

超高真空型空心金属O型环的研制

1.前言　　英国研制过作为飞机垫圈用空心金属O型环,当时主要作为高温液压密封材料使用。因为液体密封的特点是密封面的压力低,所以不适合作真空密封材料。 1976年,在与核聚变有关的各种试验设备中,迫切需要直径约1320毫米并能耐450℃烘烤的超高真空垫圈。可是当时国内外能满足