纳米级精度的线宽测量仪

在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.     

双盘式渐开线测量装置误差的计算机补偿方法

以双盘式渐开线测量装置为研究对象,研究了对此装置的微机误差补偿方法。从众多的误差源中选出最大的三种误差进行补偿,使装置不确定度由原来的≤±0.7μm下降到≤±0.5μm.     

双盘式渐开线测量装置误差的计算机补偿方法

以双盘式渐开线测量装置为研究对象，研究了对此装置的微机误差补偿方法。从众多的误差源中选出最大的三种误差进行补偿，使装置不确定度由原来的≤±0．7μm下降到≤±0．5μm。     

轮廓光电自动调焦系统

本文叙述我所研制的轮廓光电自动调焦的原理。实验证明:移动范围在±10μm时,重复精度为±0.5μm;大于±10μm 时,重复精度为±1μm。     

数显技术讲座：第十讲 国内外数显装置及其选用

一、常用位移传感器 (一)感应同步器 1.直线分离式单块尺标准长度250mm,GZD-1型有0级±1.5μm(国外±1μm)和1级±2.5μm,2级±5μm三种,前两种成品率达95％以上。标准长度400～1100mm有:00级±1.5μm,0级±3μm,按有的企业标准GZD-2型窄尺精度与GZD-1型基本相同。GZH-1(标准式)、GZH-2型(窄式)滑尺精度也分为0级(±0.8μm)、1级(±1.5μm)和2级(±2.5μm)三种,与相应精度等级的定尺配套使用。 2.组装式尺将定尺、滑尺组装在一个封闭的金属壳内并准确地调整好其相对位置和间隙,密封型结构,安装方便。国内组装尺型号较多,精度一般为±0.005     

基准环规检定和传递

内径环规基准件的检定至今仍是一个很伤脑筋的问题 ,因为希望环规的不确定度能保证在± 0 5μm范围内 ,而这样高的精度是很难达到的。表 1列出了在现有水平下测量环规直径所用的仪器及测量方法。表 1　测量环规所用仪器、方法和精度仪器名称规格型号测量方法 仪器精度μm卧式测长仪4J、JD5、JDY -1 0 0T -UIM -5 0 0、ZEISEOPTON绝对测量± (2 +L/1 0 0 )测量仪MUT -1 0 0 0、TJA相对测量± (0 6+9L/1 0 0 0 0 )象点反射比长仪 2 0 0型数字式比长仪直接测量± (0 5 +L/3 0 0 +H/1 0 0 )孔径测量仪 70 1A干涉比较测量± 0 5…     

感应同步器组装尺及应用

感应同步器自50年代初问世以来,许多国家的公司已引进和生产。当今,美国法兰德(FARRAND)公司——数显技术的先驱和发明者,无论在品种或精度上仍居首位,如直线型感应同步器的精度为1μm,分辨率为0.03μm,重复定位精度为0.05μm。商品精度有±1μm和±2.5μm两种。国外感应同步器的品种齐全,有各种直径,不同规格的圆感应同步器,多层绕组圆感应同步器;直线型感应同步器除标准型外,还发展了窄式、三重式、带式等。国外还生产标准定型的感应同步器组装尺,如意大利奥利维蒂公司的TM—170、TM—420、TP—07和TP—17等型号组装尺。     

像差在临界角方法探焦技术中的影响

分析了在临界角方法探焦技术中像差对测量灵敏度的影响。并给出了对两个显微物镜测量的结果。焦点探测试验精度为±1×10^-2μm.     

双纵模双频激光精密测距仪的研究

介绍了一种双纵模双频激光精密测距的工作原理,信号处理及误差分析。测距仪是以频差800MHz(对应波长长度为380mm)的波长为测量基准进行测量的,对不足半个波长的长度是利用双频激光干涉仪的原理进行测量的。对该测量方法精度的理论和实验研究后,可以确定出总的测量精度为±(50±1.5×10-6L)μm。     

光电内窥参数检测装置

报导一种新的光电内窥参数测量装置。将一半导体激光器发出的光束经柱面镜汇聚成一细线,通过特殊设计的折反棱镜将其沿轴线方向投影到管孔内壁,得到管孔内壁的光截轮廓,该轮廓经物镜成像到CCD光敏面,通过图像卡采集到计算机。在计算机图像测量及辅助提示下,完成参数测量。此外,该装置还可在测量显微镜横向移动导轨及读数手轮的配合下测量内孔中径。实验结果表明轴向测量的重复精度为±17μm;中径测量的重复精度为±12μm.它在工业制造领域内具有广阔的应用前景。     

一种新型结构光栅测微传感器

介绍一种新型结构光栅测微传感器,测量范围0～20mm,采用双轴直线运动轴承导轨,结构新颖紧凑,测量精度为±1μm.     

基于LVDT的台阶信号拾取方法研究

大规模集成电路检测设备之一台阶测量仪是采用LVDT传感器拾取信号的,其设计合理与否直接关系到仪器的测量精度。文中采用零点残余电压补偿,合理地选择LVDT特性曲线的不同区域,以及正确设计传感器的安装角度等措施,有效地减小了零点残余电压的影响,并消除测量机构本身固有的二次项误差,提高了仪器的测量精度。实验表明,该仪器垂直方向测量分辨率可达0．5μm,重复测量精度为±0．015μm．     

透镜间隔的高精度在线测量

介绍了一种物镜透镜间隔非接触式测量系统。适用于平场复消色差物镜等高性能物镜的生产。文中详细叙述了测量原理、结构和精度分析。最大测量误差不超过±2μm。     

SZB-1000型悬臂式三座标测量机研制技术的探讨

SZB-1000型悬臂式三座标测量机是我们自行研制的高效率的生产型精密测量仪器。该仪器测量范围为,x向930mm,y向450mm,z向250mm;测量标准器采用每毫米25线的金属反射光栅,分辨率为2μm;各向测量的不确定性±10μm;单点测量重复性小于±1μm。本文就研制该仪器中的某些技术问题作大略介绍。     

石榴石单晶薄膜法拉第旋转的测量

测量系统主要特点是采用石榴石单晶薄膜磁光调制器,对偏振光进行调制,再经选频放大,明显地提高了测量系统的灵敏度。装置简单,操作方便。读数精度±0.005(deg).系统误差≤±3%。     

海德汉CIMT2003参展产品预览

长度计量 HEIDENHAIN公司的长度计的特点是有支撑测杆的内置导轨。主要用于监测工业度量中的测量设备,同时也可作方位置编码器。 ·精确度可达±0.1μm ·测量步距可达0.05μm     

大轴弯曲激光精密自动测量系统

提出了用激光扫描技术测量汽轮机转子弯曲量的新方法。测量系统用平面转镜进行扫描,采用双狭缝进行扫描自校准,由光电探测器完成光电转换,最后由微机完成数据处理、显示及打印。实验表明,该系统能远距离非接触测量大轴弯曲,测量精度达±5μm,测量距离达4m。     

MRB-1011测量系统

<正> 这是日本橘田生产工业公司开发的三坐标测量系统。该系统操作简单,经过一次示范后,可在无人操作下,完成全部测量工作。测量范围150×200×45mm,最小示值0.0001mm,测量精度15μm,重复精度为5μm。     

ZGZ—4型感应同步器组装尺

洛阳市孟津县传感器制造厂研制的ZGZ—4型感应同步器组装尺,是一种部件式传感器。可广泛用于各类机床、仪器、仪表的精密自动测量。这一新产品集小型化技术、超长生产技术、组装化技术于一体,质量稳定可靠、测量精度高、无反向误差,安装维修极为方便。该组装尺规格从250～5500mm,单根最大量程5410mm,截面面积35×35mm,最高精度±5μm/m。能与国内各定点厂家生产的数显表相匹配。     

机床与加工科技信息

86141 DWC 4 型数字式超精密振动──位移测量仪 本仪器是一种数字式超精密电容不接触原理的振动──位移测量仪器。具有以下特点: 1 .4 位数字显示,最高分辨率0.005μm,各显程与分辨率:300.0/0.5μm ; 30.00/0.05μm 3.000/0.005μm 2.测量频率范围:0-7.5kHz。 3.对球面测显对象具有非线性补偿作用,非线性<10%。 4.仪器具有模拟量输出接口 (±5.1V,±20 mA)与数字输出接口。 5.具有零漂小,抗干扰能力强,精度保持好等优点。 86142超精密轴系的研究 经过对超精密轴系的研究,研制成功一种空气静压轴系。主轴径向迴转精度达到 0.025 μm ,…