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采用无电化学刻蚀技术,通过优化Ag NO_3浓度、刻蚀温度和刻蚀时间,研究在125 mm×125 mm多晶硅片表面制备均匀分布硅纳米线阵列的方法,获得了硅纳米线织构的多晶硅在宽光谱范围内(300~1000 nm)平均反射率约为8%。成功制备了表面具有硅纳米线织构的多晶硅太阳电池,并通过两种改进方法提高太阳电池效率:1)优化硅纳米线阵列的长度(约1.5μm),并利用PECVD方法在硅纳米线阵列表面生长70 nm Si_3N_4薄膜进行表面钝化,纳米线织构的多晶硅太阳电池效率从8.95%提高到了11.41%。2)使用HNO_3和HF混合溶液去除硅衬底背表面的硅纳米线阵列,使铝背电极与多晶硅紧密接触,太阳电池效率进一步提高到13.99%。研究表明:所采用的改进方法能有效提高纳米线织构多晶硅太阳电池的效率。 相似文献
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采用淬火技术和酸洗络合技术提纯多晶硅。采用ICP测试多晶硅纯度,采用XRD、红外光谱、拉曼光谱、扫描显微镜、扫描电镜和能谱技术分析淬火对多晶硅提纯的催化机理,结果表明:1)淬火能减弱多晶硅杂质元素与硅之间的键能和键力,使多晶硅晶体出现缺陷和缩小硅体晶面间距;2)多晶硅杂质相主要由非晶金属氧化物或金属硅化物构成;3)采用酸洗络合技术和二次凝固技术可使多晶硅中B的移除率达到90%,同时其他金属杂质的移除率均在55%以上,提纯硅的纯度基本满足太阳电池的需求。 相似文献
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