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集成光栅器件是光集成电路(OIC)和光电子集成电路(OEIC)中的重要功能器件,真有波导材料中光波长量级的微细周期结构,其制作技术要求极为苛刻,本文侧重介绍在集成光栅器件制备中的全息光刻、电子束和离子束等微细加工技术。 相似文献
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等离子体软X射线源及其用于微细加工的探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
喷气式Z箍缩等离子体装置可产生较强的脉冲软X射线,利用此X射线进行了初曝光实验。另外,本文对此装置用于微细加工从理论上进行了初步探讨。 相似文献
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1引言近年来,微细电火花线切割加工以其独特的加工特点,即非机械接触加工,特别适合特殊复杂微小零件(如微小齿轮、微小花键、微小联接器等)加工的要求,并且具有较高的性价比,而得到了迅速的发展,在许多微型机械生产领域发挥了重要的作用。国内外对微细电火花加工技术的不断研究探索,已使微细电火花线切割加工在与微型机械制造结合及实用化方面取得了较大进步。在微细电火花线切割加工中,加工精度是主要的加工指标之一。微细电火花切割加工工具是微细线电极(以下简称电极丝),电极丝质量很小,外界轻微的振动将会引起其较大的偏移,产生形位误差,从而使加工精度很容易受到影响。在直线切割时会影响加工精度,在拐角切割时则更加严重,因此需要对形位误差进行分析,来指导微细电火花线切割加工的系统软件及自动编程软件的开关,并为自适应加工提供理论依据。2直线切割的形位误差2.1引起形位误差的原因根据微细电火花线切割加工的机理可知,在加工过程中,由于受放电力、材料蚀除过程中的爆炸力、放电通道中的瞬时压力等的影响,直线切割时,电极丝会出现与进给方向相反的滞后现象,表现为电极丝发生一定程度的弯曲,如图1所示。图中T为电极丝张力,F为加工过程中电极丝受各种作用力的... 相似文献
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1引言电火花小孔加工主要用于线切割零件的预穿丝孔、喷嘴以及耐热合金等难加工材料的小孔的加工。在加工中,应用正确的工艺参数可大大地提高加工效率和加工质量。实际应用中,使用电火花加工小孔,在加工质量可以满足要求的基础上,其加工速度直接影响加工效率。有很多因素可以影 相似文献
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渡边诚 《上海电机学院学报》2007,10(3):159-165
同步辐射是圆周运动和蛇行运动时高速电子发射的亮的电磁波,分别有连续和准单色的光谱。真空紫外.软X射线、硬X射线和红外线波段是优秀的光,被应用在基础科学、工程学、生物学、医学和环境科学。叙述了光的一般特性,同步辐射具有的特点、发生的方法及其有用性,通过介绍新颖的、成像、显微术、结构分析、光电子光谱学和微细加工的研究,说明同步辐射广泛的应用。简单介绍正在上海浦东张江地区建设的上海光源同步辐射设施。 相似文献
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一种微细型腔内氢气与空气预混燃烧的实验研究 总被引:10,自引:11,他引:10
针对微型涡轮发动机燃烧室的特点,搭建了氢气与空气预混燃烧实验装置,采用耐热合金材料以电火花特种工艺加工成型微细燃烧部件,开展了微细型腔燃烧特性实验研究,测试获得了着火浓度极限和燃烧温度变化规律,分析了运行参数对燃烧状况的影响。结果表明:由于微细型腔外表面散热损失的增大,火焰传播速度减小,可燃浓度范围明显缩小。在实验运行参数范围内,随着预混燃气流速的增加,着火极限浓度减小。对于外径为毫米级的微细燃烧腔,采用增压燃烧可以有效地扩大微型腔内的着火浓度极限,提高燃烧稳定性。 相似文献
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在数控加工中,虽然采用CAD/CAM自动编程在复杂零件加工中应用比较普遍,但手工编程在现代加工同样有其用武之地。比较自动编程,手工编制的程序可以更短小精悍,具有更强的可调性和可控性,这需要采用宏程序编制技术。本文以椭圆的轮廓加工、椭圆平面加工、椭圆球面凹槽加工为例,由浅入深的详细讲解各种椭圆加工的宏程序编制方法,说明宏程序在手工编制较为复杂零件的强大作用,抛砖引玉,用活宏程序。 相似文献
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介绍了大中型水轮机座环工地加工的种类和方法,相对应加工设备的设计原理、结构形式以及使用情况,并对座环工地加工对于水轮机组运行产生的作用进行总结。 相似文献
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电子束曝光系统中采用了多项校正技术,才得以使之渐致完善,成为微细加工领域中一种非常重要的工艺设备。本文根要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。 相似文献
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采用射频磁控溅射方法和微细加工工艺制备了不同Cu层宽度的弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1~40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响.结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗率随Cu层宽度的变化具有显著的变化,在频率10MHz、磁场12kA/m下,当Cu层宽度为0.4mm时,纵向、横向巨磁阻抗率分别达-57%、-65%. 相似文献
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阐述了水轮机叶片数控加工工艺的技术方法,重点对毛坯余量控制、叶片划检、叶片装夹、叶片加工及叶片修磨等工艺环节进行了分析研究。实践证明,水轮机叶片数控加工工艺方法具有加工效率高、精度高等优越性,使转轮加工质量大幅度提高。 相似文献
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采用圆周振动切削工艺,较顺利的解决了一般深孔加工中存在的钻头易钻偏、冷却排屑困难、钻头易折断以及加工表面质量差等问题,为进一步研究和推广深孔超声圆周振动加工技术提供了可靠的依据。 相似文献
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1引言数控中床主要是对各种板材如普通钢板、不锈钢及铝板等进行冷压成形或冲孔加工。广泛应用于汽车、航空航天、纺织机械、电气和电子以及开关柜等行业。最近几年,国内钣金加工设备需求出现新变化,数控钣金加工设备呈迅速普及的态势。数控冲床、数控折弯机、数控剪板机、数控激光切割机成为钣金加工的新宠,而传统的钣金加工设备和工艺已很难满足部分客户对加工精度、成本、效率、交货期等方面的需求。随着我国经济的高速发展,各类数控机床的使用越来越普及,因此数控冲床具有很大的市场前景。 相似文献
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高速走丝线切割加工质量的改善与提高 总被引:1,自引:0,他引:1
1引言电火花线切割技术作为一种精密加工技术在电加工领域中发展迅速,它具有加工精度高、表面质量好和效率高的特点,已经成为模具制造和金属加工行业必不可少的加工手段。电火花线切割加工的原理是按照图纸上工件的形状和尺寸在计算机上作图,然后由计算机系统编译成程序(3B语言 相似文献