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相似文献
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1.
本文完成了ADS注入器Ⅰ真空测量系统及其相关设备控制系统的设计,详细阐述了测量方法、控制逻辑、设备组成及通讯协议,分析了PLC阀门控制器工作模式及控制流程。测量和采集真空系统的实时状态,包括皮拉尼、冷规信号的采集和冷规电节点0/1信号采集,分子泵和离子泵等的状态信号。通过分析系统实际运行情况,发现强电磁场对于真空冷规的测量有较大的干扰。因此,对于需要与冷规信号一起联锁控制的真空系统,需考虑该干扰造成的影响。本文采用的相邻两个冷规信号联锁的方案,在一定程度上可避免强电磁场带来的信号干扰引起的系统保护。  相似文献   

2.
一 引言 由于冷阴极电离真空计没有热丝,不会因为真空系统突然暴露大气而烧毁,规管灵敏度高,测量线路简单,便于操作和维修,能迅速测量及连续指示,适用于记录和自动控制等优点,早已为我国真空冶金工作者所注意,国内许多真空技术工作者也从事过对各种冷规进行比较、分析、创新研究的工作(1),(2),并且在极高真空测量方面用的冷规研究取得了一定的进展(3)。但是,对于量大面广,工业上急需的高真空测量用的冷规,虽然在商品上曾一度出现过,但很快又消失了,至今在国内尚未有一种定型产品。许多工业真空系统,仍然使用玻璃规泡的DL-2型热阴极电离真空…  相似文献   

3.
这只高真空规测量10~(-4)~10~(-8)托。规的特点是在阴极上装了一个点火器。冷规在-2.5KV直流高压下引燃。通常反应时间小于1分钟。线性范围在5×10~(-3)到5×10~(-8)托。并且计算了在各个压强下的最大正负偏差数值。这个数值小于百分之五十。冷阴极电离真空计(以下简称冷规),因无热灯丝,不会因系统突然漏气而烧毁;规管租电源结构简单,且规管灵敏度高。但是普遍认为,冷规在上下限的扩展上比较困难。为解决在低压强下激发和下限的延伸,以激发电离为例曾对潘宁规采取过加辅助针尖、加  相似文献   

4.
从冷电离规的放电特性入手、研究了正交电磁场对放电的影响、导出了冷规的几何参量与电磁参量的关系,并分析了限流电阻对冷规放电特性所产生的影响,介绍了校准曲线.制作了一种改进型磁控式冷规,可在永磁钢,低电压下正常工作.放电稳定,测量仪器简单,测量范围从几十帕到10~(-4)帕,是一种很适用的冷阴极电离真空规.初步认为,磁控式冷规的电场和磁场,只有在测量下限延伸到10~(-6)帕后,才需要提高.  相似文献   

5.
本文简要的介绍了利用单片机实现真空阀门控制的工作原理,阐述了软硬件的具体实现方法.它应用于BEPCII直线加速器真空系统的阀门控制系统,系统选用冷规作为真空度传感器,可同时测量8路信号,具有抗干扰性强,控制准确,实时性强的特点.该控制系统可实现多路控制,具有效率高,体积小,成本低的特点.  相似文献   

6.
我厂研制成功的离子质量分析仪,采用直接读数式数字显示法的真空测量和带有自动控制、自动保护的真空控制柜,以检测和控制整机的真空度。经一年多来的使用,证明其性能基本稳定,操作简单。显示直观。 本仪器中,共装有四套真空数字显示线路,高低真空共用一套线路。其低真空测量范围为10-1乇至10-3乇,高真空测量范围为10-4乇至10-7乇,现将其中一套线路原理介绍如下: 真空数字显示系统由真空信号变换,数字显示和自动控制三部分组成。其方框图见图 (一),电路原理图见图(二),逻辑图见图(三)。 一、真空信号变换 真空信号变换,它由平衡电桥,冷规,射…  相似文献   

7.
NCG冷阴极规管   总被引:1,自引:0,他引:1  
一、引言与热规相比,冷规不仅作压强测量,还可作快速控制。在高能物理、空间技术等方面更显出优越性。但是,冷规在超高真空运用时的激发是个难题。J.R.Young和F.P.Heszion用灯丝提供初始电子的方法使测量下限延至10~(-9)Pa,Redhead提出了正反磁控式冷  相似文献   

8.
冷阴极电离真空规中离子能量的分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用127°电子能且分析器,测量了冷规内部在低压潘宁放电时的离子能量分布。在压强为2.5× 10-4托、冷规阳极电压为1.6千伏时,得到冷规的轴上电位仅300伏,离子能量峰值的位置为357 电子伏,半宽度为22电子伏。在3.0× 10-4托时观察到了放电模式的变化。  相似文献   

9.
目前国内冷规使用不广泛的原因是由于价格较贵,互换性差,量程不够宽,测量误差较大等原因造成。本文讨论了简易正磁控式冷规的电极结构、工作电压、磁钢与放电特性的影响,以及影响冷规零散性、测量上、下限的因素。并介绍了一种价廉,互换性较好,压强低于10-4托时放电电流与压强呈45°线性关系,测量范围为1×10-7~1×10-1托的冷规。  相似文献   

10.
张连柱  魏超鑫 《真空》1995,(5):35-37
本文探讨了氦质谱检漏仪的维修问题。介绍了对检漏仪的灵敏度随时间下降时所采取的对策。探讨了氦质谱检漏仪上所用的一些国产扩散泵油。介绍了该系统中真空抽不上,冷规指示不稳以及测试周期不能循环时所采取的对策。  相似文献   

11.
《真空》1976,(Z1)
一、概述 近年来,在低真空测量方面,工业上通常采用热传导真空计(热偶计、电阻真空计)或水银真空计。在工业用的真空系统中,如真空冶金、真空镀膜、真空浸渍、制药、造纸等要测量的压强常常处在中真空范围(1~10-5乇),因此广泛采用复合计。 热传导真空计测量准确性较差,受环境温度,油蒸汽污染的影响较大,对压强的快速变化反应较慢。水银真空计虽然原则上比较准确一些,但它影响工人的健康,此外操作不方便,读数慢,不能测量可凝性汽体等缺点。复合计的低真空和高真空衔接不好,用钨丝做灯丝的电离计管在10-1~10-3乇情况下工作寿命很短,。高压强…  相似文献   

12.
陈进  郭琼  王惠龄  王建 《真空》2004,41(2):48-50
介绍用于G-M制冷机真空测量的嵌入式低温真空测量系统硬件和软件设计,它由嵌入式真空测量控制模块与PC计算机系统组成.其特点是该真空测控模块可嵌入任意待测对象或系统,通过PC计算机的窗口软件选择配置仪器量程、精度和传感器,满足不同工作情况要求,并具有参数存盘、动画显示、打印等功能.  相似文献   

13.
ZhP-30型氦质谱检漏仪的设计特点和性能   总被引:1,自引:0,他引:1  
ZhP-30型氦质谱检漏仪采用涡轮分子泵真空系统,以逆扩散方式检漏;只有一个操作手柄的组合阀可完成预抽、检漏和放气的全部功能;取代传统的冷规,用总离子流测量质谱室压强并提供对灯丝的过压保护.本文给出分子泵作检漏用的各项特性。仪器最小可检漏率<5×10(-11)Pa·m3/s.  相似文献   

14.
《真空》1975,(1)
在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…  相似文献   

15.
本文介绍FB-1型副标准电离真空规的结构和电参数。此种真空规为三极管型。发现它的上限线性与其栅极电压和氮气气样纯度有关。其规管系数S在上限压力增至0.27Pa时仍可保持在1%以内。全量程校准的S值的偏差不超过2%。十三个月内S值的变化范围为1.2%。测量了此种真空规工作在油系统上的稳定性和起始稳定性。还用它作为传递规对中国计量科学研究院的几套真空标准进行了比对,初步结果是满意的。  相似文献   

16.
《真空》1978,(1)
随着电真空事业的发展,对真空的获得设备提出了愈来愈高的要求。由于无油真空系统 本身有许多优越性,使它在这一领域里得到了广泛的运用。为适应磁控管生产的需要,在 车间党支部的直接领导下,在厂技术科的关心和支持下,我们组织了有车间领导,工人和技 术人员参加的三结合试制小组,充分调动了工人和技术人员的积极性,经过三年的实践,目 前已有几套无油真空系统用于我车间磁控管生产中,该系统性能稳定,操作、维修方便,深 受工人同志们的欢迎。 一、泵的结构及有关参数 我们所用的钛泵,是由…  相似文献   

17.
高性能简式反磁控冷阴极电离规的研制   总被引:1,自引:1,他引:0  
就放电空间磁场强度及其分布对冷规灵敏度、运用条件等的影响进行了分析和讨论,提出了使冷规获得高灵敏度的磁场分布新观点,并给出了高灵敏度冷规的磁结构。新磁结构冷规性能测试表明:由于灵敏度的提高,在2×10~(-8)Pa时,冷规着火时间可缩短40%;所用磁钢中心值可从1600高斯降至900高斯,工作电压也可降低600伏,冷规成本因此约降低50%;此外,电压值的降低还使得漏电减小了一个数量级,从而拓宽了可测下限。  相似文献   

18.
本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点。为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统。然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染。利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验。这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值。  相似文献   

19.
张以忱 《真空》2008,45(1):78-80
1真空系统的组成 1.1真空系统的型式 用于满足某种工艺要求,能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。  相似文献   

20.
GQZ—400新型高真空油增压泵   总被引:1,自引:0,他引:1  
张国孝 《真空与低温》1999,5(2):119-121,118
为使油增压泵在高真空领域有较高抽速,改进了现有油增压泵的结构,其极限真空和抽速有了显著提高。扩大了它的应用范围。在真空设备中得到了成功地应用。  相似文献   

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