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本文完成了ADS注入器Ⅰ真空测量系统及其相关设备控制系统的设计,详细阐述了测量方法、控制逻辑、设备组成及通讯协议,分析了PLC阀门控制器工作模式及控制流程。测量和采集真空系统的实时状态,包括皮拉尼、冷规信号的采集和冷规电节点0/1信号采集,分子泵和离子泵等的状态信号。通过分析系统实际运行情况,发现强电磁场对于真空冷规的测量有较大的干扰。因此,对于需要与冷规信号一起联锁控制的真空系统,需考虑该干扰造成的影响。本文采用的相邻两个冷规信号联锁的方案,在一定程度上可避免强电磁场带来的信号干扰引起的系统保护。 相似文献
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一 引言 由于冷阴极电离真空计没有热丝,不会因为真空系统突然暴露大气而烧毁,规管灵敏度高,测量线路简单,便于操作和维修,能迅速测量及连续指示,适用于记录和自动控制等优点,早已为我国真空冶金工作者所注意,国内许多真空技术工作者也从事过对各种冷规进行比较、分析、创新研究的工作(1),(2),并且在极高真空测量方面用的冷规研究取得了一定的进展(3)。但是,对于量大面广,工业上急需的高真空测量用的冷规,虽然在商品上曾一度出现过,但很快又消失了,至今在国内尚未有一种定型产品。许多工业真空系统,仍然使用玻璃规泡的DL-2型热阴极电离真空… 相似文献
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这只高真空规测量10~(-4)~10~(-8)托。规的特点是在阴极上装了一个点火器。冷规在-2.5KV直流高压下引燃。通常反应时间小于1分钟。线性范围在5×10~(-3)到5×10~(-8)托。并且计算了在各个压强下的最大正负偏差数值。这个数值小于百分之五十。冷阴极电离真空计(以下简称冷规),因无热灯丝,不会因系统突然漏气而烧毁;规管租电源结构简单,且规管灵敏度高。但是普遍认为,冷规在上下限的扩展上比较困难。为解决在低压强下激发和下限的延伸,以激发电离为例曾对潘宁规采取过加辅助针尖、加 相似文献
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本文简要的介绍了利用单片机实现真空阀门控制的工作原理,阐述了软硬件的具体实现方法.它应用于BEPCII直线加速器真空系统的阀门控制系统,系统选用冷规作为真空度传感器,可同时测量8路信号,具有抗干扰性强,控制准确,实时性强的特点.该控制系统可实现多路控制,具有效率高,体积小,成本低的特点. 相似文献
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上海新跃仪表厂离子探针组 《真空》1977,(4)
我厂研制成功的离子质量分析仪,采用直接读数式数字显示法的真空测量和带有自动控制、自动保护的真空控制柜,以检测和控制整机的真空度。经一年多来的使用,证明其性能基本稳定,操作简单。显示直观。 本仪器中,共装有四套真空数字显示线路,高低真空共用一套线路。其低真空测量范围为10-1乇至10-3乇,高真空测量范围为10-4乇至10-7乇,现将其中一套线路原理介绍如下: 真空数字显示系统由真空信号变换,数字显示和自动控制三部分组成。其方框图见图 (一),电路原理图见图(二),逻辑图见图(三)。 一、真空信号变换 真空信号变换,它由平衡电桥,冷规,射… 相似文献
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目前国内冷规使用不广泛的原因是由于价格较贵,互换性差,量程不够宽,测量误差较大等原因造成。本文讨论了简易正磁控式冷规的电极结构、工作电压、磁钢与放电特性的影响,以及影响冷规零散性、测量上、下限的因素。并介绍了一种价廉,互换性较好,压强低于10-4托时放电电流与压强呈45°线性关系,测量范围为1×10-7~1×10-1托的冷规。 相似文献
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本文探讨了氦质谱检漏仪的维修问题。介绍了对检漏仪的灵敏度随时间下降时所采取的对策。探讨了氦质谱检漏仪上所用的一些国产扩散泵油。介绍了该系统中真空抽不上,冷规指示不稳以及测试周期不能循环时所采取的对策。 相似文献
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高性能简式反磁控冷阴极电离规的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
就放电空间磁场强度及其分布对冷规灵敏度、运用条件等的影响进行了分析和讨论,提出了使冷规获得高灵敏度的磁场分布新观点,并给出了高灵敏度冷规的磁结构。新磁结构冷规性能测试表明:由于灵敏度的提高,在2×10~(-8)Pa时,冷规着火时间可缩短40%;所用磁钢中心值可从1600高斯降至900高斯,工作电压也可降低600伏,冷规成本因此约降低50%;此外,电压值的降低还使得漏电减小了一个数量级,从而拓宽了可测下限。 相似文献
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1真空系统的组成
1.1真空系统的型式
用于满足某种工艺要求,能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。 相似文献
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GQZ—400新型高真空油增压泵 总被引:1,自引:0,他引:1
为使油增压泵在高真空领域有较高抽速,改进了现有油增压泵的结构,其极限真空和抽速有了显著提高。扩大了它的应用范围。在真空设备中得到了成功地应用。 相似文献