磁悬浮高速转子真空计的试验

本文介绍我们研制的磁悬浮真空计初步试验结果。简述该计的组成与利用数字频率计测量压强的方法。给出与中国计量科学研究院真空室的薄膜真空计对比,与DL-2型热阴极电离计对比及密封管静态压强测量稳定性的试验结果。试验的结果表明: ①多次对比的试验有较好的重复性。②在1×10~(-2)～1×10~(-3)托压强范围内,磁悬规与薄膜真空计的读数基本一致,相对偏差小于1％。磁悬规压强测量线性上限为1×10~(-2)托。③在1×10~(-3)～1×10~(-5)托压强范围内,DL-2型热阴极电离计与磁悬规的读数的相对偏差在 5％～-10％之间。在6×10~(-4)托压强附近,三天内多次对比的重复性较好。两个规的压强读数比值的相对标准差为1.3×10~(-2)。④密封管内静态压强的测量,平均压强P=2.555×10~(-3)托时,相对标准差为4.3×10~(-3);平均压强P=6.479×10~(-5)。托时,相对标准差为1.1×10~(-2)。     

一种新型的轴向式超高真空自调制规

本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的新型自调式超高真空电离规。它是采用自调制技术改变离子收集效率来消除剩余光电流的。它较短收集极BA式自调制规具有灵敏度高(11托~(-1)),零散性小等特点。本文给出了规管在两种不同离子收集效率工作状态下的实验结果和加速极的电子流分布情况。该规管结构简单,测量上限为5×10~(-4)托。在无调制情况下软X射线光电流本底为1.5×10~(-11)托。在自调制工作条件下其可测下限约为2×10~(-12)托。     

磁控式冷规的放电特性的研究

从冷电离规的放电特性入手、研究了正交电磁场对放电的影响、导出了冷规的几何参量与电磁参量的关系,并分析了限流电阻对冷规放电特性所产生的影响,介绍了校准曲线.制作了一种改进型磁控式冷规,可在永磁钢,低电压下正常工作.放电稳定,测量仪器简单,测量范围从几十帕到10~(-4)帕,是一种很适用的冷阴极电离真空规.初步认为,磁控式冷规的电场和磁场,只有在测量下限延伸到10~(-6)帕后,才需要提高.     

超高真空分离规的研究

本文介绍我们研制的超高真空分离规的初步结果。给出分离规的结构、工作状态、压强范围和灵敏度。在全压强范围,分别利用大圆筒电离计、BA计和分离规进行对比,说明分离规的读数是可靠的,发现分离规在高压强时收集极电流有饱和现象并加以说明,发现BA计在10~(-8)托(空气)量程就已出现电子诱导栅极离子解吸现象。在0.3×10~(-11)托的极限真空下,改变栅灯电压测收集极电流,用对数直线外延法确定分离规的x射线光电流本底,它为1×10~(-12)托,讨论了这种方法的可行性。最后提出进一步提高分离规灵敏度的一种措施。     

DL-8型高压强电离规测量氩、氢、氖和氦等气体压强的相对灵敏度

在溅射或蒸镀半导体薄膜、冶金精炼、气体激光管的制造等所应用的真空系统中,都需要首先抽到约10~(-4)帕(约10~(-6)托)的高真空,然后引入氩、氮、氢、氦或氖等纯气体到10~(-1) -10~2帕(约l0~(-3)—1托)的高压范围,某些场合还要求所充气体的压强测量值有一定的精度。全量程为1.33×10~(-4)-1.33×1O~2帕(1×10~(-6)-1托,测氮压值)的DL-8型高-压强电离真空规(以下简称DL-8规)能够满足这些需要。由于DL-8规的电极结构和工作电参量与其它类型的电离规不同,其测量氩、氢、氖和氦等气体压强相对于     

NCG冷阴极规管

一、引言与热规相比,冷规不仅作压强测量,还可作快速控制。在高能物理、空间技术等方面更显出优越性。但是,冷规在超高真空运用时的激发是个难题。J.R.Young和F.P.Heszion用灯丝提供初始电子的方法使测量下限延至10~(-9)Pa,Redhead提出了正反磁控式冷     

冷阴极中真空规鉴定会在杭州举行

1984年4月23日～4月25日在杭州召开了浙江省青田真空仪表厂生产的 QLJ-1型冷阴极中真空规鉴定会。来自全国各地的40多名代表对该厂产品进行了技术鉴定。鉴定结果认为此规达到了设计指标,可以批量生产。该规的设计指标是:1.测量范围为1×10~(-5)～1×10~(-1)托:2.最大误差是偏离标准曲线不大于100%或不小于—80%;3.下限激发时间不大于30秒;4.冷规漏气率不大于10~(-6)托·升/秒;5.漏电流不大于电表刻度±1%;6.规管工作电压是阴极对地为—1.9千伏,稳定度优于±1%。     

球形结构的电子振荡微电离计

基于Mcilraith型带电粒子振荡器的工作原理,本文提出了一种球形结构的微型电离计的设计方案,并探讨了结构的可行性。作者初步进行了结构设计和性能的模拟试验。其结果,在阳极电压V_4=600伏,球电压V_3=10伏,灯丝偏压V_K=43.5伏下,规管灵敏度K=850托。在已测定的压强P=1×10~(-5)～5×10~(-5)托和I_e=1～12微安范围內,离子流I_i与压强P,以及I_i与I_e特性均是线性的。对x射线光电流和阳极表面脱附离子的影响也作了量测,相应的压强下限约为3×10~(-11)托。由于阳极环尺寸小,电压低,这个值主要为x射线光电流的本底值。由于发射电流很小,便于采用冷阴极发射,从而减少了灯丝的吸放气效应。     

带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统

本文提出了一种带选择性吸气泵的膨胀法高真空规校准系统。用锆铝泵或钛球升华泵可长时间使密封系统平衡在较低的本底压强(用钛升华泵可稳定在2×10~(-7)托),系统的升压率近于零,并可在1分钟内达到稳定。用氦气作试验气体,在10~(-3)～10~(-6)托范围内进行校准,重复性良好。文中提出一种反馈式的二级膨胀原理,可以在很简单的小系统上实现10~(-4)～10~(-6)托的校准,为高真空规的校准提供了廉价和简易的方法。实验证明,在氦气氛下,DL-2规在10~(-3)～10~(-6)托的压强范围内的灵敏度为4.1±0.2托~(-1)。BA规在10~(-5)～10~(-6)托范围内的灵敏度为3.3±0.3托~(-1)。二种规的离子流与压强均有很好的线性关系。     

利用选择性抽气原理校准微漏率标准漏孔

本文描述微漏率标准漏孔校准装置,装有选择性吸气泵——水冷钛升华泵;用定容升压法测量。加钛泵后系统内的大部份活性气体被消除,出气率降到小于10~(-10)托·升/秒。在测微漏率时,曾对电离规的出气及其三种工作状态(①连续工作;②保持灯丝恒温,间歇加栅压;③间歇点燃灯丝)做了研究和讨论。并对电离规对不同气体的灵敏度做了测量。对渗氦率10~(-8)～10~(-9)托·升/秒数量级的箔壁玻璃漏孔进行校准。其结果表明,精度均在±5％以内。     

具有一个环形阳极的马鞍场电子振荡微电离规

本文提出两种结构的具有环形阳极的马鞍场电子振荡微电离规(以下简称鞍场规),它其于可以产生电子路径,因而产生有效的气相电离的静电马鞍场约束的基础上。此种新颖、独特结构的鞍场规具有高灵敏度(500托~(-1))、量测范围宽(10~(-4)-10~(-10)托)、尺寸小(以柱型规管为例,外径约11～12mm,管长小于50mm)、功耗低(<0.15毫瓦),不需要任何去气电源,放气率极低,吸气率约为标准BA规的几十分之一。鞍场规与标准BA规和分离规的比较量测表明,在压强逐渐降低时,鞍场规不存在BA规由于电子诱导栅极正离子脱附产生的灵敏度异常现象,因此鞍场规特别适合于航天空间及密封器件内高真空和超高真空量测。     

轴向式热磁控电离真空规

本文提出一种在轴向发射式电离机构基础上发展成的热磁控电离真空规。根据实验结果,它较Lafferty热磁控规软X射线光电流与阳极电流之比(?)二个数量级(I_x/I_a=2×10~(-9))。其金属电极面积远较Lafferty规为小,除气容易。当压强低于1.33×10~(-6)帕和发射电流为1×10~(-6)安和1×10~(-7)安时,其灵敏度分别为7.5×10~(-4)和3.6×10~(-4)安/帕,相应的光电流本底为5.33×10~(13)帕和1.06×10~(-13)帕。它在无磁场时线性测量上限为1.33×10~(-2)帕。     

新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器

机械工业部沈阳真空技术研究所最近小量投产一批ZDR-8型数字式中真空电离计和ZDYQ-2型自动压强控制器,该产品线路结构新颖,工艺优良,技术指标先进,是真空测量仪表数字化显示的更新换新代产品。现在开始承接1986年订货和1985年四季度少量供货。主要技术性能:ZDR-8型数字式中真空电离计:·测量范围:1-1×10～(-6)托(9.9×10～1-9.9×10～(-4)帕).·测量精度:规管DL-8型小于±15%,电路:小于±5%.新产品介绍──ZDR-8型数字式中真空电离计 ZDYQ-2型自动压强控制器@李广顺$机械工业部沈阳真空技术研究所…     

用阴极激活法延长DL-2规管的使用寿命

DL-2型电离规管采用热阴极,适于高压强下使用作真空测量。但是热阴极容易沾污而中毒。经激活处理,可延长规管使用寿命。一、激活阴极的步骤真空炉抽至10~(-4)托～10~(-5)托高真空,将瓶氢气经充气导管和炉体放气阀引入真空室。其充气导管为内壁经过清洗、烘干的不锈钢管,也可用乳胶管代替。充气时注意,先引入少量氢气,使充气导管里的残存空气经真空机组排出,然后再次通入少量氢气。当真空度降到1托左右,就停止供氢,关闭供氢阀门和炉体放气阀,真空机组照常抽真空,这时热偶管测     

一套超高真空测试系统的研制

本文介绍了超高真空测试系统的结构特点。测试表明,系统在没有通液氮的情况下,极限真空度为1.8×10~(-11)托,通液氮的情况下,抑制规测得的极限真空度为6×10~(-12)托。测试系统暴露氮气(1大气压)10分钟后经8小时250℃烘烤,钛离子泵起动后3小时真空度为3.4×10~(-11)托。由于极限真空高,该系统能作超高和极高真空规管的对比测试和相对校准,还能作超高真空规管的本底压强的测量。     

小型缠绕式钛升华泵在氦氖激光器上的应用

在氦氖激光器制作过程中,真空系统的好坏和管内所充气体的纯净程度,对器件的性能和寿命有着直接的影响。目前我们所用的氦氖气体的纯度虽为99.99％,但由于某些储气瓶除气程度差,这样在氦氖激光管中所含杂质气体的分压强大约在10~(-4)托,其有害成分的分压强有可能在10~(-5)托。因此我们在排气时,真空系统的静态真空度,在一定的时间内总保持在10~(-5)托以上。过去我们的真空系统采用机械泵和扩散泵,充气时系统的动态真空度为2×10~(-5)托,但实际静态真空度在很短时间内下降到5×10~(-4)托。     

多功能真空校准装置

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa~1×10~(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10~(-5)~5×10~(-9)Pa·m~3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。     

可用于航天运载上的微型中真空电离规

航天器液体燃料管道绝热夹层的真空测理由于空间位置、重量和高可靠性的特殊要求,工业用真空计使用受到限制。研制的微型中真空电离规可以解决这类测量问题。并为低温容器绝热夹层的真空度测量提供一种较理想的真空压力传感器。这种规尺寸为Φ20×40毫米,全金属结构,总质量小于30克。在100~(-5)×10~(-4)帕有较好的线性。本规在10帕以上K=2.25×10~(-3)帕~(-1)。10帕以下压力时K=7.5×10~(-3)帕~(-1)。此规为斜口设计,即利于直接焊接外,更利于采用DN16CF法兰,为通用设备上的应用提供了较方便的接口,微型规用于低温大型液氧、液氢槽车绝热夹层中的真空测量是十分适宜的,频繁和长期地运输颠簸都不会过大地影响规管性能,可以保证测试结果的可信性。     

DL-8型(日本WIK)高压强电离真空规的一些特性

本文给出了DL-8型(日本WIK)高压强电离规的一些特性的实验数据:包括灵敏度零散,灵敏度与发射电流的关系,电极去气功率的选定,离子收集极引线接头安置屏蔽套的问题,测量低于1.33×10~(-4)帕(1×10~(-6)托)的可能性,以及测量一些气体和蒸汽的相对灵敏度等,与配合DL-8型控制电源(日本GI-KUO型)的结构性能。     

可测10^—^12Pa压力的离子谱规

从电子激发解吸(ESD)离子引起的测量误差出发,考察了。Lafferty 发明的热阴极磁控规和 Benvenuti 和 Hauer 改进的 Helmer 规的测量下限。在此基础上研制了一种新的热阴极全压规一离子谱规,它可以在低至10~(12)pa 的压力范围内完全避免 ESD 离子所引起的误差。其结构特点是:1.采用能使气相离子和 ESD 离子具有大的能量差的球形栅极离子源;2.采用具有高能量分辨率的180~(?)半球形离子能量分析器,以提高离子聚焦能力并降低 X 射线下限;3.采用可降低热阴极出气量的在铝合金法兰内掩埋离子收集极的技术。在一台新的铝制 XHV 系统上,进行了以 Mo 和 Pt 作栅极的两种新规的性能研究,通过引入 O_2进行实验证实了气相离子和ESD 离子的有效分离。对 Pt 栅规,当压力低至10~(-11)pa 时,可完全消除 ESD 离子误差。新规的测量下限和灵敏度分别为:Mo 栅规:Px<2×10~(-12)Pa,S=4.5×10~(-4)A/Pa;Pt 栅规:Px<5.6×10~(-12)Pa,S=1.8×10~(-4)A/Pa。