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一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏度为10~(-8)托·升/秒,到五十年代末达10~(-13)~10~(-14)托·升/秒。国内在六十年代以来分别研制的氦质谱检漏仪以及国外绝大部分质谱检漏仪新产品均属常规形式(见附表1、表2)。被检漏件与节流阀相连,由辅助机械泵完成粗抽。检漏时节流阀徐徐打开,调至质谱室允许的工作压强,质谱室真空由扩散泵抽气。为提高系统的真空度和质谱室少受沾污,一般加有液氮冷阱,前级有机械真空泵以及必要的一些辅助的旁路或 相似文献
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本文对氦质谱检漏仪的反应时间的两种测量方法进行了讨论,指出其中一种方法是错误的。 反应时间和清除时间是氦质谱检漏仪的重要参数之一,通常规定反应时间和清除时间不大于3秒。对仪器经常进行灵敏度校准和反应时间与清除时间的测量是检查仪器是否正常工作的手段之一。就是在检漏工作进行过程中,对于检漏技术人员来说也应该知道在连接了被检容器和辅助真空系统之后,整个检漏系统(包括检漏仪、被检件、辅助真空系统)的检漏灵敏度多大?反应时间与清除时间多长?这些决定了能够检示出多大漏孔和应该以怎样的速度进行检漏的问题。 下面只谈一下… 相似文献
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指出了氦质谱检漏仪在溴化锂制冷行业中应用的重要性.进一步介绍了氦质谱检漏仪的基本原理,结构,以及对溴化锂制冷机组进行氦质谱检漏时的检漏程序、检漏方法和注意事项. 相似文献
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这台快速检漏台用于夜视器件的检漏.与 ZLS—23型氦质谱检漏仪配套使用.它的特点是:(1)采用全金属系统,在满足生产要求的前提下尽量简化设备结构.各联接件均采用按国际标准的快速联接结构.(2)所有阀门均采用电磁阀,仅用四个按钮即可完成整个控制过程,操作简便,动作迅速可靠.(3)利用电阻真空计信号控制电磁阀的动作,可自动转换投入检漏状态.(4)通过设置活性氧化铝吸附挡油阱来克服粗抽机械泵的油蒸气污染,加上在氦质谱检漏仪的冷阱中灌注液氮的措施可以较好地解决对被检件的油蒸汽污染。 相似文献
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空调器生产线的氦质谱检漏技术 总被引:1,自引:1,他引:0
氦质谱检漏技术在空调器生产中已得到了应用,产生了明显的经济效益。对于生产线的空调器整机检漏采用了加压吸枪法。研制的检漏设备分三部分:充氦系统、氦质谱检漏仪和氦气回收系统,回收效率可达90%以上。设计了一套二器(冷凝器和蒸发器)氦质谱检漏设备。这套设备可对两器进行总检,其检漏速度达50s/台,灵敏度达10-9Pa·m3/s。 相似文献
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空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气检漏纯度要求,通过纯化可以将其纯度提高,实现氦气在空调两器检漏过程中的循环使用。 相似文献
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氦质谱检漏仪是当前用得最广、灵敏度最高的一种检漏仪器。它不仅能确定出极微小漏孔的位置,而且还能通过标准漏孔测量出该漏孔的漏率。因此,在真空技术,气体和液体的贮存和输送(特别是低温液体)装置等方面均得到了广泛应用。然而,如何充分发挥仪器的效能和提高检漏结果的可信度,确是值得认真对待的重要问题。既然被检件经过了检漏,那 相似文献
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罗世敏 《真空科学与技术学报》1990,(3)
本文根据顺流式氦质谱检漏仪和逆流式氦质谱检漏仪真空系统的结构配置特点,分别推导出这两类检漏灵敏度、最高入口工作压强、抽气时间、最小可检漏率、最大可检漏率、响应时间和清除时间等特性的普适性计算公式。这些公式能够解释有关的实验结果,有助于分子泵逆流检漏仪的研制开发。 相似文献
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针对L200+型氦质谱检漏仪在使用过程中出现的内部密封结构泄漏、检测信号不准确、质谱室故障、分子泵不工作、前级泵不工作等故障和现象进行了分析,并提出了处理各种故障的方法和建议.总结了检漏仪在使用过程中应特别注意的事项.本文所提出的检漏仪故障的处理方法和建议对检漏工作者具有一定借鉴意义. 相似文献
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氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究 总被引:2,自引:1,他引:1
氦质谱非真空积累检漏法被广泛应用于航天器的总漏率测试中,因此研究氦质谱非真空检漏法具有重要的工程实际意义。本文首次详细给出了氦质谱非真空积累检漏法计算公式的详细推导过程,同时讨论了采用柔性收集室技术可能产生的一些问题。研究结果表明:氦质谱非真空积累检漏法有着严格的理论依据;柔性收集室的技术在理论上是可行的。本文的研究结论可以为氦质谱非真空积累检漏法的工程应用提供理论依据。 相似文献
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对HL环流器系列装置,开发了蒽-丙酮荧光液渗透检漏用于真空内衬的零部件检漏,灵敏度可以达到10-9Pa.m 3.s-1,示漏位置分辨小于0.5mm;对大容器真空检漏,采用四极质谱计和氦质谱检漏仪相配合的检漏法;对压力容器检漏,开发了真空罩吸枪-氦质谱检漏系统,还研制了适于抽除大量水汽的检漏真空机组。对氘氚放电的JET,使用普通的氦质谱检漏仪(扇形磁体型)受到真空室壁释放所吸留的氢同位素的、尤其是氘的严重干扰,因为示漏气体氦(4H e,4.0026u)与氘(D2,4.0282u)的质量数十分相近。在氦质谱检漏仪入口处串接选择性抽气泵——用液氮冷阱来抽除可凝气体、用分子筛泵或10K低温泵来抑制氢同位素本底,并前置一个涡轮分子泵来压缩加强采样气流等。这种加强组合能使原先的氦质谱检漏系统灵敏度提高3个量级以上。 相似文献