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涡轮分子泵是一种机械的超高真空泵。本文阐明了其结构,并与盖德分子泵作了比较。考虑了由返扩散和漏气所造成的损失之后,把盖德分子泵的公式作了修改,然后用于涡轮分子泵方面。用此法能算出泵转速对于各种气体的压强比。然后把计算值和实验值作了比较。压强比的对数与分子量的平方根成正比。对于质量数 120的压强比为10～16。对于譬如像比较重的油蒸汽分子来说,压强比的值就非常高,甚至用最新的仪表也测不出来。另外还指出,压强比取决于进气的抽速。还指出了由此曲线来计算分子泵(连接已知抽速的前级泵)抽速的程序。如果前级泵尺寸合适,那… 相似文献
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1.引言通常认为,加常规吸附阱的双级油封机械泵,在理想条件下能获得低于10~(-3)帕的极限压强。这类泵常用作扩散泵、涡轮分子泵和离子泵的前级抽气和粗抽。这里所说的极限压强是指在吸附阱前方测得的总压强。 相似文献
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涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果，获得１０－１１托的极限压强，对氮气或空气的抽速为３０００开／秒左右，而对于氢气的抽速为１万升／秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。 相似文献
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七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展高度重视。许多学者和专家对涡轮分子泵都做了大量的工作。从理论研究到设计制造都积累了许多宝贵经验，目前已趋于完善阶段。中、小型涡轮分子泵的产量逐年增加，泵的主要性能指标接近国外水平，为补全涡轮分子泵的系列，增加大规格产品，进一步满足各使用部门的急需，１９８２年，由原第一机械工业部军工局下达给我所Ｆ－３５００型涡轮分子泵的研制任务。经过三年多的努力，我所自行设计、制造和调试成功。于１９８６年９月通过部级鉴定。鉴定结论指出：Ｆ－３５００型涡轮分子泵的极限压强、压缩比和抽速三项主要性能指标都达到了原设计技术要求，几项参考指标也不低于同类型产品水平。 相似文献
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用装有阶梯式(conflat)密封法兰的涡轮分子泵,设计了一个超高真空系统。这个系统,经200℃、20小时烘烤后,极限真空度是1.4×10-9乇。紧接着烘烤操作之后,若使钛升华泵工作,则系统的压强可降到4.5 ×10-10乇。同时也进行了系统内的剩余气体分析。本文还讨论了获得更低压强的方法。 一、前言 涡轮分子泵最近多用于等离子核聚变试验装置的抽气系统。涡轮分子泵的特征是可以直接与油旋转泵配合,从大气开始对系统进行动态抽气,很容易获得10-8乇左右的真空。此外还有不需过于考虑防止油蒸气从反压侧向高真空侧逆流的优点。但是为要获得洁净真空,就… 相似文献
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七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展极为重视。一些学者和专家为 涡轮分子泵的研究、设计制造做出许多贡献并积累了大量宝贵经验，目前已趋于完善阶段。中、小型涡 轮分子泵的产量逐年增加，泵的主要性能指标接近国外水平。在Ｆ－２００、Ｆ－６００、Ｆ－１５００型泵相继研制成 功的基础上．为补全涡轮分子泵产品系列．增加大规格品种，进一步满足各使用部门急需，我所自行设计、 制造Ｆ－３５００型涡轮分子泵，于１９８６年９月通过部级鉴定。鉴定结论指出：Ｆ－３５００型涡轮分子泵的 极限压强、抽速和压缩比三项主要性能指标均达到原设计技术要求，几项参考指标也不低于国外同类型 产品水平。 相似文献
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介绍一种新颖拖动分子泵的工作原理、性能及其应用。该泵结构简单,抽气流量和入口压强比涡轮分子泵高１００倍,抽速拉近涡轮分子泵,粘滞损耗比罗茨泵低得多。最后还讨论了新泵的发展趋势。 相似文献
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涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响，本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。 相似文献
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一、前言 涡轮分子泵是一种能获得清洁超高真空的真空获得设备。它具有在极宽范围内抽速恒定、对被抽气体无选择性、起动快、操作方便等特点,目前已广泛应用于高能物理,表面物理,等离子体技术,各种分析仪器,电真空器件生产和真空技术各领域。 目前所生产的涡轮分子泵,是必需在有前级泵的条件下工作的真空泵。实验表明,由于级泵抽速的不同和前级泵联接管道的差异,对涡轮分子泵的性能测试结果有较大影响。涡轮分子泵的性能测试规程,规定其前级抽速是涡轮分子泵对不同气体名义抽速的 0.02至0.1倍。据此,如测定110升/秒抽速的涡轮分子泵性能时,… 相似文献
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本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型空冷涡轮分子泵的特点是： （１）不需水冷，所以安装和操作简单，而且可靠。 （２）润滑油的寿命长，超过一年。 （３）与溅射离子泵和冷凝泵等其他超高真空泵相比，运转和维护费用最低。 该新系列的研制是把日本岛津多年经验的飞机用高速转动机器和各种真空机器的设计、制造技术为基础而实现的。同时还研制了具有不同特点的控制回路和保护回路的泵用高频电源。因为涡轮分子泵既适用于无油反复抽降，也适用于长时间超高真空抽气，所以可望广泛应用．目前研制的空冷涡轮分子泵有抽速 ２２０升／秒、４５０升／秒和１４５０升／秒三种规格。 相似文献
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涡轮分子泵是一种新型的超高真空获得设备,其突出优点是对分子量大的重气体有很高的压缩比,可以有效地消除碳氢化合物对被抽系统的污染,获得清洁的超高真空。 F—1500分子泵是为兴建我国第一个高能物理实验中心而研制的大型超高真空获得设备,根据工程的具体要求,我所经过一年多的努力,自行设计、试制成功。一九七九年六月经第一机械工业部委托辽宁省机械局组织鉴定发给技术鉴定证书。证书指出:“F—1500立式涡轮分子泵对空气抽速和极限压强分别达到和超过协议规定的指标。协议未做规定的对氢抽速,对空气和氢气的压缩比、噪音和振动四项指标… 相似文献
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一、序言 涡轮分子泵是一种获得洁净真空的现代真空设备。它具有较大的抽气速率,能获得10～(-11)托的超高真空度,因此它在有些场合逐渐取代油扩散泵,在真空领域中获得日益广泛的应用。其主要领域是:集成电路、显像管、χ线管、真空镀膜、核聚变和质子加速器等。 涡轮分子泵(以下简称分子泵)技术的进步,除与泵体设计、加工技术、轴承精度等有关外,分子泵润滑油的质量也是不可忽视的一个环节。随着分子泵本身性能不断提高,如转速由几千转/分提高到九万转/分,抽气速率由几升到几百升/秒扩展到几升至九千升/秒,极限压强由10～(-9)托提高到10-“… 相似文献
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普通的涡轮分子泵采用电子变频电源或频率变换器，来提供涡轮分子泵的起动电源（频率发生器）和速度调节的保护控制。由于从几种设计中受到启发，研制了一种带有自动同步磁滞式电机的涡轮分子泵，用于核物理加速器或其它大型设备中。该电机不要求特殊专用电源。本文介绍了一种可以由中心电源操纵的涡轮分子泵，中心电源可以提供稳定电压和中频电源。该涡轮分子泵能够直接接在电源上，对于涡轮分子泵的广大用户来说，这样可以大幅度降低购价和安装费用。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(4)
基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。 相似文献
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近几年来,由于高能物理、宇航工程、受控热核装置和半导体电子工业等部门对真空技术提出一些新的要求,促使用机械方法获得无油超高真空的涡轮分子泵在研制与应用方面得到进一步的发展。许多国家已形成抽速由每秒几十升到每秒几千升的产品系列。国内自77年[1]以来也有不少单位分别研制成功了抽速为450、600、1200和1500升/秒四种类型的立式涡轮分子泵,有的已批量生产。涡轮分子泵具有一些与其他真空泵不同的工作特点,需要有相应的性能测试方法。1976年国际上ISO制订了《涡轮分子泵工作特性测试方法(修订本)》(以下简称《ISQ方法》,其译文… 相似文献