干法刻蚀设备中真空系统的相关问题

讨论了干法刻蚀设备真空系统中水汽／氧等残余气体的危害，反应室真空系统工作压强的精确控制以及真空排气系统的几个问题。结合作者从事刻蚀工艺实践，对这些问题进行了定性分析，并探讨了解决这些问题的可行方案。     

MEMS器件级高真空封装技术

在多数微机电系统（MEMS）器件级封装工艺中，需要采用高气密真空环境进行封装。在设备端实现该工艺至今依然是一项具有挑战性的技术难题，存在多项需要突破的关键技术，如真空转运、真空视觉对位、真空封盖和焊接等。因此提出一种适配工艺步骤的全自动高真空封装系统解决方案，并对其主要功能、工作原理、存在问题及解决方案进行详细论述。     

基于SolidWorks的真空灭弧室零件参数化系统的研究

以三维造型软件SolidWorks2005为平台，采用参数化的设计思想，以VisualBasic6．0为开发工具，建立了真空灭弧室零件参数化系统。系统给每一个零件创建了一个单独的设计界面，方便用户对真空灭弧室的每一个零件使用本系统进行参数的输入、确认，生成零件的三维模型，供用户后期的处理。通过使用本系统，必将极大地提高真空灭弧室设计过程中零件造型的速度，提高零部件设计的效率。     

真空微电子学的研究与发展

本文系统介绍了近年来真空微电子不的研究内容，达到的水平和亟待解决的问题，包括真空微电子器件的基本结构，场发射列，微尖结构物理，新材料和新器的探索以及真空微电子学的主要应用。     

皮拉尼（Pirani）真空规的修理

皮拉尼（Ｐｉｒａｎｉ）真空规的修理黄立，洪春晓（南京医科大学电镜室，南京医科大学显微镜室，南京２１００２９）皮拉尼真空规是电镜中的一个重要部件。真空系统真空状态的检测及抽真空程序的自动控制都要靠它提供的各检测点的讯息来实现。它如损坏势必影响仪器的正常...     

CON FLAT SEAL超高真空法兰及密封圈量规的设计

ＣＯＮ　ＦＬＡＴ　ＳＥＡＬ超高真空法兰及密封圈量规的设计蒋道满，李胜利（中国科学技术大学合肥·国家同步辐射实验室２３００２９）１９９５年９月４日收到一个复杂的超高真空系统及装置有许多机械部件和真空元件通过法兰连接在一起。近几年实践说明：超高真空系统组...     

电子探针及镀膜仪故障三例与镀膜仪样品架的设计

各种大型精密的电子显微镜，都有一个真空系统，主要给仪器的电子枪和镜筒部分提供一个高真空的空间，使电子枪发射的电子束在经过镜筒时不受气体分子的干扰，有利于形成高质量的电子显微图像，有利于进行高质量的微区成份分析。真空系统在使用过程中，由于有机械部分、电子测量与控制部分、冷却水循环部分，因此故障率较高。为了与同行相互交流经验，现将JCXA-733电子探针及JEE-4X真空镀膜仪的真空部分的三例故障分析和排除方法介绍如下。     

断路器真空化改造在油田配电系统中的应用

介绍了真空断路器的技术性能，分析了少油高压断路器在油田配电系统中存在的问题，通过对比分析，采用真空断路器对配电系统进行技术改造，改造后各项指标都达到了技术标准，明显降低系统故障率达到40％以上，取得了较好的运行效果，推广前景较好。     

真空系统在机床夹具上的应用

本文以在数控加工中心上加工莱产品天线支架为例，介绍了一种单机床型真空夹具的研制应用，着重讨论了真空系统，夹具体，电气控制系统设计及实现方法。     

美国4110D型半自动涂胶机主轴的真空吸附密封

美国４１１０Ｄ型半自动涂胶机主轴的真空吸附密封周占富（电子工业部第４５研究所甘肃平凉７４４０００）美国ＳＯＬＩＴＥＣ公司生产的４１１０Ｄ型半自动涂胶机，其主轴真空吸附密封系统结构简单紧凑，安装调试维修方便，真空吸附密封系统稳定可靠。解决了涂胶机主轴真...     

真空／控制气氛无钎剂激光软钎焊系统的研制

结合激光软钎焊技术的特点，研制了真空／控制气氛无钎剂激光软钎焊系统，以便利用激光软钎焊的优点，进行真空／控制气氛下激光非接触加热的无钎剂技术研究。     

光束线真空联锁保护系统性能评估测试

光束线真空联锁保护系统的主要功能是在束线薄窗破裂或实验站发生灾难性事故时,防止大气直接冲入储存环真空系统,并尽量减少漏入环真空室的气体量。光束线真空联锁保护系统主要由快阀、门阀、压力传感器(真空规)和控制系统等组成。本实验室一期时研制的第一套真空联锁保护系统进行了模拟性的性能测试。性能测试所得到的数据为光束线真空联锁保护系统的实际应用提供了可靠数据。     

制药洁净厂房的净化空调设计

结合工程实例和工艺要求重点介绍制药洁净厂房的空调系统的设计，设备选型，运行控制要求及真空清扫系统等。     

氧化物阴极的多次曝大气应用

本文从氧化物阴极的工作机理出发，分析了氧化物阴极在使用时出现的异常现象和消除办法。讨论了如何正确的使用氧化物阴极，延长其使用寿命。根据动态发射中心理论提出了在动态真空系统中工作的电子枪多次曝露大气使用的方法，使在动态真空系统应用中阴极的使用寿命大大地延长。     

DX—4电镜异常断电报警电路

我院ＤＸ－４透射电子显微镜是中科院北京科仪厂８０年代产品,其真空系统须手动操作,又无异常断电报警指示,因此在电镜异常断电时无法提醒工作人员及时关闭所有真空阀门和机械泵,降低了真空系统的安全性。这是因为电镜真空系统损坏的可能性主要来自系统中的各种泵油,...     

小型四极质谱计的设计方案探讨

为推动真空四极质谱计的应用，现提出一种用户实用、性能稳定可靠、价低的真空质谱计设计方案，１）按超高真空和高真空要求分开设计质谱管；２）采用公差一致性组装四极杆；３）采用粗、长四极杆；４）充分利用离化室的高压强工作能力；５）内藏式离子流放大器；６）增强仪器电路的实用功能。最后举例了一台溅射镀膜机监控质谱计，无须配置质谱计减压真空系统和微机等辅助设计，就能进行正常气氛监控，其总投资只需常规设计的三分之     

中压真空开关领域的最新研究成果

本文从实际应用的角度出发，系统地论述了目前真空开关技术领域里的最新研究成果，包括对真空开关的两个主要部分的研究：1、操动机构部分（为开关操作提供动能的部分，称为操动机构，AM）。2、开断部分（真空灭弧室，VI）。对真空开关进行整体设计时，还必须考虑以上两个部分的相互依赖性。对于操动机构的研究，源于单稳态永磁操动机构（MMA）概念的应用。采用单稳态永磁操动机构的断路器，能将机构的零件数降至最少，从而最大限度地消除影响真空断路器可靠性的主要原因。对于真空灭弧室部分，主要研究集中在两个关键部位，一是触头系统，二是真空密封。触头系统中纵磁场的应用加上特殊触头材料的使用，显著地提高了灭弧室的开断性能使用寿命。但真空灭弧室的使用寿命还与它的波纹管性能密切相关，传统的密封波纹管采用锻压工艺制造，而采用特殊焊接工艺能改善波纹管的受力结构，焊接波纹管可实现非常可观的操作次数，显著延长灭弧室的使用寿命。操动机构和真空灭弧室这两个主要部件的研究成果，为研制新一代小型化、轻便型的真空断路器产品提供了必要的条件，进一步拓展了真空断路器的应用领域，成为中压开关技术领域发展方向的代表。     

影响1.06μm光学薄膜激光损伤因素的实验研究

本文对光学薄膜淀积过程中真空室的真空环境对薄膜激光损伤的影响了理论与实验方面的分析，对分子泵，扩散泵真空系统及扩散泵＋离子束辅助淀积（ＩＡＤ）制备出的膜系样品所进行的损伤实验表明，分子泵系统制备出的薄膜显示出较高的损伤阈值。     

8031单片机构成的真空接触器自动测试系统

文章介绍了一种由８０３１单片机构成的真空接触器自动测试系统，介绍了系统的硬、软件设计、测试方法及特点。     

真空微电子压力传感器阵列数据采集研究

阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A／D数据采集系统。系统采用微机为主控单元，地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件(CPLD)实现，提高了设计的灵活性，简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集，最后给出了实验结果。