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化学气相沉积(Chemical vapor deposition,CVD)金刚石涂层刀具具有高硬度、优异的耐磨性、良好的冲击韧性和化学稳定性,能满足高效率、高精度的加工要求,逐渐成为切削铝和高硅铝合金、碳纤维增强复合材料及石墨等轻质量高强度难加工材料的主流涂层刀具。基于WC-Co硬质合金为基体的CVD金刚石涂层刀具在切削加工过程中容易发生CVD金刚石涂层的剥落,自主研发结合性能优良、长时间加工稳定的WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具仍是该领域国内外发展的必然趋势。目前,研究者为了提高WC-Co硬质合金/CVD金刚石涂层刀具的结合性能,采用化学刻蚀法和机械处理法相结合去除WC-Co硬质合金基体表层中的Co粘结相,发现其能增强涂层与基体的结合强度,但基体表层Co粘结相含量的减少容易导致基体中形成脆化层,降低基体的强度和韧性。为了减少基体的强度和韧性损失,研究者在WC-Co硬质合金基体和金刚石涂层之间制备稳定的含Co中间化合物或沉积中间层,成功阻挡Co粘结相的热扩散。除了上述方法外,研究者还通过调控金刚石涂层工艺参数和结构,将微米晶与纳米晶金刚石层叠相结合,来提高金刚石涂层刀具的摩擦学... 相似文献
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采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在WC-Co8%硬质合金刀具表面制备金刚石涂层,调节甲烷浓度等沉积工艺制备了单层金刚石涂层刀具和微米金刚石涂层(1.2 μm)、纳米金刚石涂层(200 nm)交替多层金刚石涂层刀具。以7075航空铝合金作为切削工件,在无润滑干切条件下测试了单层金刚石涂层刀具和多层金刚石涂层刀具的切削性能。实验结果表明,切削2 h后单层金刚石涂层刀具涂层脱落宽度达到35 μm,刀刃钝化;有多层金刚石涂层刀具的刃型保持完整,涂层无脱落。对单层金刚石涂层和多层金刚石涂层平面样品进行了洛氏压痕实验。结果表明,多层金刚石涂层的脱落面积约为单层金刚石涂层脱落面积的1/5到1/10,进一步说明多层金刚石涂层有更强的抵抗裂纹产生的能力。这些结果表明,金刚石多层结构能提高涂层与基体的界面结合力,延长金刚石涂层刀具的使用寿命。 相似文献
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金刚石涂层具有接近天然金刚石的超高硬度及耐磨性,被认为是精密加工石墨模具的理想刀具涂层材料.金刚石涂层与刀具基体间的结合力及涂层表面状态是高速干式切削加工质量及效率的关键,金刚石涂层前处理过程控制及涂层工艺是影响金刚石涂层刀具综合性能的重要因素.本工作基于热丝化学气相沉积技术,采用酸-碱-酸三步法对硬质合金材料进行前处理,在涂层沉积过程中采用大气流量及高炉压沉积工艺在刀具基体表面沉积金刚石涂层.采用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、拉曼光谱(Raman)、X射线衍射光谱(XRD)对涂层微观结构及物相结构进行分析表征,利用纳米压痕仪对金刚石涂层硬度进行测试,利用喷砂试验测试金刚石涂层的抗冲刷性能,利 用石墨模具切削试验表征金刚石涂层刀具的切削性能.结果表明,金刚石涂层呈典型八面体结构,涂层与基体紧密结合、无明显孔隙,金刚石涂层刀具表面粗糙度为157 nm,sp3键含量大于98%,(涂层硬度大于90 GPa),涂层沿(111)面择优生长,抗冲刷时间大于150 s(0.5 MPa,120目),涂层刀具高速切削石墨模具2 h后,被加工面表面粗糙度小于1 μm,达到进口刀具水平.切削完成后刀具前刀面出现少量崩缺,前刀面磨损是此类刀具加工石墨模具的主要磨损形式. 相似文献
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金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的界面表征 总被引:3,自引:0,他引:3
采用SEM对金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的金刚石薄膜表面、背面及金刚石薄膜剥落后的硬质合金刀片表面的典型形貌进行了观察,并采用TEM对金刚石薄膜/硬质合金刀片横截面的微观组织进行了研究,还采用FT—Raman光谱法对金刚石薄膜表面及金刚石薄膜剥落后的硬质合金刀片表面的微观结构进行了表征.结果表明:经适当的化学侵蚀脱钻和等离子体刻蚀脱碳预处理后,金刚石薄膜涂层硬质合金刀具的界面通常存在薄的(数十nm)石墨碳层;局部区域见到金刚石粒子直接生长在WC颗粒上,金刚石膜/基横截面的典型组织层次为:金刚石薄膜/薄的石墨碳层/细小的WC层/残留的脱碳层(η相+W相)/原始的硬质合金基体. 相似文献
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微波等离子体刻蚀处理对金刚石薄膜涂层刀具附着力和切削性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
用HFCVD法在硬质合金(YG6)刀具衬底上沉积金刚石薄膜,用氢微波等离子体刻蚀的方法对衬底进行表面预处理,研究了该预处理技术对WC硬质合金衬底表面成分的影响,进一步探讨了所沉积金刚石薄膜的表面形貌和附着力,并通过难加工材料实际切削试验。研究了所制备的金刚石薄膜涂层刀具的切削性能。试验结果表明,Ar-H2微波等离子体刻蚀脱碳处理是提高金刚石薄膜附着力和改善涂层刀具切削性能的有效预处理方法。 相似文献
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《真空科学与技术学报》2017,(6)
针对金刚石涂层在小孔径内孔上制备的难点,提出双层热丝布局的不穿丝技术来实现热丝化学气相沉积金刚石薄膜在小孔径拉丝模内孔的沉积。基于有限容积法和正交试验法,对关键沉积区域基体进行了温度场仿真分析,对热丝参数(直径D1、D2,热丝与基体间距S1、S2)进行了仿真优化。选取优化参数组合进行了小孔径拉丝模金刚石涂层制备实验,分别采用扫描电子显微镜和拉曼光谱仪对上述方法制备的金刚石涂层进行了表征。结果表明:通过上述优化及实验在小孔径拉丝模内孔表面成功沉积了高质量,均匀性好的金刚石涂层,为其批量化制备提供了关键技术支撑。 相似文献
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采用强电流直流伸展电弧化学气相沉积(HCDCA CVD)技术在硬质合金微型工具表面沉积了SiC涂层作为过渡层,并在此基础之上制备了金刚石涂层。实验结果表明,采用HCDCA CVD技术在硬质合金表面制备的SiC纳米涂层连续、致密;此过渡层可有效地抑制硬质合金基体中Co的外向扩散,确保在不进行酸蚀去Co预处理的情况下,金刚石涂层对硬质合金基体具有良好的附着力。切削检测的结果表明,实验所制备的SiC过渡层/金刚石涂层的微型铣刀与未涂层微型铣刀相比,切削刃没有切削屑的粘结,且加工后的工件表面上毛刺较少。这些结果表明,SiC过渡层/金刚石涂层硬质合金微型工具将具有优异的加工性能。 相似文献
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引言金刚石的人工合成已有30多年历史。长期以来,人造金刚石主要作为一种超硬材料,被制作成砂轮、刀具、钻头、拉丝模等,应用于机机械加工工业中。但是,纯度高的金刚石除了具有所有物质中最高的硬度以外,它还具有其他许多优异的性能,如极高的热传 相似文献
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德国表面工程和薄膜方合菲研究所报道,金刚石涂层与碳化硅和氮化硅陶瓷间可生成非常强的化学键,这样在高负载下保证了涂层不致开裂。金刚石涂覆的陶瓷还可有很强的抗摩擦能力。以金刚石涂覆的陶瓷零件可用于泵浦、发动机和搅拌器等的密封轴承环,仪表指针轴瓦和拉丝模等。 相似文献
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金刚石薄膜涂层刀具及其应用 总被引:10,自引:0,他引:10
金刚石薄膜硬度高,耐磨损,导热性好,在切削刀具涂层方面具有广阔的应用前景。本文主要介绍金刚石薄膜的合成原理,金刚石薄膜涂层刀具的切削性能及其应用效果。 相似文献