烘箱HMDS预处理程序优化

烘箱HMDS预处理系统在提高光刻胶与硅片的黏附性方面具有很多优越性。文章通过对烘箱HMDS预处理过程的工作温度、PRIME时间、PRIME后保持时间等参数的优化实验,得到了最佳的烘箱HMDS预处理程序。通过提高烘箱工作温度（150C）、减少PRIME时间（0．5min）和增加PRIME后保持时间（5min）,最终降低了HMDS处理后的硅片接触角,进而降低了光刻胶28％的用量。本方法已经验证在本次开发中,其工艺稳定,完全适用于生产线量产。     

F-35战斗机通过传感器综合实现超强态势感知

F-35“闪电Ⅱ”先进战斗机通过先进的头盔显示器系统（HMDS）和光电分布孔径系统（EODAS）以及多种数据链使飞行员获得全维态势感知能力．     

HMDS改性后的纳米氧化锌的湿度响应特性研究

以石英晶体微天平传感器为平台,研究六甲基二硅胺烷(HMDS)处理前后的纳米ZnO作为敏感膜湿度敏感特性。用HMDS处理后的纳米ZnO膜表面呈厌水性,同未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比,对湿度的响应敏感度明显降低。进一步的研究发现,用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体,如乙醇等,仍有很好的响应。该特性可被用来开发具有对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。     

SiO2和Si3N4/SiO2薄膜表面驻极态的改善

描述了为改善其表面驻极态的抗湿能力，对Si基Si3N4和Si3N4/SiO2薄膜驻极体所进行的化学表面修正的基本原理。以六甲基二硅胺（HMDS）和二氯二甲基硅烷（DCDMS）两种化学修正试剂对这类薄膜驻极体的改性效果进行了对比性的研究。结果指出：从抗湿能力考虑，经DCDMS修正的氮、氧化硅驻极体的电荷稳定性优于HMDS处理的样品，是由于这类修正形成了更完善的表面单分子疏水层；但如果从驻极体的储电热稳定性方面考虑，以HMDS处理的样品优于DCDMS样品，是由于被HMDS修正的表面层内形成了较高浓度的深能级陷阱。     

六甲基二硅胺烷(HMDS)在植物组织扫描电镜样品制备中的应用

植物组织的扫描电镜样品干燥通常采用临界点干燥法和冷冻干燥法,但这些方法存在操作复杂,需要专门仪器等诸多不便。作者在工作中探索了六甲基二硅胺烷(HMDS)对样品进行干燥,并与冷冻干燥法做了比较。结果表明:在花期柱头和子房等幼嫩组织上,经HMDS干燥后的扫描结果较好且两种方法的结果几乎一致,在幼果期胚珠较为成熟的组织上,HMDS比冷冻干燥法的效果差。     

应急通信监控系统中的数据预处理方法

数据预处理是监控系统所有工作中重要的一环，预处理的效果影响应急通信系统的维护。本文根据应急通信监控系统自身的特性，提出相应的数据预处理方法。     

光传送网告警预处理系统设计与实现

首先介绍了光传送网告警预处理系统的结构,然后分析了告警预处理系统的三大功能块,即告警信息库、网络拓扑信息库和告警相关性分析,重点研究了四类告警相关性规则的建立.最后利用Del-phi 7.0和SQL Server 2000开发了光传送网告警预处理系统,并且搭建了实验系统模型进行功能验证,实验结果表明:系统可以在毫秒级时间内对告警进行预处理,有效地过滤和屏蔽冗余告警信息.     

红外图像预处理设计及非均匀性算法应用

在红外图像信息处理中,首先要对采集到的图像信号进行预处理。以SOFRADIR公司的320×240元红外探测器芯片为例,介绍基于DSP处理器和FPGA的图像预处理系统的硬件设计,以及图像预处理非均匀性算法的研究。在图像预处理系统的硬件平台上,通过采用非均匀性算法中的两点校正法,对所采集到的红外图像信号进行预处理,取得了较好的效果,证明了硬件系统的合理性和算法设计的可行性。     

宽带用户申告关联网络告警预处理

介绍一种用户申告关联网络告警反拦截用户申告的预处理方法,展示依托系统动态分析方式,开展维护的科学性与有效性,开辟系统预处理的新思路。     

基于FPGA的图像预处理系统

本图像预处理系统基于FPGA平台,具有实时性高,处理效果良好、便携性高的优势。该系统使用摄像头进行图像采集,然后将其数据缓存至SDRAM中,并在FPGA中进行图像预处理,预处理包含中值滤波、高斯滤波、sobel边缘算子检测等,最终将预处理的图像数据实时的显示在TFT液晶屏中。     

反坦克导弹电视制导图像处理系统设计

根据反坦克导弹电视制导要求,设计了由视频预处理和背景减法电路模块、数字图像处理模块和其他辅助功能模块组成的图像处理系统硬件部分,介绍了这些模块的作用和功能;设计了包含图像预处理、目标分割、目标识别和目标跟踪等功能的图像处理系统软件部分,特别对图像目标的多模阈值分割和识别跟踪处理方法进行了阐述,给出了实验结果。实验结果表明,该系统能可靠识别和跟踪反坦克导弹。     

无人机平台数字预处理的FPGA实现

讨论了基于FPGA的无人机平台下预处理功能的实现。由于载体的功率体积受限,需要实现资源利用的最小化。其重点是在数字脉压等运算模块中使用定点算法,通过压缩有效字长从而达到资源最小化的目标。在实现时,每个模块均采用流水结构,数据通过率可以达到167 MB来满足系统的速度要求。通过对信号动态与精度的分析,把处理数据调整到适宜的定点位数。该预处理已成功应用于某型产品的系统设计中,该产品已定型。     

多元红外导引头预处理电路带宽设计与仿真研究

以正交四元探测系统为例，介绍了多元红外导引头的工作原理。为了有效设计多元红外导引头预处理电路带宽，利用Matlab进行仿真，通过仿真分析了预处理电路高端和低端带宽的选择对信号提取的影响，并研究了预处理带宽选择对抗人工干扰的影响。仿真结果表明，频带低端设置对信号下沉有较大影响，频带高端设置对脉冲下降沿产生的负脉冲有较大影响。在对抗大倍数人工诱饵干扰时，电路的低端带宽选择会对抗干扰带来显著影响。最后利用仿真结果，设计了红外四元导引头的预处理电路，经内外场测试，该电路在目标脉冲信号提取及抗人工干扰性能方面表现出了良好的性能。     

头盔显示系统评述

介绍了当令军用航空头盔显示系统的特点和现状、能达到的精度和适用范围.阐述了头盔显示系统涉及的主要生物动力学特性——重量、重心和极限碰撞条件,并对头盔显示系统主要技术问题——头盔、跟踪器和显示器阐明了发展前景,指出全息光学波导技术会对头盔显示器的发展产生重大影响.     

增黏剂(HMDS)在锑化铟光刻工艺中的应用

介绍了增黏剂(HMDS)的物化性质及其在光刻工艺中的作用,并且通过实验研究将增黏剂应用于锑化铟材料的光刻工艺,改善了锑化铟的表面状态,增强了锑化铟衬底与光刻胶的黏附性,进而在湿法腐蚀等后续工艺中提高了光刻胶的抗腐蚀性.     

Low-Temperature deposition of dielectric films by microwave plasma enhanced decomposition of hexamethyldisilazane

Hexamethyldisilazane (HMDS) has been used as an organosilicon source for the deposition of dielectric films at low temperatures (200-250° C) by microwave plasma enhanced CVD technique. Hydrogenated films of variable composition of silicon carbonitride, silicon oxynitride and silicon dioxide have been deposited by decomposition of HMDS in the presence of additive gases like NH₃, O₂ and H₂ under different process conditions. Deposited films have been characterized by the measurement of refractive index and buffered HF etch rate, and by the analysis of XPS and infrared transmission spectra. An increase in HMDS partial pressure generally results in the decrease of refractive index. The films show stable C-V characteristics of metal-insulator-semicon-ductor (MIS) capacitors with positive insulator charge density.