对一台光栅扫描电子束曝光机制作掩膜版质量的分析

本文在成熟使用电子束曝光机制作各处掩膜版的基础上，针对主人掩膜版质量的三大因素即：图形尺寸精度，图形套准精度，芯片合格率逐一详细分析，以研究探讨如何应用电子束曝光机制作高质量的掩膜版。     

电子束曝光机制作分离掩模版的套准精度

一、前言电子束曝光机制作的高精度分离掩模版,精度高。要检查一套版之间的相对套准精度,往往比较困难。若用掩模版比较仪测量,只能测量相对精度,且精度较低,要测到±0.5μm的相对误差,已属不易。采用光刻工艺来检验掩模版的相对套准精度,尽管和器件生产工艺相容好,但测试周期长;而且由于光刻、腐蚀等工艺过程要带来相当可观的精度损失。因此作为一种工艺考核是可以的,而作为掩模版的套准精度就不合适了。     

对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析

本文通过对一台先进电子束曝光机制作掩模过程的分析,阐明设计图经计算机辅助设计系统数字化后,生成PG格式数据,再由PG格式数据转换成电子束格式数据的处理;论述了光栅扫描的原理及特点;介绍了图形发生器的作用及电子束在控制系统作用下在基片上描绘图形的过程。     

电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析

介绍了电子束曝光机的一种新型精密工件台,在结构上成功地将工件台的承载力与导轨的导向作用分离开来,极大地提高了工件台的运动精度和运行的平稳性。论述了精密工件台的结构设计要点、几何精度以及达到的技术指标。     

一种测距询问器处理畸变准高斯波形的方法分析

测距询问器通过计算询问脉冲和应答脉冲之间时间差的方法来获得距离信息。应答脉冲经过地面发射机发射后,经过空间干扰、接收通道噪声和非线性等作用后,接收到的应答脉冲波形已发生畸变,甚至不可认识。在无法改变信道特性的条件下,基于从畸变信号中提高信号可用性的角度出发,本文介绍测距系统的组成与原理,并建立了一种畸变准高斯波形的分析处理方法,为测距询问器的设计做出参考。     

使用时间可控发射方法来进行模拟电路的失效分析

时间可控发射方法（TRE）是一种常用的非入侵式波形测量方法，它能从芯片的背面探测芯片内部节点的时序波形。完美的TRE系统能提供很高的带宽（〉5GHz），很好的探测尺寸精度（0．25微米），而且能显示芯片内部所有节点的波形。TRE波形一般用于探测不正确的信号电平，电路竞争和冒险问题以及几皮秒的高精度时序错误。     

对一种基于logistic映射的分组加密机制的分析和改进

对一种改进的混沌分组密码机制分析后发现其本质上是流密码系统,并且密钥流与明文无关.通过选择明文攻击,在很小的计算代价下获得了密钥流.给出了选择明文攻击的算法,并通过实验进行了验证.为克服原加密算法的缺陷,采用密文反馈的形式使密钥流与明文相关.     

一种新型的电子束图形发生器

本文介绍了一种新型的电子束图形发生器,它基于主从分布式微机结构体系。以IBM PC/AT为主机管理,MCS—51单片机为分机控制。下位机接收传来的命令和数据,并分析转换以完成单双通道各种基本图形的扫描。工作频率在6MHz以上。结果表明:用分布式微机结构体系完成原小型机的工作,可以大大简化图形发生器的结构,且控制灵活,为曝光机的整机自动化打下基础。     

电子束曝光机吊装结构工作台的分析研究

本文介绍了电子束曝光机激光定位工作台的一种新型吊装结构。用有限元法分析了吊装结构工作台的静态特性及其对测量系统定位精度的影响,并用散斑摄影法测试了模拟吊装结构工作台的静态变形位移。分析与实验表明吊装结构工作台是实现亚微米定位精度较理想的切实可行的结构方案。     

用红外光弹测量功率整流管工艺中的残余应力

利用红外光弹系统，采用森纳蒙特（Ｓｅｎａｒｍｏｎｔ）补偿法，对功率整流管制备过程中扩散和镀镍工艺所引入的残余应力进行了测量和讨论．获得扩硼铝、扩磷和镀镍硅片中的应力值，并给出了残余应力在硅衬底片中的分布图．     

运用谱域法分析天线罩对天线方向图的影响

该文利用谱域法分析了天线罩对天线方向图的影响,计算了加天线罩后,天线一天线罩等效体辐射方向图,得到了与实验结果相吻合的结论。并对某型机载吊舱干扰机中天线罩对天线方向图的影响给出了定量说明,为天线、天线罩设计提供了参考依据。     

用OSRC-MM分析存在导电球时的线天线问题

本文利用矢量表面辐射条件(VOSRC)和矩量法(MM)分析了导电圆球存在时线天线的性能。计算结果与应用广义多极子技术(GMT)计算得到的结果吻合良好。     

高速多芯片组件同步开关噪声的二维特征法全波分析

高速多芯片组件(MCM)广泛用于高复杂度的系统中,而其中的同步开关噪声(Simultaneous Switching Noise)是影响系统功能的重要因素.本文采用二维电磁模型模拟MCM电源、接地板同步开关噪声;文中提出一种新的时域电磁问题的数值方法特征法,并用于求解上述问题,所得结果与FD-TD计算的结果和文献报道一致.     

通道失配条件下的MUSIC算法性能分析

本文分析了通道失配对高分辨率谱估计算法(MUSIC)的影响.推导了通道失配与方向估计误差的关系表达式,给出了Cramer-Rao界和计算机模拟结果。理论和仿真结果表明:通道失配会增大方向估计误差,使其性能变坏。     

提取自然频率问题的对偶解法和连续化Prony法

本文提出了提取雷达目标自然频率的对偶空间解法,该解法包含了前人提出的Prony法、奇异值分解法和E脉冲法,从理论上认识了这3种算法的性能和相互间的内在联系。进而从对偶解法导出了一种新的算法连续化Prony法。相对于上述3种算法,该算法对信号中的噪声和模数都不敏感,是一种更为有效、实用的算法。文中作了数值比较和实验验证。     

双层手征介质板中电偶极天线的辐射特性

本文首先给出了电流源激励下双层手征介质中的并矢格林函数表达式。应用鞍点积分法,导出了有金属板衬底的双层手征介质中电偶极天线的辐射场表达式。分析了有、无空气隙时手征导纳对电偶极天线的方向图,＝0方向的最大场强和谐振频率的影响程度。结果表明,通过改变手征导纳参数,可以有效地调节电偶极天线的辐射特性。