Solkatronic Chemicals公司出售新级别SF_6

美国Solkatronic Chemicals公司可提供MEGABIT级SF_6。产品纯度为99.998％,其中CF_4杂质含量小于15ppm。该公司的母公司Kali-Chemic公司是SF_6的主要生产厂家。这项成果是双方合作而取得的。SF_6在一些半导体生产工艺中是关键的刻蚀材料,因为它对硅比对     

乙烯基含氟单体及其应用开发

PTFE树脂(聚四氟乙烯)通称“特氟隆”,是一种具有优异耐药品性、耐热性和电气特性等的超级工程塑料,在许多领域获得了应用。传统的 PTFE 树脂,是四氟乙烯(CF_2=CF_2)的均聚物,具有结晶性高,成型加工性差的缺点。现在市售的 FEP 和 PFA 树脂,是为改进PTFE 树脂的成型性能,在 CF_2=CF_2中分别引入 CF_3CF=CF_2和 R_1OCF=CF_2共聚单体制得的共聚物。同时,CF_2=CFCl、CF_2=CH_2、CH_2     

国外消息

Howmet公司新建一座熔模铸造厂 今年三月初,美国的Howmet公司建成了一座面积为15886米~2(171000呎~2)的生产燃气涡轮发动机叶片及导向叶片的现代化工厂。它将满足民用机及军用机对涡轮零件不断增长的需求并附带生产内燃机压气机盘。 该厂采用全机械化的壳型生产系统及先进的真空铸造工艺(包括定向凝固工艺),基本投资约1500万美元,到1981年达到全规模生产时将有雇员600人,     

中国制冷学会团体会员单位简况

广东省商业机械厂该厂引进意大利SIARCO公司技术和GBS生产线制造各种制冷空调换热器,工艺先进,性能优越。以不同的散热片距离适应不同的温度及湿度,现已生产EV 46、66、86系列静冷蒸发器、制冷量从950～10800大卡,广泛应用于高、中、     

三氟化氮与等离子体工艺

介绍了用NF_2代替传统使用的NH_3制备掺氟低氢等离子增强化学汽相淀积(PECVD)Six Ny:F膜、用NF_3代替CF_4等离子刻蚀超厚氮化硅薄膜的工艺试验条件和结果,对有关实际问题进行了讨论。     

国外半导体工业用超纯气体

一、概况在半导体工业生产中,几乎各个工序都会用到超纯气体,器件的质量与超纯气体的纯净度密切相关。半导体工业所需的超纯气体包括:H_2、O_2、N_2、Ar、He、NH_3、HC1、SiH_4、PH_3、B_2H_8、AsH_3、H_2Se、H_2Te、CF_4、CO_2等共十余种,按用途可分为保护气体、反应气体和运载气体。保护气体包括Ar、N_2、He及其混合气体等。主要用于防止器件在加工过程中受到空气的污染。另外还用于扩散和外延生长工序前后将反应装置吹净。反应气体包括H_2、O_2、N_2、Ar、CF_4及各种气体氢化物。主要作为生产半导体材料的原材料、还原气;生产半导体器件时形成P-n结、保护层和隔离层的气体。     

国际

汉高公司最大黏合剂厂9月在上海投产德国汉高公司于2011年开始在上海化工园区动工建设产能达42.8万吨/年的黏合剂工厂,新建粘合剂工厂将于今年9月份投产。建成后将成为全球最大的粘合剂工厂。据悉,该厂总投资5000万欧元,拟雇用600人。该厂成为汉高公司在亚太地区的主要生产基地之一,使公司快速应对市场需求的增长。     

开发增压型透平膨胀机的经验

介绍了四川空分设备厂用于天然气(石油气)液化分离的带液增压透平膨胀机的设计、开发情况;并介绍了该厂从1988年起引进美国Rotoflow公司先进技术,先后研制成功配“12000”、“6000”、“10000”空分设备的增压透平膨胀机;同时还详细介绍了在研制过程中攻克的工艺难题以及膨账机实际运行参数。数据表明,该厂膨胀机性能水平已居国内先进水平。本文最后提出了该厂今后发展增压膨胀机的措施与目标。     

米勒公司在中国建铜管厂

美国米勒工业公司取得了50．5％的中国铜管厂股份，该厂主要为中国国内空调机市场提供铜管，同时为该公司美国生产线提供部分产品。该厂预期于2006年生产8000万磅产品，而到2007年可达到1．1亿磅。该厂建于江苏全潭，将生产各型铜管。米勒公司初期将投资1940万美元，中方将以机器、设备等方式投资相等金额。中方合资者为江苏兴荣高科技公司和江苏白杨工业公司。合资公司名称为江苏米勒-兴荣铜业公司。     

富士公司投资1亿美元在美国建造感光胶片厂

富士公司已经投资1亿美元在美国建成一座感光胶片厂,该厂增强富士的零售商队伍和进一步在贸易争执中与竞争者柯达公司纠缠在一起。该厂位于美国南卡罗米纳州的绿林中,它将把从荷兰进口的大轴富士胶片,经裁切、卷轴和包装,然后在美国销售。富士公司投资1亿美元在美国建造感光胶片厂@黄仁清~~     

Thyssen Krupp公司将在阿拉巴马州建轧钢厂

蒂森克虏伯公司监委会已批准一项31亿美元的投资用于阿拉巴马州的一个钢铁不锈钢联合轧钢厂。该厂计划于2010年投产,该厂将雇佣2700人,并在未来20年内在该地区提供出38万辅助岗位。该公司将提供先进技术以满足用户对合理成本的要求。该工厂将促进北美在这方面的进步。该地区目前是世界最大的钢板进口地区,而且未来也将继续依赖进口。     

在东德将建一座气体生产厂

德国空气液化集团将在东德莱比锡区建一座气体生产厂,其氧、氮、氩的生产能力为35吨/天,所需投资约16000万法郎。该厂的建立将使该集团在德国的生产厂配套齐全。该厂将于1992年末开始运行,它是法国液化空气公司在德国投资计划的一部分,     

工业气体新消息

1.新建工厂△澳大利亚最大的空气液化厂由联邦工业气体公司在1981年3月动工修建。该厂座落在肯布拉港,花费三千万美元。它将在1983年生产出液氧、液氩、液氮。△法国空气产品及化学品公司的Prodair子公司将在里昂附近的Abeau岛建立一个工业气体工厂。这套装置的氧、氮、氩的生产能力为320吨/天,花费一亿法郎。△美国空气产品和化学品公司在得克萨斯州的中洛锡安修建了一座日产350吨的工业     

美日合资在张家港建立PS生产厂

美国道化学塑料公司和日本AsahiKasei公司正在张家港建立一个 12万t/a的PS生产厂 ,合资公司名为SAL石化公司 (张家港 )。该厂将生产一系列产品 ,包括道化学公司的StyronA -TechPS树脂 ,及普通级别的StyronPS ,以满足中国国内快速增长的市场需求。道化学公司副总裁称 ,中国加入W     

中芯国际与高通合作推进28纳米晶圆制造

中芯国际集成电路制造有限公司与美国高通公司日前共同宣布。中芯国际将与美国高通公司的子公司——美国高通技术公司在28纳米工艺制程和晶圆制造服务方面紧密合作，在中国制造高通骁龙处理器。高通技术公司是全球最大的无晶圆厂半导体供应商之一和全球3G、4G及下一代无线技术的领军企业，其骁龙处理器专为移动终端而设计。该合作将会提升中芯国际28纳米制程的成熟度及产能。     

微波ECR等离子体刻蚀AAO模板中HfO_2薄膜的研究

采用微波电子回旋共振(ECR)等离子体装置,对用原子层沉积(ALD)方法在阳极氧化铝模板(AAO)上制备的HfO_2薄膜进行了纳米图案化研究。用CF_4、Ar和O_2等离子体,对HfO_2薄膜进行了反应离子束刻蚀,以移除HfO_2。采用高分辨率扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和能量色散X射线光谱显微(EDX)分析,对样品刻蚀前后的形貌、结构和化学成分进行了表征。实验表明,HfO_2的刻蚀具有定向性,利于高深宽比微机械结构的加工。在其他参数固定的情况下,深宽比高达10∶1的结构中HfO_2的刻蚀速率是微波功率、负脉冲偏压、CF_4/Ar/O_2混合比(Ar含量在0～100%)和工作气压的函数。在0.3 Pa气压、600 W微波功率、100 V偏置电压下,HfO_2拥有0.36 nm/min的可控刻蚀速率,利于HfO_2的精准图案化。刻蚀形貌表明,在CF_4/Ar/O_2等离子体刻蚀之后,刻蚀面非常光滑,具有0.17 nm的均方根线粗糙度。     

亚洲最大纸品厂落户东莞 正隆集团投资3000万美元

台湾正隆集团将投资3000万美元，在东莞市厚街镇工业城建设亚洲最大的纸品工厂——正隆（广东）纸业有限公司。正隆集团的大陆各厂以中隆控股名义上市已经获得批准，中隆控股有意将营运中心总部设立在厚街镇正隆公司，该厂近期将举行开业仪式。     

日本长野县伊那市将新建特气厂

大阪氧气公司在长野县伊那市建立一座新特气厂,将在1992年11月动工,1993年秋季竣工。该厂主要充装用于半导体材料的混合气,并进行容器处理、调查研究等。运转后,每年销售额达30亿日元。该厂总占地面积为47036m~2,其中工厂占地面积为     

三氟氯乙烯工艺路线的改革

三氟氯乙烯(CFCl=CF_2)是制备聚三氟氯乙烯的单体,通过单聚和共聚能制备一系列氟树脂、氟橡胶以及氟氯润滑油等重要产品。数十年来,工业上一直采用由三氟三氯乙烷在甲醇中用锌粉进行脱氯的工艺路线。主要化学反应方程式如下:     

AGA公司的特种气体工厂破土动工

在美国俄亥俄州的克利夫兰,AGA 公司的空气分离与液化工厂已破土动工,该公司总共投资1500万美元,计划于1983年3月份开始安装设备。工厂建成投产后,可提供200吨/日电子及医药级的氧、氮、氩。预计当1984年中期全部开车运转时,该厂将雇用40人。