易激发的冷阴极电离计

这只高真空规测量10~(-4)～10~(-8)托。规的特点是在阴极上装了一个点火器。冷规在-2.5KV直流高压下引燃。通常反应时间小于1分钟。线性范围在5×10~(-3)到5×10~(-8)托。并且计算了在各个压强下的最大正负偏差数值。这个数值小于百分之五十。冷阴极电离真空计(以下简称冷规),因无热灯丝,不会因系统突然漏气而烧毁;规管租电源结构简单,且规管灵敏度高。但是普遍认为,冷规在上下限的扩展上比较困难。为解决在低压强下激发和下限的延伸,以激发电离为例曾对潘宁规采取过加辅助针尖、加     

磁控式冷规的放电特性的研究

从冷电离规的放电特性入手、研究了正交电磁场对放电的影响、导出了冷规的几何参量与电磁参量的关系,并分析了限流电阻对冷规放电特性所产生的影响,介绍了校准曲线.制作了一种改进型磁控式冷规,可在永磁钢,低电压下正常工作.放电稳定,测量仪器简单,测量范围从几十帕到10~(-4)帕,是一种很适用的冷阴极电离真空规.初步认为,磁控式冷规的电场和磁场,只有在测量下限延伸到10~(-6)帕后,才需要提高.     

冷规实验研究报告

序言 目前在大量的无油与有油真空系统上,广泛地应用着测量精度高、重复性好和稳定可靠的各类热真空规,并普遍受到人们的重视;但是在反复进行充放气 的真空系统及镀膜机、氦质谱探漏仪和真空自动控制装置中,只要求压强的粗略监测和有强度要求的全金属系统上,冷规还是能充当一个良好的角色。因为它有着结构和测量线路都极为简单的优点,它的灵敏度也比较高;使用中只要管子作到定期清洗,其寿命可达到一劳永逸的效果。在六十年代前后,我国已有人在冷规上作了大量的研究,可是到目前为止,市场上很少见到冷规和冷规测量真空计的出售,其发展速度是比…     

全压和分压测量的发展

在表面科学研究中,获得10~(-3)帕的清洁真空并不困难.大约10~(-5)帕的极限真空就可以满足大部份工业应用的需要.除了特殊情况而外,真空测量的重复性往往比绝对精度更为重要.然而,低压测量的绝对精度与其它物理量的测量相比是相当低的.最近几年,在真空计量研究中做了大量的工作(新型的标准系统、相互比对、真空规长期性能的研究、新的真空测量原理,如磁悬浮规等).热阴极电离规的低压限制有关的一些新概念主要来自于有大型加速器的实验室.用四极质谱计于分压的测量可以得到更好的重复性.因为仅仅用了电离原理,提供了更好地了解离子源对测量谱的影响.市场上出售的仪器,通常用微机控制(尤其是用于分压测量的仪器),完全适合于真空系统的自动化.     

油扩散泵系统的电离规对前级压强测量的影响

一、序言 当油扩散泵的前级压强测量使电离规工作,极限压强测量用的BA规读数就增大,这种现象营田荣治,金铉佑①曾经碰到过,说他的原因是由于前级压强侧电离规的裂化气体起反扩散引起的。有一位作者在进行希科曼(Hickman)泵的极限压强特性的测量②时也观察到了同样的现象,根据实验条件发现这种现象有极端扩大的趋势。扩散泵一级的系统,其前级压强一般没有用电离规测量的,但是最近在超高真空排气系统惯用的串联扩散泵系统中,似乎主泵的前级压强有时用电离规测量的。在这种场合,为了用BA规正确地测量系统的极限压强,需要弄清各种因素对引起这…     

电离真空规所在位置对测量结果的影响

利用蒙特卡洛方法对电离真空规所在不同位置所测得的系统真空度进行数值模拟。建立了真空容器、规管安装位置以及真空泵入口的几何模型,考虑了系统材料放气,计算了电离真空规安装在系统不同位置所测得的真空度,计算了电离真空规探头与连接法兰管道口之间距离对测量结果的影响。研究结果表明:相比于电离规安装位置,电离规探头与法兰管道口之间距离H对电离真空规的测量结果影响更为明显。本文为电离真空规法兰短管长度设计以及真空系统实际真空度的预判提供理论依据。     

DL-9型热阴极电离真空规

引言 DL—2型热阴极电离真空规的结构简单、性能较好,卅多年来是我国应用最广泛的高真空量规,为其配套的供电与控制用电子装置高达6万台。随着真空科技的普及与提高,特别是真空量值校准与传递工作的发展,不少真空测量工作者发现其规管常数 (或称灵敏度或电离规系数)在新开封初校时偏高,随着工作时间的持续,规管常数会明显下降,一般工作50至60小时后方趋逐渐稳定。这点也为1981年全国DL—2型规管性能评比会议有关实验测试所证实。 能否提高热阴极电离真空规的稳定性,是近十年来真空界所关注的问题:早在1967年 W.G. Brombacher就曾指出影响…     

电离规的新进展

介绍了传统热阴极电离规和冷阴极电离规的发展历程和研究现状、新型场发射阴极(微尖型阴极和碳纳米管阴极)在电离规中的应用、小型化电离规的发展和国内在超高/极高真空电离规研究方面取得的成果和现状。重点回顾了碳纳米管阴极电离规和小型化电离规在近年来取得的重大成就。由于碳纳米管具有长径比大、曲率半径小、机械特性强、导电性好和优异的场发射特性,使得其作为电离规阴极有望解决传统冷阴极电离规在低压下不能放电的困难和传统热阴极电离规的热出气效应,从而为极高真空测量提供一种解决途径。     

NCG冷阴极规管

一、引言与热规相比,冷规不仅作压强测量,还可作快速控制。在高能物理、空间技术等方面更显出优越性。但是,冷规在超高真空运用时的激发是个难题。J.R.Young和F.P.Heszion用灯丝提供初始电子的方法使测量下限延至10~(-9)Pa,Redhead提出了正反磁控式冷     

夏普PC-1500计算机在标准麦氏计检测电离规中的应用

在真空测量和校准中,用标准麦氏计检测二等标准电离真空规和工作用电离真空规以及其它高真空规,已成为一种可靠的手段。尽管麦氏计本身有一些不利的因素限制了它的使用范围,但是它具有精度高、重复性好、设备制造成本低等特点,是其它标准测量装置难以替代的。在校准过程中,因计算较麻烦,效率低,我们使用了 SHARP“pc-1500”计算机。     

ADS注入器Ⅰ真空测量与控制系统研制

本文完成了ADS注入器Ⅰ真空测量系统及其相关设备控制系统的设计,详细阐述了测量方法、控制逻辑、设备组成及通讯协议,分析了PLC阀门控制器工作模式及控制流程。测量和采集真空系统的实时状态,包括皮拉尼、冷规信号的采集和冷规电节点0/1信号采集,分子泵和离子泵等的状态信号。通过分析系统实际运行情况,发现强电磁场对于真空冷规的测量有较大的干扰。因此,对于需要与冷规信号一起联锁控制的真空系统,需考虑该干扰造成的影响。本文采用的相邻两个冷规信号联锁的方案,在一定程度上可避免强电磁场带来的信号干扰引起的系统保护。     

PZ—Ⅰ型皮拉尼真空计的改进

引言 皮拉尼真空计系测量真空系统内低压强的一种工具。它具有连续测量,操作方便及测量真空系统内的总压强值等优点,因此在真空技术中得到广泛的应用。我所生产及使用的P Z── Ⅰ型皮拉尼真空计量程范围较窄,在测量下限上不能 与电离真空计相衔接,又因玻璃规管易破损, 不适宜工业应用, 但国内还没有金属质规管和较宽测量范围的皮拉尼真空计,为适应需要,将测量范围及规管结构加以改进。 此文仅将现改进的金属规管皮拉尼真空计,在延伸测量范围、规管密封焊接、测量线路及环境温度对规管的刻度曲线影响等方面,做一讨论。 皮拉尼真空计测量范…     

超高/极高真空测量发展综述

本文回顾了近50多年来在超高/极高真空测量方面所取得的重要进展.内容包括热阴极电离规和冷阴极电离规的研究进展、新型室温电子源(如Spindt阴极和碳纳米管场发射阴极)和真空的激光电离测量技术在超高/极高真空测量中的应用、小型化超高/极高真空电离规的发展以及我国在超高/极高真空测量方面的研究进展等,从中可对超高/极高真空测量的发展历史和现状有一个完整的了解.     

全压和分压测量的发展

低于１０－８帕量级的清洁真空，如果需要（如表面科学研究）并不难以获得。在大部分工业系统中，１０－５帕量级的有限压力足以满足。除在特殊的情况下，真空测量的重复性经常比绝对精度更为重要。此外，低压测量的绝对精度同其它物理量相比是相当低的．近年来已做了大量工作以完善真空计量（如新的校准系统，相互比对，真空规长期性能的研究，新的真空测量原理，如转子规的应用等）。一些有关热阴极离子规低限问题的新思想主要产生于有大型加速器的实验室。用四极质谱计作为分压测量能够产生较好的重复性；由于仅用电离原理，所以能更好地理解离子源对测量谱的影响。市场上的仪器常由微处理机控制（尤其是用于分压测量的仪器），非常适合于真空系统的自动化。     

极高真空电离规的校准实验研究

介绍了2支反磁控型冷阴极极高真空电离规和1支热阴极极高真空电离规的校准实验研究结果。实验设备是一台极高真空校准装置,实验范围为10^-9～10^-1Pa,实验气体为N2。实验结果表明,尽管2次校准结果的重复性较好,但就单次校准结果来看,每个规的灵敏度（修正因子）的最大值和最小值之间的偏差较大。因此,极高真空电离规要得到准确的测量结果,对其进行精确校准是非常必要的。     

热阴极电离规测量和使用中注意的问题

热阴极电离规测量和使用中注意的问题李正海（兰州物理研究所．兰州７３００００）真空测量中．热阴极电离真空计是使用最广泛的一种，不同类型的电离规配合使用能够测量的压力范围，可以从低真空起到目前所能测量的最低压力。尤其在超高真空和极高真空区域中，热阴极电离...     

DL-2型电离计规管灵敏度的调整

一、引言 DL—2型电离计规管在我校无线电工厂生产已有二十几年的历史。它是一种正栅极三极管型规管。这种规管的最初原理是布克莱早在1916年提出的(1)。在许多国家都有这种类型的真空计。虽然它是一种古老的产品,但由于这种规管具有结构简单、性能稳定、操作方便、反应迅速等优点,因此许多真空工作者喜欢使用它。在目前的生产和科研工作中仍在广泛地应用。DL—2型电离计规管的实测灵敏度的平均值为25,而由于历史原因它的线路却是按20设计的,因此,DL-2型电离计实测压强值应由仪器的读数乘以0.8系数得到(2)。这是很不方便的,许多用户早就…     

热阴极与冷阴极电离规计量学特性比较研究

介绍了3个热阴极电离规和2个反磁控型冷阴极电离规的计量学特性实验研究结果。实验设备是一台高真空基础标准,实验范围为10-7～10-3Pa,实验气体为N2、Ar、He和H2。在连续72h观测中,热阴极电离规在N2、Ar和He中的稳定性优于反磁控规,但在H2中则所有规的稳定性相似。在6个月的重复校准中,所有规在N2、Ar和He中的长期稳定性相似,但在H2中反磁控规的长期稳定性优于热阴极电离规。对于不同的气体,反磁控规的非连续性出现在不同的压力点。在很宽的压力范围内,热阴极电离规的相对灵敏度变化较小,但反磁控规的相对灵敏度随压力变化较大。反磁控规的放电时间随压力、气体和真空系统中电离源的不同而变化。反磁控规的出气率比热阴极电离规小得多,而抽速与一个具有10mA发射电流的热阴极电离规相当。对一些影响实验规计量学特性的原因进行了讨论。     

自动换档的快速电离真空计

一、引言稳态超导磁镜等离子体研究装置是一大型复杂真空系统,对真空测量和控制提出了一些特别要求:系统从l0~(-3)托向l0~(-10)托抽空的过程中能随时自动监测真空度,实现真空过程的自动化、程序化控制;在测量范围内,对任意预置真空值,可给出逻辑信号,实现与电子计算机、强流粒子注入器和等离子体“诊断”设备的联动;为保证装置运行中的人机安全,真空计电器单元应与规管相距五十米以上;其对聚变真空室阶跃气压变化的反应时间不得超过几十毫秒;为装置配备了数种国内、外产的电离规,希望做到一机多用,达到较强的通     

电离规的长期工作特性

由实验得出三极管型和B—A型两种电离规反复测量的灵敏度与其工作小时数的关系。测量是在5×10-3Pa的氮气中完成的。一般情况下,规管工作1000小时,测量多达100次。测量结果表明,三极管型规的变化速率是每工作100小时为±0.45%。B-A规保持在真空条件下,变化速率是每工作100小时为-1.4%;但是,同样的规在暴露大气的条件下,灵敏度却急剧变化到25%。还列举出可能引起这些变化的机理。 一、引言 用热灯丝电离规来测量高真空至少已有64年了,现在广泛使用的B-A规第一次出现也是在30年前的事了。在论述这些规的第一批文章之后,特别是在60年代,发表…