加速度计横向灵敏度测试方法研究

以加速度计为核心的惯性装置,广泛应用于常规武器飞行参数的测试系统中。随着惯性技术的发展,对惯性装置中加速度计的测试精度要求也越来越高。加速度计的横向输出是影响测试精度的一个重要因素。本文以某型号硅微压阻式加速度计为例,介绍了加速度计横向灵敏度的测试方法,分析了测试数据,给出了该型号加速度计横向灵敏度的测试结果。     

微硅加速度计技术综述

综述了微硅加速度计的发展概况，叙述了力平衡式微硅加速度计的基本原理，国外一些厂家的研制情况和对战术级微型惯性测量装置的推动作用，提出了对发展硅微加工技术的初步想法。     

一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析

针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析。仿真结果表明：该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 kHz,模态分离比大于2.5,0~10 kHz通频带内加速度分辨率优于60 g. 基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证。相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点。     

一种压阻式硅微复合量程加速度计

针对常规弹药制导化应用中对大动态范围变化加速度参数测试的需求,以及空间尺寸的限制,采用多个不同量程加速度计进行测量所带来的极大不便和误差问题。文中设计了一种具有10g、100g、500g和10000g四种量程的硅微压阻式复合量程加速度计,并对其作了静、动力学仿真分析,在此基础上对所加工和封装好的复合量程加速度计进行了静、动态特性标定,标定结果表明该复合量程加速度计具有良好的静、动态特性,可以完成四个覆盖高低量程加速度值的测量。     

一种石英挠性加速度计线性度测试仪设计

为了实现石英挠性加速度计的线性度测试,基于石英挠性加速度计的工作原理,设计了一种基于计算机的石英挠性加速度计电模拟测试仪;在建立石英挠性加速度计拟合数学模型的基础上,给出了利用计算机、A/D采集卡实现石英挠性加速度计的线性度测试的方法,即电模拟测试;石英挠性加速度计电模拟测试仪软件采用Visual C＋＋语言编写,能直观的反映出测试过程及结果;通过测试,石英挠性加速度计电模拟测试仪实现了预定的功能。     

高过载硅微加速度计的动态响应

依据电容式微型加速度计的结构及工作原理,对高膛压火炮膛内弹载高过载硅微加速度计进行了动态响应研究,建立了加速度计弹性元件的力学模型及动态响应数学模型.通过计算给出了弹性元件在高过载条件下的固有频率及动态响应曲线.结果表明,微型加速度计的动态响应与弹性元件的固有频率密切相关,该微型加速度计具有良好的动态响应特性.     

利用小型后坐冲击模拟试验装置进行重锤加速度的测量与分析

介绍了几种加速度计的结构形式及其工作原理，做了加速度测量实验，分析了两发具有典型的加速度波形的测试试验结果，利用空发试验求得加速度计灵敏度，并验证了其准确度；编程求得加速度一次积分，从而计算出重锤动量。     

石英挠性加速度计性能分析平台的构建

通过对某型加速度计测试系统现状的分析,设计了基于GPIB总线技术的加速度计测试系统,根据测试原理确定了数据采集系统的组成,根据加速度计的输出与其静态模型方程系数的关系,构建了加速度计性能分析平台,论述了测试数据的采集与处理方法、并利用Access数据库实现了数据的存储与调用。最后,利用MATLAB工具,建立了加速度计性能参数模型,并做出了相应的预测与差值估计。     

加速度计动态误差系数标定的仿真研究

在分析和研究加速度计动态输出的基础上,综合了加速度计仿真模型和三轴转台数字模型以及测试误差的特性。利用MATLAB进行了仿真,使得在三轴转台上标定加速度计动态误差系数有了清晰的先验认识和结果预期。     

加速度计标度因数测试结果差异性分析

为查找某型号加速度计标度因数复测结果与出厂结果相差0.1μA/g左右的原因,文中从加速度计标度因数的测试和计算方法入手,结合加速度计自动测试系统的组成和测试原理,对标度因数的测量不确定度进行了评定,得出测试设备自身的测量不确定度是导致测试结果差异性的结论。