直线加速器真空故障维修经验总结

医科达医用直线加速器真空系统是加速器重要的组成部分。它包括电子枪、加速管以及靶。它们必须工作在真空度为10-6 Torr(1 Torr=133.329 Pa)以上的高真空环境中。真空的作用是:避免加速管内放电击穿,防止电子枪阴极灯丝氧化,减少电子与残余气体的碰撞损失。真空度越高,剂量率越稳定,电子枪灯丝损耗越小。     

《热灯丝对真空测量的影响》

一、绪言 对电离真空计、真空分析仪的热灯丝来说,虽然使用钨丝(W)、铼丝(Re)、覆氧化钍丝(ThO2、芯线为W、Ir、Pt-Ir合金等)及覆六硼化镧丝。(LaB6、芯线为Re、 Ta—C、C等),但当前最普遍使用的还是钨丝。图 1表示这些物质及作为电子管阴极用的钡、锶氧化物((BaSr)O)的电子放射性能与温度的关系。因为真空计的灯丝表面积为0.2～0.5cm2,所以最大电子电流密度必须为 1× 10-2A/cm2左右。因此,除了(BaSr) O以外,灯丝的温度,都在1300°K以上。象这样的高温灯丝如果与化学性能活泼的气体或蒸汽(H。O、0。、*0。、碳氢化合物、扩散泵油…     

二氧化硅高阻隔薄膜制备的质谱诊断及性能研究

采用40kHz中频脉冲电源,利用电容耦合等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体、氧气为反应气体,氩气为辅助气体,在PET薄膜表面沉积应用于透明高阻隔包装的氧化硅薄膜,并对其进行研究.为了了解氧化硅的形成机理,通过四极杆质谱仪对等离子体放电的气相中间产物及活性粒子进行了原位检测;而通过傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)及原子力显微镜(AFM)对沉积薄膜进行化学组成及表面形貌分析表征,探讨了沉积过程中等离子体气相粒子的产生和反应对薄膜特性的影响.     

ZJ-35型轴向式裸规

本文在原有轴向式热规的基础上,对规管的电极结构进行了适当的调整,制成了轴向式裸规,它既保持了原有轴向规的零散性小、光电流本底低、除气容易等特点,又能与国内ZJ-6型B-A规电源通用。 一、概述 1981年作者等[1]提出了一种新型的轴向式超高真空热规,它与目前常用的B-A规相比。具有以下主要优点; 灯丝与加速极之间的装配距离在一定范围之内对规管的灵敏度影响很小; 由于采用了外收集极结构,加之高的灵敏度,使规管具有较低的光电流本底; 加速极栅丝较疏,电子轰击除气容易; 灯丝装在加速极一端,对管壁的热幅射影响较小。 从图1轴向规的电…     

制备二氧化硅薄膜的质谱原位诊断及其特性研究

采用40 kHz中频脉冲电源,利用电容耦合等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体、氧气为反应气体,氩气为辅助气体,在PET薄膜表面沉积应用于透明高阻隔包装的氧化硅薄膜,并对其进行研究.在薄膜的制备过程中,为了了解氧化硅的形成机理,通过四极杆质谱仪对等离子体放电的气相中间产物及活性粒子进行原位检测;而通过傅立叶变换红外光谱仪(FTIR)及原子力显微镜(AFM)对沉积薄膜进行化学组成及表面形貌分析表征,探讨沉积过程中等离子体气相粒子的产生和反应对薄膜特性的影响.     

复合真空计常见故障及修理

接通电源。启动高真空测量时，灯丝点亮约5秒钟．数码显示为“00”后变换为“9．9^00”接着灯丝熄灭，继而显示“1”、“2”……个数量级     

调制规的特点

1.序言无磁场的热阴极电离真空规作为一种压力测定装置在超高真空中具有很高的可靠性,是该范围中应用最广的真空规。但是还遗留几个必须解决的问题。它的原理是使从热灯丝发射的电子在栅极附近振荡,当振荡电子碰撞气体分子时,所产生的正离子被收集极收集。根据离子流去求出气体分子密度(或:压力),振荡电子最终与栅极碰撞,会产生两种副作用现象。     

无机氧化硅薄膜制备的原位诊断及薄膜特性研究

采用23kHz脉冲电源,以六甲基二硅氧烷(HMDSO)为单体,氧气为反应气体,氩气为辅助气体,利用平行板式电容耦合等离子增强化学气相沉积装置在PET基底上制备高阻隔无机氧化硅薄膜.通过等离子发射光谱及四极杆质谱仪的实时在线诊断,对等离子体中的中间产物及活性物种进行检测.沉积薄膜的化学结构采用傅里叶变换红外光谱仪进行分析,同时测量了所制备薄膜的透氧率.结果表明,随着氧气含量的增加,等离子体中的碳氢化合物及氧化物含量增加,这说明,此时等离子体中存在较强的碳氢化学反应及氧化反应.在氧气含量较高时,薄膜有机成分较少,属于无机氧化硅薄膜.薄膜透氧率测量显示,在氧气与单体比率为50%时达到最小值1.71cc·m-2·day-1·atm-1.     

751GW分光光度计故障排除一例

故障现象 :仪器接通电源 ,打开稳流稳压电源开关 ,电表无１２Ｖ或３００ｍＡ指示 ,Ｗ灯不亮 ,Ｈ灯灯丝发红但不起辉。故障排除 :仔细检查仪器外围各开关及插头 ,发现Ｈ -Ｗ灯电源插头与稳流稳压电源输出插座插反 ,即将Ｈ灯灯丝引线接到了稳流稳压输出的１２ＶＷ灯电源上。故障可能是由于Ｈ灯加热灯丝电阻远小于Ｗ灯灯丝电阻 ,也就使稳流稳压电源的负载过大 ,因而烧坏Ｗ７２３Ａ集成稳压器件。更换一新的Ｗ７２３Ａ集成块 ,故障即可排除。值得注意的是 ,由于稳流稳压输出插座的限位凸槽较小 ,当插头与插座对不准时 ,虽能够勉强插上 ,但容易产…     

四极质谱仪在电子诱导脱附实验中的应用

光电解吸气载是同步辐射光束线特有的解吸气载。经研究,光电解吸气载是光束线真空系统动态情况下的主要气载。在整个光电解吸过程中,光电子及二次电子对真空材料表面吸附气体的激发起主要作用。电子诱导脱附实验(ESD)是研究光电解吸过程的重要手段。本课题针对不同材料的样品及不同样品处理工艺情况下,使用MPH 200M四极质谱仪测量样品室中残余气体分压,得到了真空室材料受电子激发后的残余气体成分,并利用上述气体分压计算出主要残气气体成分的电子激发解吸系数同入射电子累积剂量的关系。为光束线真空系统维护提供了实验数据。     

衬底的电子轰击清洗：灯丝负偏压的影响

在高真空室里利用从灯丝发射出来的电子轰击带正（１～２ｋＶ）的基体是一个对衬底除气的常用方法。为了增强清洗作用，给灯丝再加了不同的负偏压（０～１００Ｖ）测量了基体电流，灯丝电流随灯丝偏压的变化曲线。得出灯丝较合适偏压为５０Ｖ，轰击时间为１０ｍｉｎ。     

便携式质谱仪在室内空气污染检测中的应用

基于质谱测量技术,在自行研制的便携式离子阱质谱仪的基础上,对痕量挥发性有机气体的在线检测方法与进样装置进行研究.利用硅橡胶膜实现挥发性有机气体从大气到真空的选择性直接进样,对不同浓度的苯、甲苯和二甲苯等挥发性气体进行测试,实验证明10-6浓度的挥发性有机气体,利用硅橡胶膜可以直接进行检测.     

新型高效气体净化剂

我组从60年代起,在超纯气体制备、气体分离、气体净化和分析检测等方面进行了研究与开发。近几年来,研究出的新型高、效气体净化剂,主要性能指标处于国内外领先地位,已在半导体电子工业、冶金工业、石油化工、金属有机合成及某些新技术领域中得到广泛应用。现将几种新型高效气体净     

HR-ICP-MS测定电子级N-甲基吡咯烷酮中痕量金属杂质

文章采用高分辨电感耦合等离子体质谱仪(HR-ICP-MS)检测电子级N-甲基吡咯烷酮(NMP)中金属杂质元素,采用标准加入法进行定量测试,回收率为92.40%~110.25%,重复性相对标准偏差为0.19%~3.78%,检测限满足电子级NMP中金属杂质含量在0.1~1μg/kg级别测试需求。     

电子轰击材料出气性能

固体材料在大气中会溶解、吸附一些气体,当材料置于真空环境下,就会因气体解溶、解吸、电子轰击等而发生放气。电真空微波器件广泛应用于加速器、卫星通信、可控热核聚变、全球定位及未来军事前沿的高功率微波武器等方面,其制造过程中非常关键的步骤是真空获得。为提高微波电真空器件研制过程中的管内真空水平,本文研制了高精度真空材料放气测试装置。系统采用小孔流导法测试出气率,极限真空低于5.0×10~(-7)Pa。利用本装置进行了电子轰击材料出气的试验研究。实验表明无氧铜在脉冲电子束轰击下出气速率与电压、频率、脉宽成正比;电子轰击的材料暴露大气后,在电子束轰击下出气速率在短时间内迅速降低到以前的放气率水平。采用四级质谱仪对电子轰击时真空室内的残余气体成分进行了分析,其主要成分为H_2(2),其它成份依次为H_2O(18),N_2(28),和CO_2(44)。对电子轰击材料出气机理进行了分析。金属电离规管进行的电子轰击除气实验研究也证明了这些实验结果。因此利用热阴极或电子枪作为电子发射源,对微波电真空器件收集极、阳极等金属材料进行电子轰击除气,将是制造长寿命高可靠微波电真空器件所必要且可行的方法。     

国内外电子气体技术进展

本文综述了国外兆位集成电路制造用气体品种与纯度标准、MO源材料的开发、电子气体配套器件、电子气体技术进展。指出国内尚未开发出ULSI级气体,在纯化技术、气瓶及管线内表面处理技术、分析检测与安全技术特别是供气技术上与国外水平有一定差距。     

高效率发射电流稳定器

发射电流稳定器是一种能维持灯丝发射电流稳定的灯丝供电电源,它广泛地用于电离真空计和离子源中。目前绝大部分国产电离计电源仍使用着效率极低的连续调整式稳定电路,因此仪器发热严重,不得不采用巨大的散热片,甚至使用风冷。这样,不仅仪器显得笨重,而且危及装在同一机箱内的静电计放大器,增加它的漂移。在目前使用的开关型发射电流稳定器中,大都是先整流、滤波,然后用周期性导通和截     

气体报警器无人值守检测装置的设计研究

本文叙述了气体报警器无人值守时自动监测系统的设计研究。包括防火箱体、移动卡扣、供气单元、UPS电源、(0～60) V直流可调电源、数据采集单元以及联动控制单元。它具有报警器老化试验、通气检测、无人值守时监测以及UPS不间断供电功能,可在该装置内放置36台常规气体报警器,可进行气体浓度试验、电源电压适应性试验和长期稳定性试验等,在无人值守时采用图像识别技术,将异常信号记录保存,实现无人值守时监测数据的完整性和检测的可靠性。     

离子质谱及其应用

离子质谱按照物质电离后质量与电荷的比值（即荷质比m/e)大小进行分离，可以测定离子的质量和离子流的强度^[1]。能快速连续地进行未知样品中包括氢在内的全元素分析和杂质同位素分析、微区微量分析和杂质纵向分布的深度剖析，因此被广泛应用于产、学、研的各个领域。对于一个样品进行离子质谱分析的整个过程必须包括三个部分：离子的产生－－离子源；离子的分离－－质谱计；离子流的接收－－检测系统。整个分析过程必须在高真空条件下进行。各种不同的离子源、质谱计和检测系统组合成各种不同类型的质谱仪。按离子源分类，可以有火花源质谱仪，辉光放电质谱仪，等离子体质谱仪、二次离子质谱仪等。按质谱仪可以分为磁质谱计，飞行时间质谱计和电四极杆质谱计等。检测系统可以是感光胶板、电子倍增器、双通道板、CCD和RAE等。     

国外胆机技术的现状

国外音响界的胆机热潮已持续了近半个世纪,在此期间,受半导体技术的影响,胆机在原有的基础上也有很大变革。本文中将对上世纪末到目前为止国外胆机中采用的新技术、新电路作一番详细介绍,以供胆机发烧友参考、借鉴。 胆机供电电源的改进 胆机供电电源基本上分成两大部分：一是灯丝供电;二是板极和栅负压供电。目前的胆机供电多采用半导体器件整流或稳压,不仅减小了胆机的体积,也降低了胆机功耗。 １．灯丝供电的改进 最早的电子管均为直热式阴极,即加热器与涂有稀土族金属氧化物涂层的阴极为一体。这种阴极结构如果用交流电供电,严…