HL-2A托卡马克真空烘烤除气性能研究

120℃过热水循环系统对HL-2A主机真空室进行烘烤除气,温升梯度为±1.5℃,持续时间302 h。烘烤过程包含两个恒温阶段,90℃热平衡后真空度达到4.8×10-4Pa,120℃热平衡后真空度达到2.3×10-4Pa。真空室经过烘烤除气后真空度为2.2×10-5Pa。结合实验数据,通过拟合函数建立数学模型对真空度变化规律进行趋势分析,验证了过热水烘烤除气在HL-2A装置真空系统运行中的合理性和重要性,为300℃以上高温烘烤除气方案的制定提供依据。     

程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

特大型超高真空排气台的研制

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10~(-8) Pa;烘烤温度25～600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。     

不锈钢、无氧铜和铝合金的升温脱附谱研究

研究超高真空材料的升温脱附谱对于获得超高真空、提高极限真空度和指导真空系统的烘烤除气有重要的意义.作者设计并加工了研究超高真空升温脱附谱的实验设备,并用此设备测量了真空系统结构材料不锈钢、无氧铜和铝合金的升温脱附谱.     

LiFePO4极片真空干燥特性及动力学北大核心CSCD

探讨了不同温度、不同真空度对LiFePO4极片材料烘烤水分的影响,并对LiFePO4极片材料真空干燥实验数据进行线性回归分析,得到LiFePO4极片材料水分扩散系数以及活化能等动力学参数。结果表明:烘烤系统真空度越高,温度越高,极片的水分比越低,干燥效果越好。烘烤温度越低,系统真空度差异对极片干燥效果有明显的区别。在实验条件下LiFePO4极片材料水分扩散系数处在(1.11~1.86)×10^-9 m^2/s,真空度越高,温度越高,水分扩散系数越大,水分的蒸发快慢受制于水分的扩散迁移速度。LiFePO4极片材料水分活化能在9.70~19.83 kJ/mol,真空度越高,水分活化能越低。应用Fick扩散定律以及Arrhenius方程,薄层干燥模型Henderson(MR=Aexp(-zt))描述LiFePO4极片水分迁移规律取得良好拟合效果,对预测LiFePO4极片干燥过程具有重要指导意义。     

HIRFL-CSR超高真空烘烤系统

为了满足兰州重离子加速器冷却储存环 6× 10 - 9Pa的真空度要求 ,必须建立温度在 2 0 0～ 30 0℃、控制良好的在线烘烤系统。主要从热电偶、加热器及绝热套 ;功率计算及分布 ;烘烤控制 ;样机测试结果等几个方面介绍兰州重离子加速器冷却储存环 (HIRFL- CSR)超高真空烘烤系统。     

LiFePO_4极片真空干燥特性及动力学

探讨了不同温度、不同真空度对LiFePO_4极片材料烘烤水分的影响,并对LiFePO_4极片材料真空干燥实验数据进行线性回归分析,得到LiFePO_4极片材料水分扩散系数以及活化能等动力学参数。结果表明:烘烤系统真空度越高,温度越高,极片的水分比越低,干燥效果越好。烘烤温度越低,系统真空度差异对极片干燥效果有明显的区别。在实验条件下LiFePO_4极片材料水分扩散系数处在(1.11～1.86)×10~(-9) m~2/s,真空度越高,温度越高,水分扩散系数越大,水分的蒸发快慢受制于水分的扩散迁移速度。LiFePO_4极片材料水分活化能在9.70～19.83 kJ/mol,真空度越高,水分活化能越低。应用Fick扩散定律以及Arrhenius方程,薄层干燥模型Henderson(MR=Aexp(-zt))描述LiFePO_4极片水分迁移规律取得良好拟合效果,对预测LiFePO_4极片干燥过程具有重要指导意义。     

高压开关管排气台的研制

由机械泵为前级泵,分子泵为主抽泵构成高真空系统,对高压开关管进行真空排气;由温度控制仪程序控制烘箱的升温和保温;通过充气系统对高压开关管进行充/放气来调节管内压力;用"高压开关管测试电源"进行"高压开关管"的高压动态老炼和性能检测.高压开关管排气台为多工位结构;空载时极限真空度优于5×10-6 Pa;烘烤温度为室温～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%.     

全超导托卡马克第一壁石墨材料的放气特性研究

全超导托卡马克(EAST)实验中,面向等离子体材料(PFM)的放气特性直接影响到等离子体的品质.因此采用动态流导法的实验装置,在不同温度和真空度下对表面镀有SiC薄膜的GBST1308(B l%、Si 2.5%、Ti 7.5%、C 89%)掺杂石墨材料进行放气实验研究.测试分析了石墨材料在18℃至350℃经140h连续烘烤下的放气特性,并考虑温度对限流小孔流导的影响,计算出石墨材料的单位表面积放气速率和总放气量.通过四极质谱仪(QMS)监测和定性分析石墨材料放出气体的各种成分,利用标准谱图计算出残余气体中H2、H2O、CO和CO2的放气速率.结果表明,温度是影响石墨材料放气成分和放气速率的最主要因素,另外当石墨材料在350℃的高温18h恒温烘烤后能有效地减小杂质气体成分和放气速率.     

VO2薄膜的主要制备工艺参数研究

通过正交试验设计对制备ＶＯ２薄膜过程中的部分影响因素（膜厚，最终热处理温度和热处理保温时间）进行了分析研究。ＶＯ２薄膜由无机溶胶－凝胶法制备Ｖ２Ｏ５凝胶膜经真空热处理而成。试验结果表明，ＶＯ２薄膜的最终电学性能明显受到膜厚、热处理温度和保温时间的影响。其中以热处理温度的影响最为显著。当真空度为３Ｐａ、升温速率为２℃／ｍｉｎ时，在试验参数范围内（真空热处理温度３４０￣５００℃，保温时间４０￣２４０ｍ     

航天器防污染真空试验设备

提出一种专用型航天器防污染真空除气罐,即基于真空烘烤除气及黑体加热技术,实现污染物控制及复杂形状航天器高精度控温.通过试验及气相色谱质谱连用测试仪验证,该真空除气罐可有效控制试验过程中的污染物,且实现了航天器污染控制试验高通用性及自适应性.     

内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管真空品质表征方法

本文计算了内聚光膜式全玻璃真空太阳集热管在烘烤排气过程中的排气量,提出了一种定量表征其真空品质的方法,然后通过集热管高温烘烤———加速老化实验对其真空性能进行了验证,首次利用内聚光膜式集热管高温烘烤过程中铝膜温度随老化时间的变化曲线表征其真空性能,且效果良好。实践表明,这种定量分析结合实验验证的方法表征内聚光膜式集热管真空品质是行之有效的。     

真空钎焊系统内材料出气对压升率的影响研究

随着微电子封装向小型化、高密度化、高可靠性的方向发展,各行业对钎焊技术提出了高钎透率、高钎焊接头质量、材料具备高净化度等需求。高真空钎焊技术也随之日益普及、加速发展。该技术通过保障真空室的洁净度及焊接真空度,进而保障元器件的焊接质量及寿命。高真空钎焊技术要求真空钎焊炉具备高真空度、低压升率。高温下材料出气是高真空状态下炉体内的主要气源,直接影响着保真空时间。针对已组装完成的真空钎焊炉,本文进行了炉体材料表面放气、炉体压升率的理论研究计算;实际测试了真空钎焊炉所能达到的真空度及压升率;详细分析了高温下炉体材料表面出气特性;分析了不同温度对材料放气的影响;建立了一种材料放气-压升率模型,以期更好地指导真空钎焊炉设计。     

热电材料塞贝克系数测试仪研制

为避免热电材料在高温测试过程中被氧化,基于塞贝克效应(Seebeck effect)设计一种在真空高温环境下测试热电材料Seebeck系数的新型装置。装置主要包括真空系统、样品支架系统和控制总成3部分。该新型装置成本低廉,易于操作,其应用不但可以有效防止高温环境中样品测试的氧化现象,而且可以在高温真空环境下准确、快速地测量样品的Seebeck系数。     

金属铯真空蒸馏提纯装置的研制

为了保证金属铯能够达到铯束管的要求,根据金属铯中的杂质在同一温度下的饱和蒸气压比金属铯低的特性,采用真空多级蒸馏的提纯方法,研制了一套多级真空蒸馏装置。该装置具有结构简单,蒸馏过程直观,对真空泵组污染小等特点。     

利用材料发射率来确定玻璃高真空系统的烘烤温度

在高真空系统中，真空室的烘烤温度对获得要求的真空氛围有着重要的影响，对于玻璃制作的真空系统，目前对于该温度的确定缺少一种较为简单易行的方法，本文基于辐射换热分析提出了具有通用性的利用材料表面辐射率来计算玻璃表面烘烤温度的近似方法，将这难以直接测量的温度通过附设热电偶的示值和本文推荐的关系式来确定，于实际情况相比较为吻合．     

压阻式真空传感器校准技术研究

随着科学技术的发展,各种类型真空传感器在真空测量设备中得到广泛应用,日常测量和校准问题也日益得到相关计量部门的关注。通过对压阻式真空传感器使用原理的分析,采用比较法真空校准装置,获得真空变量与测量输出信号问的函数关系,对照测量误差是否在准确度等级范围内,准确判断测量结果与被测量真值的一致程度,解决该类型真空传感器的测量和校准问题。     

JK3型奶液真空浓缩设备工作性能的分析

本文通过对 JK3型真空浓缩设备工作性能的研究分析表明 :导致其生产能力和蒸发量减少 ,能耗增加 ,蒸发温度升高 ,产品质量下降的主要原因是各效蒸发器工作真空度下降 ,加热温度和热循环与其不相匹配所致。     

流体储运装备真空测量装置设计与试验验证

目的 对新型流体储运装备真空测量装置的设计和试验进行系统研究，解决传统装置存在的量程不足、残留气体内漏等问题，验证装置漏率在环境试验中的变化，同时开展批量安装及真空测量应用。方法 运用FEM对新型真空测量装置的受力进行分析；采用氦质谱仪泄漏检测技术对环境试验前后的新型真空测量装置以及传统样品的漏率进行对比测试。结果 新型真空测量装置的初始漏率达到10-10Pa·m3/s；经过环境试验后新型真空测量装置的漏率未发生明显变化，传统装置的漏率在环境试验后明显上升。结论 新型真空测量装置所采用的热电偶&热阴极复合真空规，实现了流体储运装备夹层的真空度全量程测量，并满足易燃介质储运过程中的电气防爆要求。所增加的补抽真空结构可以有效防止真空测量装置的残留气体内漏。所采用的“CF法兰+无氧铜”密封结构具有很好环境适应性和较低的真空泄漏风险，同时也首次通过试验验证了真空测量装置的漏率在环境试验过程中的变化。     

多功能果蔬保鲜装置的研制及大白菜真空预冷实验

本文介绍了一种兼具"真空预冷、减压贮藏、冰温真空干燥"三个功能于一体的果蔬保鲜装置及其工作原理,并对该装置的真空系统、制冷系统、加湿换气系统、控制系统的组成及工作过程进行了详细介绍与分析。利用该装置做了大白菜真空预冷及减压贮藏实验,结果表明,随着舱内压力的降低大白菜真空预冷过程可分为三个阶段:温度缓降、温度骤降及温度持平阶段;以大白菜失水率3.34%等实验数据分析了此装置的技术特点和独特优势。该装置可以从预冷、贮藏两个阶段缩短冷链物流的运转周期,减少果蔬搬运造成的机械损伤,从而将在商业化普及应用中创造更多的经济效益。