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ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机是用于半导体生产企业的精密专用设备。本文介绍了ZSH-Ⅲ型自动砂轮划片机的设计思想,设计方案,主要技术关键,主要技术参数以及存在的问题。该设备已经小批量生产。 相似文献
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提出了一种针对划片机的丝杠螺距误差补偿的新方法.采用光栅传感器的技术,克服传统补偿方法对于回程补偿不够准确的缺点;采用神经网络的算法,研制了一套适合的数学模型,进行专用分析拟合.在实际划片生产装配中,使用文中的方法,降低了螺距补偿过程中丝杠重复定位误差带来的影响,达到了良好的效果. 相似文献
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划片机定位精度的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
袁慧珠 《仪表技术与传感器》2003,(7):51-52
介绍了如何在划片机的设计、划片机的装配调整以及划片机工作过程中的误差校正3个方面的问题,达到划片机对定位精度的要求。 相似文献
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介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势.对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图.通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处.并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型.为进一步进行参数化设计打下基础. 相似文献
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军用电子设备的维修性设计 总被引:1,自引:0,他引:1
维修性设计是军用电子设备研制过程中的重要组成部分.详述了维修性的基本概念以及维修性设计的三个主要阶段:维修性分配、预计及维修性试验与评定,提出了具体提高设备维修性的技术措施. 相似文献