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相似文献
 共查询到10条相似文献,搜索用时 156 毫秒
1.
采用焦磷酸质子交换技术制备 LiNbO3光波导,总结了交换条件、退火工艺和波导特性的实验结果,报告了表面腐蚀情况和单模条件。测量分析了退火前后波导折射率分布的变化,采用循环迭代法拟合折射率分布。结果显示退火前后的折射率分别呈近似阶梯和近似指数的分布,均可用费米函数良好地描述。  相似文献   

2.
卓壮  陈晓军 《光电子.激光》1993,4(6):355-359,327
本文采用质子交换法制备了Z切LiTaO3晶体平板光波导,并研究了退火前后波导的光学性能。讨论并用实验结果验证了退火前后波导内折射率的分布,实验证明退火前波导层的折射率分布为阶跃型,退火后其分布为费米型。在632.8nm的He-Ne激光波长下的测量结果表明:质子交换LiTAO3波导层折射率增量退火前约为0.012,退火后为0.025。  相似文献   

3.
研究了不同退火条件对氢离子和氦离子注入铌酸锂平面波导中折射率分布的影响。在不同时间和温度下退火处理后用棱镜耦合法测量了两种波导的暗模 ,并给出退火处理前后两种波导的折射率分布。实验结果表明两种离子的注入均造成了损伤层中正常折射率的减小 ,而反常折射率在波导区却有所增加。退火处理对损伤层中的正常折射率分布影响较明显 ,而在 4 0 0℃以下反常折射率几乎不受退火处理的影响  相似文献   

4.
苯甲酸质子交换LiTaO_3波导及其退火性能的研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
报道了在苯甲酸中制作质子交换LITaO3光波导的方法和波导的退火特性,给出了退火前后波导层中折射率的分布,计算了波导层的表面折射率增量和扩散系数,结果表明波导层表面折射率增量和退火时间与交换时间的比值有关。  相似文献   

5.
十八酸质子交换铌酸锂光波导的性能及其退火性能的研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
报道了采用十八酸作为质子源制作的铌酸锂光波导的性能及其退火对波导性能的影响,给出了退火前后波导层中非常光有效折射率的剖面分布,得出了质子交换的扩散参数和波导层的表面非常光折射率的增量.给出了波导层的表面非常光折射率的增量和扩散深度的增量与退火时间的指数关系.  相似文献   

6.
LiNbO3质子交换光波导退火特性的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
戴基智  孙守瑶 《电子学报》1995,23(5):109-111
本文报道LiNbO3质子交换波导的退火特性。用IWKB法计算了热退火前后的折射率分布,并采用广义高斯函数对计算出的折射率分布曲线进行了拟合,反映出该函数能准确而灵活地描述退火质子交换光波导的折射率分布及其变化。在实验中发现,高温下较长时间退火,导模消失。  相似文献   

7.
卓壮  王克明 《量子电子学》1996,13(3):286-288
本文报导了液氮温度下He^+离子注入LiNbO3波导的制备,采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率,计算了波导层折射率的分布和晶体中He^+离子的射射程分布和损伤分布,二者吻合得较好。  相似文献   

8.
本文报导了液氮温度下He+离子注入LiNbO3波导的制备,采用棱镜耦合法测量了波导退火前后各导模的有效折射率,计算了波导层折射率的分布和晶体中He+离子的射程分布和损伤分布,二者吻合得较好。  相似文献   

9.
王健  余才佳  纪引虎  熊恒  闫鑫 《半导体光电》2017,38(4):546-550,556
为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本.针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率.以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算.实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002.  相似文献   

10.
郭长志  陈水莲 《半导体学报》1989,10(12):892-903
本文提出一种能够精确分析波导层具有任意折射率分布而且收敛性好的分层逼近迭代法,研究了折射率缓变波导层分别限制单量子阱(GRIN-SCH-SQW)中波导层的折射率分布对近场分布,近场束宽,光限制因子,远场分布,远场角,激射阈值的作用,并与延伸抛物型近似解和折射率突变波导层分别限制单量子阱半导体激光器进行较全面的比较.结果表明:延伸抛物型近似不宜普遍采用;采用适当的缓变波导层可进一步降低阈值(例如采用抛物型或线性分布),或进一步减小远场角(例如采用倒抛物型分布).  相似文献   

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