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张晓东赵琳李锁印韩志国许晓青吴爱华 《测试技术学报》2022,(5):410-415
扫描电子显微镜是半导体器件关键尺寸测量的重要仪器.为提高扫描电子显微镜的测量准确度和校准效率,研制了一套标称值为100 nm~10μm的线间隔样板和标称值为2μm~10μm的格栅样板.此外,针对现有校准规范中测长示值误差、正交畸变和线性失真度等参数,提出了一种基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法.实验研究表明:研制的线间隔样板和格栅样板质量参数高,能够覆盖扫描电子显微镜的测量范围,解决仪器溯源问题.基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法,能够有效提高测量准确度和校准效率. 相似文献
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专用校对样板(以下简称样板)是钢铁厂中检查连铸设备的一种专用计量器具。如果样板失准,会造成连铸设备安装错误,引起漏钢而烧坏设备等的严重事故。因此,对样板的定期校准是极其重要的。本文对节距法校准样板直线度的测量结果不确定度进行分析和评定。 相似文献
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本文介绍齿轮啮合分离测试技术的测量齿轮误差修正技术,它运用最小区域法计算测量齿轮的压力角和螺旋角误差对其进行修正,利用切比雪夫多项多拟合测量齿轮的形状误差进行修正,试验结果表明修正技术可大大降低了测量齿轮精度要求,能使工作的配对件作为测量齿轮。 相似文献
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为解决飞机起落架载荷标定实验使用线性回归建立标定方程结果不理想的问题,考虑到实验中起落架压缩行程和应变片布片位置等因素对标定载荷的非线性影响,运用特征融合、集成学习理论,通过使用AdaBoost和XGBoost非线性回归方法,构建起落架载荷标定模型。首先,通过起落架载荷标定实验获取实验数据,使用主成分分析方法建立输入特征矩阵;其次,构建起落架载荷标定模型,将起落架三向加载载荷分别作为标签向量,训练集和测试集根据随机取样原则划分,使用AdaBoost和XGBoost两种方法训练标定模型;最后,在测试集中对载荷进行拟合预测,并使用均方根误差、平均绝对误差、决定系数、耗时4个评价指标对模型进行评估。实验结果显示,与广泛使用的最小二乘法相比,XGBoost方法建立的标定模型能够更好地拟合加载载荷,在不考虑时效性的场景下XGBoost算法更具优势。研究结果对提高飞机起落架载荷实测准确性以及飞机结构健康监测的进一步研究具有重要价值。 相似文献
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齿轮整体误差测量技术是20世纪70年代初我国机械领域自主研发的国际领先技术之一,曾得到大力推广和应用,为我国齿轮行业的技术进步做出了巨大贡献,但近20年来其发展和应用进入瓶颈期。随着目前新技术条件的出现,齿轮整体误差测量技术的一些传统难题采用全新的解决方案得以解决,而其测量效率高、信息全的固有优势则更加突出。齿轮整体误差测量技术有望迎来新的快速发展期。本文综述了齿轮整体误差测量技术的发展历程和研究现状,分析了整体误差基础理论方面存在的难点和核心问题,指出可行的解决途径、突破方向和未来的研究趋势,为齿轮整体误差测量技术及理论未来的发展提供参考和依据。 相似文献
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目的 针对注塑加工生产的微齿轮运转一段时间后会出现严重变形的问题,对微齿轮注塑精密成形翘曲变形进行分析。方法 基于混沌粒子群建立微齿轮注塑CAE模型,获取曲面全局最优解,在此基础上,计算微齿轮注塑精密成形翘曲收缩率,得到翘曲变形量,同时优化微齿轮注塑精密成形工艺参数,分析微齿轮注塑精密成形翘曲变形情况。结果 将仿真结果与实际试验结果进行对比,得出该分析方法的预测结果与实际翘曲变化趋势完全一致。结论 微齿轮注塑中心位置的翘曲变形量最大,离中心位置越远,翘曲变形量越小。 相似文献
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为了探求WN齿轮传动的强度机理和失效原因, 依据WN齿轮负载传动时齿面的三维几何接触特征和弹性变形理论建立了接触强度分析模型,提出了基于WN 齿轮啮合特征的接触强度分析方法.根据啮合过程中齿面接触载荷、啮合齿轮副和接触点数的变化,利用有限元分析进行了各种状况下的齿面接触应力计算,明确了WN齿轮接触强度设计中的螺旋角、中心距误差、齿宽及重合度对最大接触应力的影响结果.研究发现,当中心距和重合度及螺旋角等变化时,WN齿轮与渐开线齿轮呈现出了完全不同的载荷特征和强度机理. 相似文献