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本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成。在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通过测量传感元件两端的差压,计算质量流量,可以得到真空腔体的整体漏率。实验中对多个真空腔体漏率的测量结果表明,该方法可以实现对10-5-10-3 Pa·m3/s量级真空腔体漏率的准确测量。除去本底漏率之后,测量结果与理论结果高度拟合,测量结果显示最小偏差为0.05%,最大仅为0.62%。且通过改变分子流传感元件流导值和差压变送器量程可以进一步扩展该方法可测真空腔体整体漏率范围。 相似文献
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在真空系统中,流导作为主要性能参数需要精确测量.介绍了升压法测量小孔分子流流导的测量原理、测量方法、计算公式和不确定度的评定方法.通过对一小孔流导实际测量和不确定度评定,得出升压法测量流导的合成标准不确定度为2.0%,并用线性真空计测量流导的方法对同一小孔的流导测量结果进行了验证.升压法测量流导的方法简单、测量方便,适合于流导的快速测量. 相似文献
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极小气体流量测量技术研究 总被引:1,自引:1,他引:0
介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-1~10 Pa范围内调节进气压力,实现了10-8~10-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-10~10-12Pa·m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%。利用极小气体流量测量技术校准了小于10-8Pa·m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度。与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级。 相似文献
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一、引言在真空系统设计与计算中,为了表征稀薄气体通过真空系统管路元件的流动,通常给出流导几率(即传输几率),流导几率是确定气体流量的一个重要参数。对于一些形状简单的管道通常都有解析公式可以计算,但对于一些几何形状比较复杂的真空系统管 相似文献
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《现代测量与实验室管理》2020,(4)
可压缩介质流量测量方法较多,但高压可压缩流体因压力高,且其气体常数是非理想气体常数,同时介质中又有可能有部分成分会液化,这给流量测量带来诸多困扰,多数常规的测量方法不适用于直接测量,而称瓶法是高压压缩机流量测量可选择的方法之一,本文介绍其原理。 相似文献
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气体流量是能源贸易结算、环境监测等诸多领域中的关键参数,其测量不确定度直接影响贸易公平和环境保护。气体流量基准装置是流量量值的源头,流量计是流量量值传递的载体。本项目自主研制了气体流量基准、标准装置,系统研究了流量计的计量性能,建立了完整的气体流量量值传递体系,显著提升了我国气体流量的计量水平。项目主要成果包括3个方面:将我国气体流量基准装置的测量不确定度水平提升了4倍,首次获得了国际气体流量领域的4项校准测量能力(CMC),测量结果获得国际互认,支撑主导中俄两国间的国际比对,保障能源国际贸易的开展。拓展了气体流量标准装置的测量能力,自主建立高压pVTt法气体流量原级标准装置、临界流音速喷嘴法次级标准装置和环道式涡轮流量计法工作标准装置,满足了高压气体流量量值溯源的迫切需求。综合采用理论、数值模拟及实验等不同研究方法对音速喷嘴流量计开展系统研究,成果显著提升了其测量结果可靠性,支撑相关国际标准的修订,极大提高了我国在该领域的国际学术地位。 相似文献
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0 引言
流量标准装置通常按液体和气体分类.液体流量标准装置按检测的原理,分为称重法、容积法及标准表法,气体流量标准装置按检定的原理,分为容积法、标准表法 [1].
目前,我国关于液体流量测量的方法已经基本满足需要,但相应的标准装置技术水平还不尽人意.而气体流量测量还存在不少问题有待解决.包括气体流量计品种不全、准确度... 相似文献
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超声波流量计的测量原理及误差分析 总被引:2,自引:0,他引:2
超声波流量计是一种非接触式测量仪表,由一次传感元件和二次显示仪表组成。它具有安装方便,无须对管道进行机械加工,不影响被测介质的流态,节约能源等优点。从管壁外测量管道内流动液体的流量是其它测量方法所不能及的特点,在大流量测量时其优点尤为明显。本文就时差法超声波流量计的应用及误差分析做一介绍。1工作原理时差法超声波流量计测量流量是目前应用较为广泛的方法,其测量对象主要是自来水、地下水、海水、轻质油等单一均匀的介质。它是通过安装在管道外壁的两只传感器相互发射和接收超声波信号,根据超声波在顺流方向和逆流… 相似文献
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介绍了目前常用的蒸汽流量测量方法--直接测量法,对其测量原理、特点及测量误差进行了分析。针 对系统工况负荷变化频繁、蒸汽流量经常出现大幅度波动、直接测量流量误差较大的问题,提出了一种流量软测 量,即无节流元件的蒸汽测量方法。利用此方法对蒸汽流量进行计算,并与实际流量计测量值对比,得出在流量波动时,流量计测量误差为10%,而软测量误差最大不超过5%。 相似文献
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针对大中型管道以及不规则流场中气体流量测量存在的问题, 研制了一种多传感器结构的气体流量计。在测量管道中按照对数线性法选取测量特征点,采用4个热式气体流量传感器获取特征点的流量信号,利用正交多项式拟合建立特性曲线的函数关系式。在不规则流场条件下对200mm口径样机进行实验。实验结果表明,多传感器测量方法能够明显改善单传感器的测量精度不高的问题。 相似文献
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