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对SiC材料,开始是用其机械性能。20世纪90年代开始生产SiC单晶锭,从而开辟新的光电子学和功率电子学应用领域;即用于制备功率电子器件、RF(射频)/微波器件,氮化物基光电器件的衬底以及MEMS(微电子机械系统)和微系统用器件,尤其适合于制造在恶劣环境中使用的微系统器件。 相似文献
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《新材料产业》2013,(12):7-8
事件:继硅(si)引导的第一代半导体和砷化镓(GaAs)引导的第二代半导体后,以碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)、氧化锌(ZnO)、金刚石、氮化铝(AlN)为代表的第三代半导体材料闪亮登场并已逐步发展壮大。与第一、二代半导体材料相比,第三代半导体材料具有更宽的禁带宽度,高的击穿电场、高的热导率、高的电子饱和速率和更高的抗辐射能力,因而更适合制作高温、高频、抗辐射及大功率器件。此外,第三代半导体材料由于具有发光效率高、频率高等特点,因而在一些蓝、绿、紫光的发光二极管、半导体激光器等方面有着广泛的应用。从目前第三代半导体材料和器件的研究来看,较为成熟的是碳化硅SiC和GaN半导体材料,而Zn0、金刚石和A1N等宽禁带半导体材料的研究尚属起步阶段。 相似文献
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<正>左手材料(Left-Handed Materials,LHMs)是超材料的一种,是指自然界中不存在的、介电常数(ε)和磁导率(μ)同时为负值的、具有奇异电磁特性的人工结构,主要应用于微波器件、 相似文献
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综述了基片集成波导(SIW)技术研究的现状和热点,首先分析了SIW的基本理论,包括SIW结构设计、损耗机制和频带宽度等;然后详细分析了基于SIW的微波和毫米波器件,包括无源器件、有源器件、天线和可调谐器件;接着对基于SIW技术的器件模拟和制作进行了详细论述;最后对SIW技术应用于太赫兹器件的设计进行了展望. 相似文献
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《新材料产业》2015,(1):97
<正>泰科天润半导体科技(北京)有限公司(Global Power Technology(Beijing)Co.,Ltd.,简称泰科天润,是中国sic功率器件产业化的先行者之一。泰科天润致力于中国半导体功率器件制造产业的发展,并向全球功率器件消费者提供优质的半导体功率器件产品和专业服务。泰科天润在北京拥有一座完整的半导体工艺晶圆厂,可在4-6英寸Sic晶圆上实现半导体功率器件的制造工艺。拥有商业化碳膜溅射机,高温离子注入机以及量产型高温退火炉等。泰科天润的目前产品以600V~3300V Sic肖特基二极管(Schottky diode)为主。泰科天润能够为客户提供半导 相似文献
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《新材料产业》2014,(10)
<正>泰科天润半导体科技(北京)有限公司(Global Power Technology(Beijing)Co.,Ltd.,简称泰科天润,是中国SiC功率器件产业化的先行者之一。泰科天润致力于中国半导体功率器件制造产业的发展,并向全球功率器件消费者提供优质的半导体功率器件产品和专业服务。泰科天润在北京拥有一座完整的半导体工艺晶圆厂,可在4-6英寸SiC晶圆上实现半导体功率器件的制造工艺。拥有商业化碳膜溅射机,高温离子注入机以及量产型高温退火炉等。泰科天润的目前产品以600V-3300V SiC肖特基二极管(Schottky diode)为主。泰科天润能够为客户提供半导 相似文献
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《新材料产业》2014,(11)
<正>泰科天润半导体科技(北京)有限公司(Global Power Technology(Beijing)Co.,Ltd.,简称泰科天润,是中国SiC功率器件产业化的先行者之一。泰科天润致力于中国半导体功率器件制造产业的发展,并向全球功率器件消费者提供优质的半导体功率器件产品和专业服务。泰科天润在北京拥有一座完整的半导体工艺晶圆厂,可在4-6英寸SiC晶圆上实现半导体功率器件的制造工艺。拥有商业化碳膜溅射机,高温离子注入机以及量产型高温退火炉等。泰科天润的目前产品以600V~3300V SiC肖特基二极管(Schottky diode)为主。泰科天润能够为客户提供半导 相似文献
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相比于第一代和第二代半导体材料,第三代半导体材料具有更高的击穿场强、电子饱和速率、热导率以及更宽的带隙,更适用于制备高频、大功率、抗辐射、耐腐蚀的电子器件、光电子器件和发光器件。氮化镓(GaN)作为第三代半导体材料的代表之一,是制作蓝绿激光、射频微波器件和电力电子器件的理想衬底材料,在激光显示、5G通信、相控阵雷达、航空航天等领域具有广阔的应用前景。氢化物气相外延(Hydride vapor phase epitaxy, HVPE)方法因生长设备简单、生长条件温和和生长速度快而成为制备GaN晶体的主流方法。由于普遍使用石英反应器,HVPE法生长获得的非故意掺杂GaN不可避免地存在施主型杂质Si和O,使其表现出n型半导体特性,但载流子浓度高和电导率低限制了其在高频大功率器件中的应用。掺杂是改善半导体材料电学性能最普遍的方法,通过掺杂不同掺杂剂可以获得不同类型的GaN单晶衬底,提高其电化学特性,从而满足市场应用的不同需求。本文介绍了GaN半导体晶体材料的基本结构和性质,综述了近年来采用HVPE法生长高质量GaN晶体的主要研究进展;对GaN的掺杂特性、掺杂剂类型、生长工艺以及掺杂原子对电学性... 相似文献