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硅压力传感器可靠性强化试验研究 总被引:3,自引:0,他引:3
为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。 相似文献
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为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述. 相似文献
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为实现硅压力传感器的快速评价和快速提高传感器可靠性的目标,综合分析了国际上先进的可靠性强化试验理论与技术,并应用失效物理学原理,对硅压力传感器可靠性强化试验技术剖面进行了研究性评述。 相似文献
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研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等。 相似文献
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MEMS机油压力传感器可靠性研究 总被引:2,自引:0,他引:2
研究了封装工艺对传感器可靠性的影响。分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性。贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等。 相似文献
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研究了封装工艺对传感器可靠性的影响.分析和实验结果表明,机油压力传感器封装材料及各个工艺步骤都会影响传感器的性能和可靠性.贴片胶性能不能满足可靠性要求,会引起传感器信号漂移和高温不稳定性;引线键合强度不够,在工作中会断裂;硅油化学稳定和耐温性能不够好,会造成传感器高温输出信号不稳定,硅油中的空气和杂质会造成传感器零点输出偏大,使传感器的精度下降等. 相似文献
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本文简要介绍了故障树分析法的基本概念和分析步骤,并将其应用于薄膜压力传感器的可靠性研究。通过统计配套产品失效案例,对传感器芯体、信号处理电路、产品结构等因素导致传感器故障原因进行分析,得出压力传感器失效故障树,为薄膜压力传感器的可靠性研究提供了科学依据。 相似文献
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光纤光栅原油压力传感器实验及其可靠性研究 总被引:9,自引:0,他引:9
介绍并制作了一种光纤光栅高温高压传感器,它由三种金属管组成,中央的弹性金属管将液体的压力转换为管子的机械伸长,周围金属管的长度只随温度变化。光纤光栅的两端分别固定在中央管及周围管的末端,随着压力管内液体压力的增加,光栅的中心波长随之增加,实现了对液压的传感。对该传感器的温度补偿进行了分析,设计了具有相同温度系数的压力传感光栅与温度传感光栅。并对传感器进行了高压实验和高温、高湿存储实验。结果表明,这种压力传感器在0~50 MPa之间灵敏度为31.7 pm/MPa。经过200℃高温存储16 h,及100℃沸水浸泡6 h,波长没有观察到明显衰退现象。 相似文献
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介绍了一种适用于MEMS压力传感器的低成本、柔性化凸点下金属层(Under Bump Metal,UBM)和凸点(Bump)的制备工艺。其中凸点下金属层分为Ni-P/Cu两层,使用化学镀的方法沉积在Al焊盘表面;凸点通过焊膏印刷回流预制于陶瓷基片上,再通过转移工艺移植到焊盘上。为了检验此套工艺制出的凸点结构是否具有足够的强度,对凸点进行了剪切破坏试验。结果表明,凸点与凸点下金属层、凸点下金属层与Al焊盘均结合牢固,破坏主要发生在焊料凸点内最薄弱的金属间化合物层(Intermetallic Compound,IMC)。 相似文献
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阐述了扬声器的可靠性和可靠性试验的主要问题,从试验目的、试验应力和失效数据等方面讨论了扬声器可靠性和可靠性试验,在扬声器的设计和制造阶段进行可靠性工作十分重要。 相似文献
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MEMS惯性传感器可靠性试验方法研究 总被引:1,自引:0,他引:1
MEMS惯性传感器在军事与商业应用中的一个主要问题便是可靠性试验方法尚未标准化,因而目前绝大多数MEMS惯性传感器器件的可靠性试验依据的是傲电子的试验标准。但是,这些标准对于这类器件的适用性却受到许多机构的质疑,国外关于该问题的研究也已起步。汇总了MEMS惯性传感器器件的结构和工作原理等信息,重点总结了该类器件的典型环境失效机理,并将典型的环境载荷情况与失效机理进行了对比分析:从现有的微电子可靠性试验标准中选取了针对不同环境失效机理的试验方法。并对其适用性问题进行了讨论。 相似文献