气敏传感器集成化的研究

本文回顾了气敏传感器的发展史,针对限制气敏传感器发展的诸因素,提出了解决问题的思路;指出了集成化的关键在于敏感膜的设计和制备,最后讨论了几种有前途的集成气敏传感器单元。     

集成化离子敏场效应传感器的研究进展

在介绍离子敏场效应晶体管（ISFET）传感器的应用和基本工作原理的基础上,阐述了集成化ISFET传感器的研究现状,包括ISFET敏感膜及其制造工艺与CMOS兼容性研究、集成化读出电路、多传感器集成等方面。展望了ISFET传感器的研究趋势,认为在以下方面值得探索和研究：敏感膜是把化学变量转换为电学变量的关键;高性能读出电路的研究;集ISFET、读出电路及后端信号处理电路于一体的低功耗ISFET传感器的系统集成;多功能、智能化的多传感器集成;研究集微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源等于一体的微机电系统（MEMS）;ISFET微传感系统的数字化集成等。     

电容式压力传感器的厚膜集成化研究

本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件，并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将信号处理电路集成在感压元件上成为一体，进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明，研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器，线性达到0．5％，迟滞小于0．5％，重复性好。具有受分布电容、寄生电容影响小，抗干扰能力强，精度高，抗过载、耐腐蚀等特点。     

集成化离子敏场效应传感器的研究进展

在介绍离子敏场效应晶体管(ISFET)传感器的应用和基本工作原理的基础上,阐述了集成化ISFET传感器的研究现状,包括ISFET敏感膜及其制造工艺与CMOS兼容性研究、集成化读出电路、多传感器集成等方面。展望了ISFET传感器的研究趋势,认为在以下方面值得探索和研究:敏感膜是把化学变量转换为电学变量的关键;高性能读出电路的研究;集ISFET、读出电路及后端信号处理电路于一体的低功耗ISFET传感器的系统集成;多功能、智能化的多传感器集成;研究集微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源等于一体的微机电系统(MEMS);ISFET微传感系统的数字化集成等。     

一种高度集成化的仿生偏振导航传感器

模仿昆虫复眼中的偏振敏感神经结构,利用四方向金属纳米光栅、互补金属氧化物半导体(CMOS)图像传感器和微控制器(MCU)设计了高度集成化的仿生偏振导航传感器。首先,利用纳米压印工艺将四方向金属纳米光栅直接集成在CMOS上,各偏振化单元角度精确,没有分立器件带来的装配误差。MCU采集含有偏振信息的图片,对原始图像进行预处理后,提取各偏振区域的光强值,计算偏振方位角并通过串口输出。最后,在室内积分球下对光栅局部缺陷和光学特性参数进行校正,标定后的传感器测量角度误差不超过±0.2°。提出的传感器具有集成度高、体积小、鲁棒性好等优点,依靠大气中稳定的偏振分布模式可以实现自主导航。     

集成智能传感器的新进展

阐述了集成智能传感器的概念,对集成智能传感器理论和技术等方面的国际研究热点作了分析,介绍了几种具有代表性的智能传感器,并提出了我国应采取的对策。     

美国海军的集成化导航系统

就美国海军的集成化导航系统做了详尽的评价，尤其是针对在各种舰艇上的实际应用情况，譬如巡逻舰、水面舰、航空母舰、潜水艇等，分析了该系统的结构配置、优势和性能特点。对该导航系统的深刻了解和把握，为设计、开发和研制舰船对抗措施带来有益的启示和帮助。     

用于实现医疗设备微型化的传感器解决方案

本文重点阐述了开发经济高效的紧凑型传感解决方案的设计策略,传感解决方案是为医疗设备提供有关患者状况或治疗的真实数据的关键。     

高集成小型化中频滤波组件设计与实现

为满足雷达接收机中频滤波器组集成滤波器数量多、集成度高的需求,文中采用三维集成技术,设计了一种小型化LC滤波器电路,并对三维LC滤波器在组件中的应用和集成工艺进行分析和研究.三维LC滤波器采用两个基板,利用三维集成工艺和BGA技术实现两个基板的三维集成组装.将电容元件置于底层基板可实现高密度布局,将电感元件置于顶层基板...     

陶瓷传感器及应用

阐述了传感器的作用及在国民经济发展中占有的位置;介绍了利用陶瓷材料的功能制作的各种类型的陶瓷传感器及其应用.对湿度传感器、气体传感器、超声波传感器进行了市场预测.     

日显重要的陶瓷温度传感器

本文介绍了陶瓷湿度传感器的种类及其所使用的材料；同时介绍了它们的探测机理和用途。     

电子陶瓷薄膜材料的集成及应用

阐述了近几年来国内外关于电子陶瓷材料的集成研究状况及发展趋势,指出了电子陶瓷薄膜材料的产品在诸多领域的重要应用。对电子陶瓷材料与微电子器件的集成,以及电子陶瓷在微传感器和MEMS中的应用情况作了重点介绍。     

相控阵天线集成技术

低成本、更高频段与可扩展是推动相控阵天线集成技术发展的主要动力。本文综述了砖块式与瓦片式两种相控阵天线集成阵列结构,以及多功能芯片与射频晶圆集成技术的发展,指出开发多功能芯片是当前发展毫米波相控阵天线的重要途径。     

Ceramic Substrates for High-temperature Electronic Integration

One of the most attractive ways to increase power handling capacity in power modules is to increase the operating temperature using wide-band-gap semiconductors. Ceramics are ideal candidates for use as substrates in high-power high-temperature electronic devices. The present article aims to determine the most suitable ceramic material for this application.     

小型卫星有效载荷的小型化与集成化

提出了小型卫星有效载荷的小型化和集成化要走“两微一光，多芯片组装”之路，并对有关情况进行了介绍。     

基于WLSE-KF的传感器融合定位算法研究

多传感器融合在定位中的应用越来越广泛。在利用这些传感器进行定位的过程中,需要对其采集的数据进行融合。射频识别融合定位一般采用最小二乘法,然而,它可能使定位误差较大。文中提出了将最小二乘和卡尔曼滤波相结合的算法。该算法先利用加权最小二乘估计获得移动用户的初步位置,再利用扩展卡尔曼滤波进一步使定位精度得到提高。仿真结果表明该算法相比多种传统定位算法,误差减少,定位精度明显提高。     

压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法

灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。实验结果验证了该方法的精确性:传感器样品的灵敏度测试值为42.462～44.460 mV/MPa,与仿真值之间的相对误差控制在3.3%以下,同时得到非线性低于0.16%的良好线性度以满足应用需求。     

微悬臂梁在化学及生物传感器中的应用进展

微悬臂梁结构传感器以其低成本、小体积、高性能在当今传感器研完中愈来愈受到重视。文章概述了以微悬臂梁为主要结构的传感器在化学及生物探测中的应用进展，介绍了几种可能用于化学和生物探测的高性能微悬臂梁传感器。