长度光栅测量系统的误差修正技术

文章针对长度光栅测量系统的误差来源、特点提出了二次比对、拟合的修正方法。在文章所论述的方法中,通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长;将生成的修正公式赋进长度光栅测量系统的程序中完成误差自动修正。文章提出的光栅测长系统的误差修正方法原理简单、实用、修正精度高。对于三坐标测量机、测长机、万工显等精密直线位移平台都具有借鉴和参考价值。     

长光栅测量系统误差修正方法

针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.     

光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。     

大量程光栅位移测量累积误差的修正

提出了一种自动测量光栅栅距修正累积误差的方法。栅距测量是基于高阶累积量估计光栅传感器输出的两路莫尔条纹信号的时间延迟而得到的,该方法能够实现每个栅距的测量,通过对每个光栅栅距的误差进行修正来减少累积误差,为大量程高精度测量奠定了基础。实验采用长为500 mm的50线/mm的光栅传感器,该传感器包含栅线25 000条,实现栅距测量分辨力为3 nm,达到了纳米级测量。该方法抗干扰能力强,适合在生产现场应用。     

微处理机在光栅测长中的应用

光栅测长大量应用于精密位移测量中。如果在光栅测长系统中使用微处理机系统进行细分、计数、误差修正和结果显示,将有助于提高数字分辨率和提高测长精度,加快测量速度和降低光栅刻制的成本。本文提出的微处理机系统曾在装有光栅测量装置的万能工具显微镜上试用。计算机软件细分的分辨率为0.1μm,细分精度达到±1μm。使用的光栅尺为50线/mm。     

粗光栅线位移测量系统细分误差补偿前后的精度分析

本文针对粗光栅线位移测量系统的误差来源 ,在大量实验的基础上 ,经过理论分析 ,得出细分误差与本底噪声的线性关系式 ,找到了系统修正误差时的理论依据。同时对系统在细分误差补偿前后作了精度分析。     

关节坐标测量机研制中圆光栅误差修正技术

介绍了关节坐标测量机原理、组成,并对其进行了误差分析.从理论上分析了圆光栅安装偏心误差对测量结果的影响,介绍了圆光栅分度误差测量方法,并采用非线性拟合的方法对该项误差进行了修正.     

LabVIEW平台的平面螺纹测量系统研制

基于极径变化,建立了平面螺纹螺旋线误差测量与评价模型,基于LabVIEW平台,研制了一套高准确度动态测量盘丝平面螺纹测量系统.本系统采用高准确度线性光栅及圆光栅系统测量平面螺纹的极径和极角,采用PLC系统控制伺服电机来带动精密气浮主轴旋转,采用CCD激光位移传感器配合线性光栅在测量前对平面螺纹进行调平调心,以提高测量准确度.与三坐标测量机(CMM)测量结果比对表明,本系统已达到预期设计要求,可在计量部门和企业推广使用.     

一种非线性误差修正方法

对于采用光栅做位移传感器的长度测量仪器,为提高仪器测量准确度,多采用误差修正的方法,来减小仪器示值误差。本文介绍了一种非线性误差修正方法,该方法在国外有的仪器上已被采用,作者也做过试验,验证了方法的可行性。     

位移传感器测量方法

针对位移传感器的检定校准,提出一种采用测长机测量位移传感器示值误差的新方法,可以实现对拉线位移传感器、激光位移传感器、光栅式或电感式位移传感器等各类位移传感器的校准,并应用此方法进行了实例测量和误差分析,为实际应用提供指导.