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本文叙述了从钛金属滴蒸发的新型蒸发 离子泵以及情性气体被无栅极的简单装置所 电离的原理。对普通气体来说,在压强为 1×10-6毫米汞柱下泵抽气速度约2000- 5000升/秒。对氩气来说,在压强为1×10-6 毫米汞柱压强下,泵抽气速度为50升/秒。 泵极限压强为3×10-8毫米汞柱。 高真空钛蒸发离子泵最初由美国学者提 出来的,作者们满意的感到泵中没有工作液 存在和可能避免按接冷凝阱。下述的泵虽是 仿照美国设计的,但蒸爱器和用离器的设计 确实是很有名望的。钛从液态滴表面连续蒸 发,此间可用液钛来消除蒸发器的恶化, 而且在没有蒸发器补充的条件… 相似文献
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3.机械泵的返油 (原文第一、二两节从略,以下编号顺序仍按原文──校注) 一个设计良好的扩散泵真空系统,即使在扩散泵进口采用高效液氮冷阱、也仍然会出现某种程度的碳氢化物污染。这种污染的根源一般都归因于扩散泵返油、但是实际上在大多数情况下都可以查到机械泵油的痕迹。 考察旋片泵在从大气压下开始工作直到达到其极限压强时在旋片泵扩散泵间联接管道内气流状态所发生的变化可以看出、在粗抽阶段(压强降至1毫巴以前)管路中高密度气流占绝对优势因而阻止了机械泵油向扩散泵方向的返扩散。可是,随着压强的下降,气流变为过渡态,蒸汽分子… 相似文献
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一、序言 当油扩散泵的前级压强测量使电离规工作,极限压强测量用的BA规读数就增大,这种现象营田荣治,金铉佑①曾经碰到过,说他的原因是由于前级压强侧电离规的裂化气体起反扩散引起的。有一位作者在进行希科曼(Hickman)泵的极限压强特性的测量②时也观察到了同样的现象,根据实验条件发现这种现象有极端扩大的趋势。扩散泵一级的系统,其前级压强一般没有用电离规测量的,但是最近在超高真空排气系统惯用的串联扩散泵系统中,似乎主泵的前级压强有时用电离规测量的。在这种场合,为了用BA规正确地测量系统的极限压强,需要弄清各种因素对引起这… 相似文献
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1、前言 近十几年来,油扩散泵在工艺上已有了显著的发展。近来,不使用液氮冷阱可获得10-9托的极限真空度,同一口径的泵抽速几乎提高了一倍;最大允许反压强及最大流量也大幅度地提高了,泵入口处工作液返油率已降低到10-3毫克/厘米2·分左右。 扩散泵性能的这些提高在很大程度上是依赖高性能的工作液(即常温下蒸汽压强在10-10托以下,在高温下不会引起热分解及氧化,在常温下具有适当粘度的工作液)的相继出现而实现的。 油扩散泵最伤脑筋的问题是工作液蒸汽的返流引起被抽系统的污染。油扩散泵所具有的许多优点都被这一缺点所掩盖了,因而出现了… 相似文献
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改进涡轮分子泵性能的几项措施 总被引:1,自引:0,他引:1
可以概括地说,减少真空泵和真空室连接件中的气流损失就可以改进涡轮分子泵的抽速。 使用另外的与涡轮分子泵相适应的超高真空泵系统来降低其极限压强是一种合适的方法。 有时降低前级真空端氢的分压强也能降低极限压强。 相似文献
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本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是:工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型K-500泵的抽速是大于10000升/秒,极限压强低于6.6×10-5帕,最大前级压强大于54帕,加热功率8千瓦左右。 相似文献
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《真空》1978,(2)
以普通油扩散泵一机械泵组成的有油排气系统是当前电真空器件生产中获得高真空的重要手段。由于目前电真空器件在该有油排气系统上排气封离时极限真空都限制在10-7~10-6乇,且存在油蒸汽对被抽器件的污染,使许多要求耐高压、高放射率和长寿命的器件的性能不能稳定和提高。 本文试验了由钛升华阱──冷阱──普通扩散泵──活性氧化铝吸附阱-机械泵组成的真空系统的抽气性能。结果表明系统极限真空度用液氮冷却在五~八小时内达到 (5~8) × 10-10乇,自然冷却达到(3~4) × 10-9乇。并用该试验系统试排了数只 TM-85电子管,在基本上不改变原排气工艺规范和不延长排气时间的条件下封离时真空度为 (1~2) × 10-8乇比原系统提高了二个数量级,参数全部合格,试验结果说明,系统的操作步骤对极限真空有很大影响,如在管内采用锆铝吸气剂并适当改变排气工艺规范以适应系统的超高真空性能可能获得更高的极限真空度。 相似文献
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由简单可靠的铝片密封垫圈引导出几个新的技术。这种密封垫圈的使用温度允许由液氮温度到450℃这样宽的范围。铝片密封垫圈用在一十50升铝制容器上之去气特性已被研究过了。容器烘烤至240℃。气体之成份及发生率是在有液氮冷阱的系统中,附带或不带钼收集器情况下测定的。冷阱,收集器及阀分别烘烤至400℃,以扩散泵抽气的典型真空系统在10-10乇数量级内压强完全没有波动,这是因为采用了特殊的沸石托转泵,此泵在低真空抽气时,还兼作阱之用,从而避免了机械泵的污染。 相似文献
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高压强电离计的试制 总被引:1,自引:0,他引:1
《真空》1974,(Z1)
用吸附泵作前置真空泵的无油机组,为要获得尽可能高的前五真空,需要在被抽容器压强降到1毛时关闭第一级吸附泵的阀门。用热偶计或皮氏计测量这个压强有时反映速度较慢,而且读数不够准确,因此提出试制高压强电离计的任务。电真空专业工农兵学员,在教研组工人师付和教师的支持和帮助下,一面建立校准系统。试制高压强电离计管的结构,一面试制氧化钇阴极和制作电源,在不到半年的时间内,做出一些初步结果。现把这一阶段总结汇报如下,难免有错误之处,希予指正。 一、高压强电离计营的结构和试验结果 我们要试制的高压强电离计的测量范围是10-5~1… 相似文献
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不改变商用SIP的基本结构,把NEG组件WP1250装入SIP,构成(SIP NEG)的XHV复合泵.它使SIP和NEG的特点互补,综合性能优越.NEG激活前,SIP单独抽气,极限压强1.1×10-8Pa.NEG激活后,SIP和NEG联合抽气,复合泵的极限压强降到7×10-10Pa,抽速稳定的范围更广,标称抽速约是SIP抽速的2.5倍. 相似文献
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自从1950年Bayard-Alpert电离计发明以来,真空技术逐步向超高真空领域推进。特别是现代科学技术──原子能、电子计算机和空间技术的发展,又进一步促进了超高真空技术。 旱期获得超高真空的主要手段是油扩散泵系统,但是这种泵的工作液是污染系统的主要来源。现在有许多场合对真空的要求不但是“量”而更重要的是“质”,即“清洁”的超高真空。近十几年来,国内外在减少油蒸汽污染方面有很大进展。如美国Aero真空公司的Santeler用“ 6”油扩散泵 (对N2抽速为 1500升/秒)加上12”的液氮升华阱使极限压强达到 10-14托,油蒸汽分压小到可测下限(… 相似文献
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涡轮分子泵,钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果,获得10-11托的极限压强,对氮气或空气的抽速为3000开/秒左右,而对于氢气的抽速为1万升/秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。 相似文献
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为防碳氢化合物等大体积物质分子的返流,赖斯柯公司(Kurt J.Lesker Com-pany)介绍了一种微型迷宫式前级管道吸附阱,如图所示。 这种微型迷宫式前级管道吸附阱由下列几部份组成: 1.分别与被抽系统排气泵和连接管道与法兰相联,见图中的序号4; 2.吸附阱的方形外壳3,为了便于加热除气,外壳外缠有盘状加热管2; 3.由具有吸附作用的惰性材质做成的4块吸附板1,以迷宫式的排列安装在吸附阶的外壳内。这种吸附板既不含有微粒,又不含有粉末状的物质,因此比较干净,无吸附剂的颗粒与粉尘的污染,并且具有较大的吸附表面积,达 200m2/g。 据介绍,这种迷宫… 相似文献
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介绍了冷阱的结构及其设计计算,此冷阱是串联子低温再生及检漏真空系统的φ160管道上,分析了该冷阱的启动压强和液氮消耗量,得到了最佳的启动压强。 相似文献
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