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MOCVD法制备GaSb,GaAsSb,AlGaSb和AlGaAsSb异质外延材料 总被引:1,自引:0,他引:1
本文报导了用常压MOCVD技术在GaAs衬底上生长GaSb、GaAsSb、AlGaSb和AlGaAsSb异质外延材料的实验结果。研究了生长条件和材料质量的相互关系,优化了生长参数。首次采用组分缓变过渡层和超晶格结构来解决品格失配问题,利用SEM和光学显微镜、X射线衍射仪、电子探针等测量、分析了外延层结构与组分、表面与断面形貌及其电学性质。测得GaSb6/GaAs结构中非有掺杂GaSb层的X射线双晶摆曲线半峰小于150孤秒,霍尔迁移率μ_p(300k)>620cm ̄2/V·8,载流子浓度小于1×10 ̄16cm ̄(-3),接近同质外延水平. 相似文献
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MOCVD法GaSb外延层特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
报导了应用MOCVD系统在半绝缘GaAs和n-GaSb衬底上外延生长的非故意掺杂GaSb外延层的特性。通过低温、变温光致发光和霍耳效应测定了GaSb外延层的光学和电学性质。PL测量观察到两种主要的复合机制,D一A对复合和束缚激子复合的发光,其峰值能量位置分别出现在775meV和803.7meV,束缚激子蜂(未分辨开的)的半宽度为10.8meV。 相似文献
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用LPE法生长了表面光亮、性质均匀的p-Ga1-xAlxAs/p-GaAs/p-Ga1-xAlxAs/n-GaAs(衬底)多层异质材料;研究了材料的电学性质、掺杂剂分配,探讨了外延层的厚度均匀性、组份均匀性并观察了表面形貌。结果表明上述材料可用于制备第三代光阴极。 相似文献
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在MgO衬底上生长YBCO薄膜美国海军科研实验室的科研人员应用金属有机物化学气相沉积法,在梯形(100)MgO衬底上成功地生长出了YBa2Cu3O(7-s)超导薄膜。当外延薄膜厚度为100nm时,其超导转变温度为88K,临界电流密度为2×106A/c... 相似文献
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开发了能长时间不需维修的LNG烟囱用新型耐腐蚀钢WELACC5。实验室的加速试验结果表明,在模拟烟囱的环境下,WELACC5具有良好的耐腐蚀性能。在LNG烟囱环境下,WELACC5的腐蚀速度为0.0007mm/a,比低碳钢的腐蚀速度明显放慢。而且,钢板表面形成了可以防止从烟囱飞出的粘着锈。WELACC5的加工性能,焊接性能和焊接接头性能都很可靠。由此可以得出结论,WEGLACC5完全适合做LNG烟 相似文献
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研究了MOCVD法GaAlAs/GaAs多层异质结材料的生长工艺。通过对材料的测试分析与器件研制,得出了GaAlAs发射极的PL性质和多层材料的纵向浓度分布是HBT材料的质量表征的结论,采用提高系统密封性和载气纯度、生长阻挡层等手段改善了材料质量,达到良好的器件特性。 相似文献
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砷化镓材料发展和市场前景 总被引:8,自引:2,他引:6
综述世界GaAs材料器件的产销情况、市场前景及GaAs材料的发展趋势。预测2000年GaAsIC用于通讯将占GaAsIC市场的71%,并以年均增长率15%的速度发展。发光器件1999年增长12%,。其中激光器件增幅最大,达16%。GaAs材料电子哗啦和光电器件的比例约为2:#。对大直径、低位错、低热应力、高质量的GaAs单晶有较大的需求量。VB、VGF和VCZ是满足这些要求的最佳GaAs单晶生长方 相似文献
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磁控溅射法制备YBa2Cu3O7—x双面超导薄膜 总被引:1,自引:1,他引:0
采用在直径中这柱状阴极磁控溅射装置和筒形加热器制备了高质量YBa2Cu3O7-x双面超导薄膜。使用衬底为(001)LaAlO3和(001)YSZ。双面超导薄膜零电阻温度TG=89~91K,临界电流密度JC≥10^6A/cm^2(77K,零场下),微波表面电阻RS〈1mΩ(77K,10GHz)。对不同氧氩比下制备的双面膜进行了性能的比较。当O2:Ar=1:2.5,衬底温度在800℃时,制备出了高质量 相似文献