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原子力显微镜AFM 总被引:1,自引:0,他引:1
一、AFM的发展 世界最新型原子力显微镜AFM(Atomic Force Micro-scope)是1986年由电子扫描隧道显微镜STM(ScamningTunneling Microscope)的发明者Binning试制成功的,1990年完成了实用化装置并开始投放市场,目前AFM在世界上的普及速度大大超过了STM。 其理由是STM不能测定绝缘材料,而AFM不但具有与STM同等高的分辨能力,还能直接测定包括绝缘材料在内的各种物质。由于STM能够逐个地识别原子,所以作为显微镜来说是划时代的,但是不能直接测定绝缘物质是它的最大缺点。使用STM测定绝缘物质时,必须 相似文献
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扫描隧道显微镜和原子力显微镜的发明大大促进了扫描探针显微镜的发展。本文介绍扫描隧道显微镜和原子力显微镜的基本工作原理、发展背景以及以扫描隧道显微镜和原子力显微镜为基础衍生出来的各种扫描探针显微镜的应用。扫描探针显微镜是一种新的探测仪器,它在三维方向上的分辨率均可以达到原子量级的水平,因此在微电子学、微机械学、计量学、化学和生物医学等领域中有广泛的应用前景。 相似文献
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给出了针有表面纳米形貌检测需要而研制的一种实用型宽范围扫描隧道显微镜,扫描范围为40×40×10μm^3,配有一个放大倍数可调的光学显微镜帮助选择视场,可测量较大尺寸试件,实验表明,该STM所测图像清晰,使用方便,结构简单,适于产品化。 相似文献
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针对一些特殊材料表面形貌的检测需要,在原有国产商用激光检测原子力显微的基础上,设计研制了适用性更广、功能更强的原子显微镜,在不提高驱动电压的前提下,采用改进的扫描管,将扫描范围从15μm×15μm提高到了50μm×50μm;改进了原有的微探针扫描模式,在探针施加一驱动的简谐振荡信号,使探针发生振荡。由于存在着表面的力梯度,,当样品距离发生振荡变化时,针尖振荡的振幅、频率和位相都会随之改变。用电子信 相似文献
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本介绍在没有测角时借助万工显测量角度的方法,根据测量误差的理论分析和实测表明,该测量方法可满足二级角度块的测量准确度。 相似文献
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相移干涉显微镜中移相误差分析 总被引:6,自引:2,他引:4
本文具体分析了影响移相误差的多种因素,比较了在不同移相术中移相误差量对检测精度的影响,从而论证了五步移相术的合理性和利用压电陶瓷微位移传感器的现有定位精度实现0.1nm级检测精度的可行性。文中还给出了有关的数值计算结果和测试结果,并就有关问题进行了讨论。 相似文献
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如果我们采用双象目镜与测角目镜联合测量时会发现它们的中心位置并不重合,当更换目镜测量工件时,测量数据中将会包含因中心不重合而产生的系统误差,这就需要将测出的各数据进行修正,以消除这个系统误差,因而增加计算过程。要想能快捷而又方便地直接测得各数据,不作修正计算,就得在测量前设法使双象目镜和测角目镜中心互相重合。双象棱镜调节器就是用来调节双象棱镜位置,使其达到与测角目镜中心相重合的专用装置。定位器是辅助部件,作用有两个:一是用作双象棱镜调节器工作时的定位基准;二是对那些目镜安装准确度不高的仪器起定位… 相似文献
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在19JA万工显上测量长样板沈继斌(国营本溪工具厂,117022),我们针对19JA万能工具显微镜配制了移位夹具,扩大了该仪器的检测范围,从而解决了长样板尺寸的测量。一、夹具结构夹具结构如图1所示。1、2是调整器,利用旧千分尺按图2改制而成。件3是被... 相似文献
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针对一些特殊材料表面形貌的检测需要 ,在原有国产商用激光检测原子力显微镜的基础上 ,设计研制了适用性更广、功能更强的原子显微镜。在不提高驱动电压的前提下 ,采用改进的扫描管 ,将扫描范围从 15μm× 15μm提高到了 50 μm× 50 μm ;改进了原有的微探针扫描模式 ,在探针上施加一驱动的简谐振荡信号 ,使探针发生振荡。由于存在着表面的力梯度 ,当样品与探针距离发生振荡变化时 ,针尖振荡的振幅、频率和位相都会随之改变。用电子信号反馈电路探测此变化 ,就能得到样品表面形貌的信息 相似文献
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