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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
扫描近场光学显微镜(SNOM)是基于非辐射场的产生和探测,能够实现超衍射极限分辨率的光学成像。但纳米精度的压电陶瓷扫描器的非线性始终是影响成像质量的关键问题。该文提出了改善SNOM系统中压电陶瓷扫描器的非线性特性的方法。在测得的压电陶瓷位移一电压关系的基础上,运用校正压电陶瓷非线性的方法,使压电陶瓷扫描器位移输出的线性度大幅度提高,相关系数从O.99提高到O.9999。实验结果表明,经过非线性校正,SNOM光学图像质量得到明显改善。  相似文献   

2.
针对扫描探针显微镜的压电扫描器提出一种非线性校正方法。利用双频激光干涉仪对压电扫描管的位移-电压曲线进行测量,设计非线性校正算法,修正控制电压以实现对压电扫描管非线性校正,将该方法应用于扫描探针显微镜。实验表明该方法能实现压电扫描器的非线性校正。  相似文献   

3.
空间分辨力不足限制了凝视型红外焦平面探测器的发展,微扫描技术可以在不降低探测器热灵敏度的前提下提高成像系统的空间分辨力,同时可以扩大成像系统的视场。为此设计了一种基于新型压电驱动器的光学微扫描器。介绍了新型压电驱动器和扫描器的工作原理,测试了扫描器的频响特性。采用软件补偿和串联硬件陷波器相结合的开环控制方法,补偿压电陶瓷迟滞效应和抑制机械谐振,加控制器后的100Hz三角波扫描非线性度从6%减小到了1%,提高了扫描线性度,实现了高频三角波扫描。  相似文献   

4.
陈奇  武秀东  任峰  李虎 《压电与声光》2013,35(5):694-697
压电陶瓷驱动器在微位移定位方面被广泛应用,但压电陶瓷驱动器的迟滞非线性严重影响其定位精度,因此,介绍了各种改善压电陶瓷驱动器迟滞非线性特性的方法,并提出了用3次样条插值法和最小二乘曲线拟合法来实现压电陶瓷驱动器的精确定位,改善压电陶瓷驱动器的迟滞非线性特性,实验表明,以上方法可使压电陶瓷驱动器的定位误差小于5%.  相似文献   

5.
基于单个压电陶瓷管可实现xyz三维微位移等优点和z向移动范围小等缺点,提出了一种由4个压电陶瓷管组合驱动的可实现三维微位移的扫描台,这种扫描台不仅能实现三维微位移,还扩大了z向移动范围。通过有限元分析软件ANSYS对其进行了力学分析,得出了xy方向移动范围为13μm,z移动范围为20μm,相比单个陶瓷管,z向移动范围增加很大;同时还得出了各种模态及z向位移的瞬态分析,通过给系统加入电阻尼有效改善了纳米位移台动态特性。  相似文献   

6.
提出了一种简单、实效的压电陶瓷管非线性校正法。首先用迈克尔逊干涉仪分别测定压电陶瓷管的X向和Y向非线性曲线,然后求非线性曲线的拟合函数及其反函数,最后依此反函数通过设计原子显微镜(AFM)扫描程序给压电陶瓷管X、Y向施加非等差距的电压来产生线性位移。实验证明,此法能够有效地消除由压电陶瓷管的非线性引起的扫描图像畸变,从而有利于获得物体表面实貌的真实扫描图像。  相似文献   

7.
模糊控制在压电陶瓷控制中的应用   总被引:5,自引:1,他引:4  
傅星  胡小唐 《压电与声光》1999,21(3):200-202
压电陶瓷已在各种精密仪器控制中广泛应用。但是由于压电陶瓷的非线性使控制复杂,而且控制精度受到影响。本文作者在扫描隧道显微镜探针高度调节中,将模糊控制用于压电陶瓷的控制,取得了较通常采用的控制方法更为理想的效果。  相似文献   

8.
压电光学扫描器的驱动技术   总被引:5,自引:3,他引:2  
舒晓武 《压电与声光》1998,20(2):85-88,94
详细分析了压电扫描器的电学特性及其对扫描特性的影响,设计出压电扫描器的驱动电路,能正常驱动压电扫描器实现大角度扫描,在低温条件下(100K),扫描角度能达到3°以上,扫描频率为20Hz。  相似文献   

9.
在自适应光学、空间光通信、激光加工等领域,激光扫描器是其中的一项关键器件.基于压电陶瓷叠堆的传统激光扫描器很难实现较好的线性扫描,为此设计了一种基于迟滞补偿器的压电扫描器.介绍了基于迟滞补偿器的压电扫描器系统组成,分析了压电扫描器中迟滞回线的修正原理及方法.利用经过迟滞补偿后的驱动信号驱动激光扫描器进行扫描,实验结果表...  相似文献   

10.
在激光雷达等领域,通常希望激光光束实现低转动惯量高频率匀速扫描,而目前光束扫描器(如检流计式振镜、多面转镜等)很难达到这种要求,为此设计了一种基于新型压电驱动器的激光扫描器.激光扫描器基于-对新型的位移放大压电驱动器,有限元分析结果表明这种压电驱动器具有比传统杠杆式位移放大压电驱动器更好的高频特性.采用软件补偿和串联硬件陷波器相结合的开环控制方法,补偿压电陶瓷迟滞效应影响和抑制机械谐振,提高了扫描线性度,实现了高频三角波扫描.该扫描器还具有转动惯量低、体积小,结构简单、功耗低等优点.  相似文献   

11.
声显微成像   总被引:1,自引:0,他引:1  
简要介绍激光扫描声学显微镜、机械扫描声学显微镜、C模型扫描声学显微镜的工作原理、结构和特性,并对在电子工业中的应用进行了讨论。激光扫描声学显微镜,机械扫描声学显微镜,C模型扫描声学显微镜  相似文献   

12.
综述了近二十年来以扫描隧道显微镜为代表的、基于探针的成像显微装置基本原理及应用领域。  相似文献   

13.
将声学检测技术与扫描探针显微术相结合,构成的扫描探针声显微镜,不仅可以检测材料表面、亚表面和内部的微小缺陷,还可以分析样品的弹性特性、电特性等物理性能,同时还具有分辨率高的特点,在材料科学和生命科学等领域具有很高的应用价值.目前,得到实际应用的扫描探针声显微镜主要有扫描隧道声显微镜和原子力声显微镜.本文介绍了这两类显微镜的基本工作原理,并对扫描探针声显微镜今后的发展方向进行了探讨.  相似文献   

14.
STM钨针尖电化学加工及其装置的改进   总被引:5,自引:1,他引:4  
本文报导利用自由落体的原理,设计了一种新的针尖和液面脱离装置制作了STM钨针尖,并与利用步进电机提升针尖的方法进行了比较。分析和实验说明,本方法脱离速度较快,简单经济,效果良好。  相似文献   

15.
一种纳米分辨率近场光学显微镜:光子扫描隧道显微镜   总被引:6,自引:2,他引:4  
报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理,结构,光纤探针制造,信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于10nm,纵向分辨率约1nm,扫描范围10μm×10μm。还观察了云母、高密度聚乙烯HDPE高取向薄膜等透明材料以及铌酸锂(LiNbO3+Ti)波导的电光效应等  相似文献   

16.
纳米结构可重入扫描隧道显微镜系统的研制   总被引:2,自引:1,他引:1  
本文简介我们最近研制成功的超高真空(UHV)扫描隧道显微镜(STM)系统。该系统由于同时安装有扫描电子显微镜(SEM),可以使STM的针尖在SEM的引导下移到样品表面上任一感兴趣的地方去研究那时的纳米细节,从而使它的STM具有纳米结构可重入性。该系统还有一些特有的样品制备功能,可用于许多有价值的研究 。  相似文献   

17.
本文简要介绍了扫描隧道显微镜的工作原理,较详细地介绍了扫描隧道显微镜中应用的压电陶瓷的几种结构形式及其特性。  相似文献   

18.
表面性质对扫描力显微术成像的影响   总被引:1,自引:1,他引:0  
利用微接触印刷的方法制备了图形化的自组装膜,考察了膜的表面性质对接触式原子力显微镜(AFM),摩擦力显微镜(FFM)和剪切力显微镜(SFM)的成像的影响。发现AFM能反映样品的表面形貌,而FFM和SFM的以表面性质的影响较大,在表面性质差别很大的图形表面上会出现图像衬底与表面形貌反转的现象。  相似文献   

19.
声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量   总被引:1,自引:1,他引:0  
研究了声表面波器件(SAWD)基片金刚石膜的厚度测量方法。通过光切显微镜和扫描电镜(SEM)测量结果的比较,讨论了测量精度。在沉积制备多层薄膜SAWD基片中金刚石薄膜的实验过程中,选用光切显微镜测量膜厚,测量精度0.5~1.0μm。  相似文献   

20.
本文利用光学显微镜(ZEISS Imager A2)和扫描电子显微镜(日立S-4800)对大兴安岭双壳缝目7种硅藻植物进行观察,包括膨胀桥弯藻 Cymbella tumida ( Gregory ) Cleve、线形弯肋藻 Cymbopleura linearis ( Foged ) Krammer、窄异极藻Gomphonema angustatum ( Kützing) Rabenhorst、隐头舟形藻Navicula cryptocephala Kützing、双头辐节藻 Stauroneis anceps Ehrenberg、普通肋缝藻 Frustulia vulagris Thwait 和细纹长蓖藻 Neidiumaffine ( Ehrenberg ) Pfitzer,对这些种类的形态特征进行了研究,初步探讨了这些种类之间的形态差异。为大兴安岭藻类资源调查提供了基础资料。  相似文献   

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