共查询到20条相似文献,搜索用时 62 毫秒
1.
2.
3.
4.
5.
基于单个压电陶瓷管可实现xyz三维微位移等优点和z向移动范围小等缺点,提出了一种由4个压电陶瓷管组合驱动的可实现三维微位移的扫描台,这种扫描台不仅能实现三维微位移,还扩大了z向移动范围。通过有限元分析软件ANSYS对其进行了力学分析,得出了xy方向移动范围为13μm,z移动范围为20μm,相比单个陶瓷管,z向移动范围增加很大;同时还得出了各种模态及z向位移的瞬态分析,通过给系统加入电阻尼有效改善了纳米位移台动态特性。 相似文献
6.
7.
模糊控制在压电陶瓷控制中的应用 总被引:5,自引:1,他引:4
压电陶瓷已在各种精密仪器控制中广泛应用。但是由于压电陶瓷的非线性使控制复杂,而且控制精度受到影响。本文作者在扫描隧道显微镜探针高度调节中,将模糊控制用于压电陶瓷的控制,取得了较通常采用的控制方法更为理想的效果。 相似文献
8.
压电光学扫描器的驱动技术 总被引:5,自引:3,他引:2
详细分析了压电扫描器的电学特性及其对扫描特性的影响,设计出压电扫描器的驱动电路,能正常驱动压电扫描器实现大角度扫描,在低温条件下(100K),扫描角度能达到3°以上,扫描频率为20Hz。 相似文献
9.
10.
在激光雷达等领域,通常希望激光光束实现低转动惯量高频率匀速扫描,而目前光束扫描器(如检流计式振镜、多面转镜等)很难达到这种要求,为此设计了一种基于新型压电驱动器的激光扫描器.激光扫描器基于-对新型的位移放大压电驱动器,有限元分析结果表明这种压电驱动器具有比传统杠杆式位移放大压电驱动器更好的高频特性.采用软件补偿和串联硬件陷波器相结合的开环控制方法,补偿压电陶瓷迟滞效应影响和抑制机械谐振,提高了扫描线性度,实现了高频三角波扫描.该扫描器还具有转动惯量低、体积小,结构简单、功耗低等优点. 相似文献
11.
12.
综述了近二十年来以扫描隧道显微镜为代表的、基于探针的成像显微装置基本原理及应用领域。 相似文献
13.
14.
15.
16.
17.
本文简要介绍了扫描隧道显微镜的工作原理,较详细地介绍了扫描隧道显微镜中应用的压电陶瓷的几种结构形式及其特性。 相似文献
18.
19.
声表面波器件基片金刚石薄膜厚度的测量 总被引:1,自引:1,他引:0
研究了声表面波器件(SAWD)基片金刚石膜的厚度测量方法。通过光切显微镜和扫描电镜(SEM)测量结果的比较,讨论了测量精度。在沉积制备多层薄膜SAWD基片中金刚石薄膜的实验过程中,选用光切显微镜测量膜厚,测量精度0.5~1.0μm。 相似文献
20.
本文利用光学显微镜(ZEISS Imager A2)和扫描电子显微镜(日立S-4800)对大兴安岭双壳缝目7种硅藻植物进行观察,包括膨胀桥弯藻 Cymbella tumida ( Gregory ) Cleve、线形弯肋藻 Cymbopleura linearis ( Foged ) Krammer、窄异极藻Gomphonema angustatum ( Kützing) Rabenhorst、隐头舟形藻Navicula cryptocephala Kützing、双头辐节藻 Stauroneis anceps Ehrenberg、普通肋缝藻 Frustulia vulagris Thwait 和细纹长蓖藻 Neidiumaffine ( Ehrenberg ) Pfitzer,对这些种类的形态特征进行了研究,初步探讨了这些种类之间的形态差异。为大兴安岭藻类资源调查提供了基础资料。 相似文献