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半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用 总被引:3,自引:1,他引:2
文中介绍一种用半导体激光器构建小型迈克尔逊干涉仪实现对微振动量精确测量的方法,实验证明,这种方法完全可以实现。用这种方法构建的微振动传感器体积小、质量轻、价格便宜并具有很高的灵敏度和准确度 相似文献
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研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法,实现了干涉仪的光学4细分结构,提高了测量灵敏度;构建4路正交探测结构,实现了干涉仪的无源偏振调制,扩大了干涉仪测量范围;采用光路集成化的设计方法,实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究,结果表明,静态位移测量误差小于±0.3 nm,振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2;上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点,可被广泛用于纳米测量的各个领域。 相似文献
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可用于差拍法珀干涉仪的633nm可调谐外腔半导体激光器 总被引:3,自引:1,他引:2
为更好地改善差拍法 珀干涉仪用于对纳米干涉仪进行非线性比对和校准场合的性能 ,提出用 6 33nm外腔半导体激光器代替He Ne激光器 ,并针对差拍法 珀干涉仪对工作激光器的要求 ,设计和实现了 6 33nm可调谐外腔半导体激光器。用前端镀增透膜的 6 37nm量子阱结构半导体激光器件及工作于Littrow自准直状态的光栅作为反馈元件 ,构成外腔激光器。实验结果表明 ,该激光器具有比较窄的光谱线宽 ;通过控温和旋转光栅 ,获得了覆盖 6 33nm的 4nm的调谐范围 ;通过控制频率调谐器 ,得到了 1 8GHz的连续调谐范围。 相似文献
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强抗干扰型正弦调制式半导体激光有源干涉仪 总被引:1,自引:0,他引:1
叙述了强抗干扰型正弦调制式半导体激光有源干涉仪(Laserdiodeactiveinterferometer)的工作原理。它比目前的半导体激光有源干涉仪的抗干扰能力提高了50%。还给出了各种实验结果。 相似文献
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